Тонкопленочные покрытия

Тонкопленочное покрытие — это слой материала толщиной от доли нанометра до нескольких микрометров. За последние десятилетия технология тонкопленочного производства была усовершенствована и для достижения наилучшего качества требует использования надежных продуктов. Для процессов напыления тонкопленочных покрытий компания Leybold может предложить лучшее в своем классе вакуумное оборудование, отвечающее требованиям данной области применения, с производительными насосными системами сухого типа DRYVAC/RUVAC.

Насосные системы с насосами сухого типа

  • Высокая скорость откачки водорода
  • Устойчивость к образованию осадка
  • Высокая совместимость среды для стандартных рабочих газов
  • Интегрированный мониторинг рабочих параметров и управление насосом Рутса
  • Регулируемая температура и расход газа системы продувки
  • Управление параметрами при помощи шины Profibus