Измерение вакуума и управление

При использовании широкого спектра вакуумных систем и технологических процессов появляется необходимость в измерении уровня вакуума.

Приборы, используемые для измерения давления в этом широком диапазоне, называются вакуумметрами и измеряют давление от атмосферного (~ 2000 мбар (1500 торр)) до 10–12 мбар/торр. Измерения в таком диапазоне нельзя выполнить лишь одной сенсорной технологией.

Поэтому представлено множество различных вакуумметров, каждый из которых обладает особыми характеристиками и способностью надежно измерять вакуум в течение десятилетий. Чтобы расширить диапазон измерений, в одном приборе нередко объединяют несколько технологий, чтобы уменьшить количество соединений, необходимых для использования в системе.

Основное различие типов вакуумметров заключается в принципе измерения газа: используется прямое или косвенное измерение давления.

В случае прямых (или не зависимых от газа) измерений давления показания вакуумметра не зависят от типа газа, а давление всегда является фактическим давлением в системе. На основании механического отклонения мембраны приборы способны измерять давление от атмосферного до 10^-4мбар/торр. Приборы этого типа обеспечивают высокую точность в небольшом диапазоне и, как правило, отличаются высокой прочностью.
В случае косвенных измерений давление определяется как функция обусловленного давлением свойства газа (например, теплопроводности, вероятности ионизации). Эти свойства зависят не только от давления, но и от молярной массы газов. Поэтому их также называют газозависимыми. В качестве измеряемого газа обычно выступает воздух или азот, к которому относятся измерения. Для измерения параметров других паров или газов необходимо применить соответствующие поправочные коэффициенты для фактического давления в системе. Такие приборы способны измерять давление в гораздо более широком диапазоне (от атмосферного давления до 10 x 10^-12мбар в зависимости от типа/комбинации), при этом уровень точности у них ниже.

Кроме того, вакуумметры разделяются на активные и пассивные, и данные опции также доступны в нашем широком ассортименте вакуумметров.

Активное измерение – это процесс, при котором головка датчика соединена с электроникой, необходимой для управления и вывода сигнала, что позволяет легко интегрировать прибор в систему.
Пассивное измерение –это процесс, при котором головка датчика не соединена с электроникой, расположенной отдельно, в специальном контроллере. Преимущество этого типа измерения заключается в том, что такие приборы можно использовать в условиях, при которых электроника не работает, например, в условиях высокой радиации, а отдельный контроллер можно исключить из такой среды.

Датчики и контроллеры

Измерение вакуума в широком диапазоне
Точное измерение вакуума
Контроллеры для вакуумных насосов и датчиков
Портативные и механические вакуумные датчики
Аксессуары

Измерение вакуума в широком диапазоне

Надежное и точное измерение давления в широком диапазоне.

Серия THERMOVAC TTR/TR идеально подходит для мониторинга давления стандартного форвакуумного насоса.
Серия PENNINGVAC PTR/PR позволяет выполнять измерения в условиях высокого вакуума, эти вакуумметры можно назвать манометрами полного диапазона.
Серия IONIVAC ITR/IE – дальнейшее расширение диапазона вакуума до сверхвысокого.

Точное измерение вакуума

Эти приборы обеспечивают высочайший уровень точности и воспроизводимости в самых суровых условиях и идеально подходят для тщательного контроля системы.

Вакуумметры CERAVAC CTR – верхний ряд диапазона емкостных манометров.
Вакуумметры DI/DU – устройства с более низким уровнем точности, которые подходят для загрязненных/влажных/пыльных сред.

Контроллеры для вакуумных насосов и датчиков

Позволяет отображать давление и интегрировать измерения в более широкую систему управления. Мы представляем ряд контроллеров, из которых вы сможете выбрать нужный в зависимости от конкретных требований.

Портативные и механические вакуумные датчики

Прибор со встроенным дисплеем и питанием от аккумулятора позволяет выполнять измерения в любом месте и в любое время. Механические индикаторы часового типа идеально подходят для случаев применения, в которых требуется просто выявить наличие вакуума, а не предоставить точные измерения.

Ионизационный датчик с горячим катодом IONIVAC

Ионизация горячим катодом отличается от ионизации холодным катодом тем, что в головке датчика имеется нить накаливания, излучающая ионы. Эта технология позволяет измерять давление от среднего до сверхвысокого (10^-12 мбар/торр), при этом головке датчика требуется дополнительная защита, конструкция является более сложной, а стоимость владения более высокой.

Как и в случае с технологией холодного катода, предел измерения этих приборов составляет ~10^-2мбар/торр, поэтому обычно их комбинируют со встроенным датчиком Пирани, чтобы добиться полного диапазона в одном вакуумметре.

Кроме того, существуют различные версии технологии с горячим катодом, основными типами которых являются тип Байярда–Альперта (ITR или IE 414) и экстрактор (IE 514). Технология с экстрактором позволяет измерять самое низкое давление до 10^-12 мбар/торр