История компании Leybold насчитывает более 170 лет. Инновационная вакуумная технология непрерывно использовалась для реализации решений наших заказчиков и обеспечения прибыльного прогресса.
Бизнесмен Эрнст Лейбольд (Ernst Leybold) заложил основу для дальнейшего успеха, переехав из Ротенбурга-на-Таубере в Кельн в 1850 году и основав свою первую компанию – изначально он занимался торговлей и импортом медицинской стеклянной посуды, тары, термометров и весов. В 1854 году г-н Лейбольд расширил ассортимент своей продукции, включив в него физическую, фармацевтическую и химическую аппаратуру. В 1863 году он начал управлять компанией под названием E. Leybold.
В 1870 году Эрнст Лейбольд продал свою компанию, которая, продолжила свое существование под названием E. Leybold's Nachfolger.
В 1871 году линейка продукции включала в себя 585 единиц оборудования для области физики, а также «кабинетов физики» (полный набор оборудования и приборов), которые были предложены впервые. История нашей компании включает заказ, которым мы гордимся, полученный от Университета Кито (Эквадор), стоимостью 30 000 талеров (около 250 000 долларов по современным стандартам). Этот заказ укрепил нашу репутацию международной компании. В 1876 году был опубликован первый каталог физического оборудования для использования в средних и старших школах. Эта линейка продукции постепенно расширялась и стала включать химические приборы для лабораторий. Специальная брошюра об опытах Крукса была выпущена четыре года спустя, из нее мы приводим следующую цитату: «Нет никаких сомнений, что новые и часто впечатляющие разработки в области высокого вакуума будут стимулировать проведение дальнейших опытов». Для демонстрации таких опытов в каталог был включен насос Теплера, вакуумный насос объемного сжатия, приводимый в действие вручную путем поочередного подъема и опускания ртутного столба.
Триумфальное шествие вакуумных технологий началось в 1906 году, благодаря сотрудничеству с доктором Вольфгангом Геде (Wolfgang Gaede), профессором физики в Карлсруэ. Сотрудничество компании Leybold с доктором Геде было плодотворным, а в результате были созданы инновационные технологии, которые используются по сей день: молекулярный воздушный насос, основной принцип работы турбомолекулярного насоса (1911 г.) и принцип использования диффузионного насоса (1913 г.). Диффузионные насосы не имеют движущихся частей.
Д-р Вильгельм Рон (Wilhelm Rohn), руководитель лаборатории физических испытаний в компании W.C. Heraeus GmbH в Ганау, разработал процесс плавления металлов высокой чистоты в вакууме. Это позволило значительно улучшить качество стали и цветных металлов.
Это стало еще одной вехой в технологии вакуумного нанесения покрытий. В том же году доктор Манфред Дункель (Manfred Dunkel) занял пост управляющего директора в компании E. Leybold's Nachfolger и успешно руководил компанией до 1967 г. Эта эра была существенно важной для развития компании, так как вакуумное оборудование стало все шире использоваться в различных областях промышленности. Соответственно, для использования наработок в различных технических областях применения в дополнение к техническим и научным знаниям требовались навыки управления.
Фонд Siemens Ring Foundation был основан представителями промышленности и науки в Германии в 1916 г. по случаю 100-летия со дня рождения Вернера фон Сименса. В соответствии с §1 устава фонд преследовал цель награждения частных лиц «которые представили выдающиеся и общепризнанные услуги в области технологий в сочетании с наукой. ... Таким образом, [Кольцом Вернера фон Сименса] следует награждать представителей сферы технологий, которые оказали содействие науке благодаря своим достижениям, а также представителей науки, которые открыли новые области применения технологий в ходе своих исследований».
Наша самая важная новая разработка в сфере проектирования – насосы Рутса (сегодня называемые «воздуходувками Рутса»), «которые отвечают требованиям крупномасштабных отраслей промышленности». В каталоге указано: «Для современных технологий разработки вакуумных процессов требуется высокая скорость потока в диапазоне высокого вакуума, что является важной частью процессов. Например, в процессах с использованием высокого вакуума при давлении ниже 1 мм рт. ст. образуется большое количество газа и водяного пара. Поэтому вакуумные технологии сталкиваются с задачей экономичного/эффективного перекачивания этих объемов газа». Основные усилия были предприняты в области вакуумного пропитывания, химической обработки, производства фармацевтических препаратов и сублимационной сушки продуктов питания, а также в нанесении покрытий при высоком и сверхвысоком вакууме, дегазации металла и т. д. Вместе с тем мы продолжили крупномасштабное производство стандартных вакуумных компонентов, таких как насосы, клапаны и манометры для всех вакуумных линий, течеискателей и постоянного расширения линейки научных и технологических инструментов обучения.
Новая компания была названа Leybold-Heraeus GmbH, и ее акции были равномерно распределены между Degussa, Metallgesellschaft и W.C. Heraeus
В середине 1970-х годов официально началась новая эра технологии высокого вакуума, которая называлась «эрой турбомолекулярного насоса с магнитной левитацией». Мы были первой в мире компанией, занимающейся вакуумом, которая сделала такой насос коммерчески доступным. В 1980-х и 1990-х годах турбомолекулярный насос с магнитной левитацией стал самым важным насосом высокого вакуума в полупроводниковой промышленности, поскольку он является насосом высокого вакуума, не использующим углеводороды. В «подшипнике» быстро вращающихся внутренних деталей используются электромагниты.
Сегодня этот тип насоса все еще широко используется во многих областях применения вакуума. Для заказчиков, которые могут принимать молекулы масла в своих вакуумных резервуарах, пластинчато-роторный вакуумный насос является исключительно мощным и надежным насосом для работы как с низким, так и с высоким вакуумом.
Представлен наш первый турбомолекулярный насос с интеллектуальным управлением приводом.
В 1998 г. в Китае основана дочерняя компания, чтобы использовать высокий потенциал этого развивающегося экономического региона и близость к заказчикам.
Представлен наш вакуумный насос сухого сжатия SCREWLINE.
Открытие нового завода в Кельне, где применяется технология высокого вакуума, позволило компании Leybold удовлетворить повышенные требования к исследованиям и разработкам.
Поддерживаемая экономическим ростом, группа компаний UNAXIS была переименована в Oerlikon. Мы работали под названием Oerlikon Leybold Vacuum.
В современных исследованиях и промышленности предпочтительно использовать винтовые насосы сухого сжатия, такие как SCREWLINE, в качестве форвакуумных насосов. По сравнению с насосами с масляным уплотнением они более мощные и надежные, а их конструкция позволяет использовать их там, где требуются надежные и компактные вакуумные решения, не требующие большого объема технического обслуживания. Основное преимущество заключается в том, что они обеспечивают высокую степень гибкости в различных областях применения. Кроме того, заказчик может выполнять очистку оборудования на месте эксплуатации во время производственных перерывов. Различные типы соединений также позволяют легко интегрировать их во все системы.
Мы запустили вакуумный насос Рутса RUVAC WH, который обеспечивает высокую гибкость в различных областях применения. Кроме того, заказчик может выполнять очистку оборудования на месте эксплуатации во время производственных перерывов. Различные типы соединений также позволяют легко интегрировать их во все системы.
Этот насос также создан на основе безмасляной винтовой технологии и сочетает в себе компактную конструкцию с такими характеристиками, как бесшумная работа, малые потери тепла и низкий расход охлаждающей воды. Встроенный преобразователь частоты уменьшает усилия, затрачиваемые на установку.
Наши турбомолекулярные насосы TURBOVAC MAGiNTEGRA с магнитной левитацией не требуют дополнительного свободного пространства, которое обычно требуется для установки отдельного преобразователя частоты, а также отличаются компактной гибкой конструкцией, превосходной производительностью вакуума и стандартизированной линейкой аксессуаров. Они обеспечивают работу без необходимости технического обслуживания в большинстве промышленных процессов, таких как производство дисплеев, солнечных батарей, нанесение покрытий и НИОКР.
Современные аналитические приборы требуют тщательно продуманных компонентов. В частности, в масс-спектрометрах эти компоненты должны точно совпадать друг с другом. Благодаря новым турбомолекулярным насосам эффективность анализа значительно повышается. Мы столкнулись с этими проблемами производительности и разработали инновационную линейку турбомолекулярных насосов. Насосы TURBOVAC i специально разработаны для рынка аналитических приборов.
Мы перевели сервис в Дрезден, сформировав центр сервисных услуг в ЕС.
Шведская компания Atlas Copco AB приобрела компанию Leybold. «Атлас Копко» – группа компаний, объединяющая множество брендов, в которой работают около 40 000 сотрудников, а деятельность осуществляется в 180 странах по всему миру. Сегодня наша компания входит в состав подразделения вакуумного оборудования «Атлас Копко». «Атлас Копко» полагается на надежность компании Leybold, привносит свой опыт в процесс создания технологических «ноу-хау» и расширение присутствия на рынке.
Через 15 лет мы выпустили PHOENIX 4, новое семейство гелиевых течеискателей, которые соответствуют растущим требованиям к качеству. Этот инновационный продукт в равной степени подходит как для исследований и разработок, так и для промышленного применения, от защиты потребностей сверхвысокого вакуума ускорителя частиц CERN до промышленных применений, например, для обнаружения утечек в вакуумной транспортной системе Hyperloop или для производства полупроводников.
Пользователи, занятые в областях исследований и промышленности все чаще полагаются на безмасляные и надежные вакуумные решения, которые также обеспечивают гибкость использования. Мы предлагаем модернизированный SCROLLVAC plus с воздушным охлаждением – новый, простой и надежный форвакуумный насос, отвечающий этим требованиям.
Новое поколение вакуумных насосов SOGEVAC: технология тройной подачи вакуума для более чистой, тихой и продолжительной работы.
Мы разработали и создали новую серию вакуумных насосов VARODRY в Германии, специально для промышленных процессов. Избавьте себя от лишних проблем. Благодаря VARODRY работа с вакуумом может быть простой, эффективной, надежной и безмасляной.
До сегодняшнего дня пластинчато-роторные насосы с масляным уплотнением были стандартом в пищевой промышленности. Однако использование таких насосов сопряжено с риском, так как масло насоса может загрязнить ваше рабочее пространство или, что еще хуже, производимые пищевые продукты. Чтобы избежать этих рисков и обеспечить свежесть продуктов, мы разработали «NOVADRY». Этот полностью безмасляный вакуумный насос является революционным решением на рынке.
Многоступенчатая безмасляная технология усовершенствована в новом поколении ECODRY plus, сочетающем преимущества более компактного размера, продуманной эксплуатации, быстрой откачки и экологичности. Эти новые безмасляные насосы особенно хорошо подходят для аналитических применений.
Разработка более крупных гибридных турбомолекулярных вакуумных насосов с производительностью более 900 л/с является одним из достижений, свидетельствующих о нашем новаторском духе.
Businessman Ernst Leybold laid the foundation when he moved from Rothenburg ob der Tauber to Cologne in 1850 and founded his first company, which began as a sales and import business for medical glassware, ointment pots, thermometers and scales. In 1854, Leybold expanded his line of products to include physical, pharmaceutical and chemical equipment. In 1863, he finally took over the company under the name E. Leybold.
In 1870, Ernst Leybold sold his business, which, however, continued to operate as E. Leybold’s Nachfolger.
In 1871, the product line included as many as 585 pieces of physics equipment, as well as “Physics Cabinets” (complete collections of equipment and instruments) which were offered for the first time. Our company’s history proudly records an order received from Quito University, Ecuador, worth 30,000 Thalers (approx. 250,000.- dollars by Today’s standards). This established us as a company of international reputation. In 1876, the first catalogue of physics equipment was published for use in secondary and high schools. This product line was gradually expanded to include chemical apparatuses for laboratories. A special brochure on Crookes’ experiments followed four years later, from which we quote the following, “There is no doubt that the new and often exciting developments in high vacuum will incite further experiments”. To demonstrate such experiments, the Toepler Pump, an early positive displacement vacuum pump which was manually operated by alternately raising and lowering a mercury column, was included in the catalogue.
Our triumphal procession of vacuum technology began in 1906 through collaboration with Dr. Wolfgang Gaede, Professor of Physics in Karlsruhe. Leybold’s cooperation with Gaede was correspondingly fruitful. It produced important innovations that are still relevant today: the invention of the molecular air pump, the basic principle of the turbomolecular pump (1911) and the use of the diffusion pump (1913). Diffusion pumps have no moving parts.
Dr. Wilhelm Rohn, head of the Physical Test Laboratory at W.C. Heraeus GmbH in Hanau, developed a process for melting highpurity metals under vacuum. This enabled considerable quality improvements to steels and nonferrous metals.
This was another milestone in vacuum coating technology. In the same year, E. Leybold’s Nachfolger, Dr. Manfred Dunkel, took over as our managing director and successfully led the company until 1967. This era was significant, as vacuum technology was increasingly used in industrial applications during this time. Accordingly, in addition to technical and scientific knowledge, significant management skills were also required in order to transfer the findings to process engineering applications.
The Siemens Ring Foundation was established by industry and scientific representatives in Germany in 1916 to commemorate Werner von Siemens’ 100th birthday. In accordance with §1 of its statutes, the foundation pursued the goal of honoring individuals “who have rendered outstanding and generally recognized services to technology in conjunction with science. ... [ The Siemens Ring ] should therefore be awarded to representatives of technology who have stimulated science through their achievements as well as to representatives of science who have opened up new areas of technology through their research.”
Our most significant new designs center around “roots pumps” (today, referred to as “roots blowers”), “which meet the requirements of large-scale industry”. The catalogue reads: “Modern vacuum process engineering requires high flow rates in the fine vacuum range for a significant part of its processes. In fine vacuum processes, for example, large quantities of gas and water vapor are produced at pressures below 1 torr. Vacuum technology is therefore faced with the task of economically/efficiently pumping off these quantities of gas.” Major effort was dedicated to the fields of vacuum impregnation, chemical processing, pharmaceuticals and the freeze-drying of foods as well as high and ultra-high vacuum coating plants, metal degassing, etc. At the same time, we continued on a large scale the development of standard vacuum components, such as pumps, valves and gauges for all vacuum pressure lines, leak detectors and the steady expansion of its line of scientific and technological teaching tools.
The new company was named Leybold-Heraeus GmbH, and its shares were equally divided among Degussa, Metallgesellschaft and W.C. Heraeus
In the mid-1970s, a new era of high vacuum technology officially began and was referred to as “the era of the magnetically-levitated turbomolecular pump”. We were the first vacuum company in the world to make such a pump commercially available. In the 1980s and 1990s, the magnetically-levitated turbo molecular pump became the most important high vacuum pump in the semiconductor industry, due to it being a hydrocarbon-free high vacuum pump. Electromagnets are used in the “bearing” of the rapidly-rotating inner parts.
This type of pump is, in fact, still widely used in many vacuum applications today. For customers who are able to accept oil molecules in their vacuum tanks, the rotary vane vacuum pump makes for an extraordinarily powerful and reliable pump for both rough and fine vacuum.
Our first turbomolecular pump with intelligent drive management was introduced.
We founded a wholly-owned subsidiary in China in order to leverage the high potential of this emerging economic region and customer proximity from 1998 onwards.
Our SCREWLINE dry compressing vacuum pump is introduced.
Our opening of the new Cologne production facility for high vacuum technology allowed Leybold to meet increased requirements in research and development work
Supported by economic growth, the UNAXIS Group was renamed Oerlikon. We operated under the name Oerlikon Leybold Vacuum.
With today’s demanding research and industrial applications, dry compressing screw pumps like the SCREWLINE are the preferred backing pumps. Compared to oil-sealed pumps, they’re more powerful and reliable, and their design allows for their use wherever reliable, compact and low-maintenance vacuum solutions are required. A major advantage is that they add a high degree of flexibility to various fields of application. In addition, they can be cleaned onsite by the customer during production breaks. Various connections also allow for easy integration into all systems.
We launched the RUVAC WH roots vacuum pump, which adds a high degree of flexibility to various fields of application. In addition, it can be cleaned onsite by the customer during production breaks. Various connections also allow for easy integration into all systems.
This pump is also based on dry screw technology and combines a compact design with features, including quiet operation, low-waste heat and low-cooling water consumption. An integrated frequency converter reduces installation effort.
Our TURBOVAC MAGiNTEGRA magnetically-levitated turbo molecular pumps don’t require the space that’s usually necessary for a separate frequency converter and provide a compact, flexible design, excellent vacuum performance and a standardized line of accessories. It offers maintenance-free operation in most industrial processes, such as display, solar, coating and R&D applications.
Modern analytical instrumentation requires highly-developed components. In mass spectrometers particularly, these components need to be precisely matched to each other. Thanks to new turbomolecular pumps, analysis throughput is increased significantly. We have confronted these performance challenges and have designed their innovative line of turbomolecular pumps. TURBOVAC i pumps: tailor made for the analytical instrumentation market.
We shift the service activities to Dresden, forming the EU center for service competencies.
The Swedish company, Atlas Copco AB, acquired 100 percent of Leybold. Atlas Copco is a multi-brand group with customers in more than 180 countries and approximately 40,000 employees. We are now part of Atlas Copco’s Vacuum Technique Business Area. Atlas Copco relies on our traditional brand strength and complements the innovative technological expertise and market presence of the Swedes.
After 15 years, we launched the PHOENIX 4, a new family of helium leak detectors which meet increasing quality requirements. This innovative product is equally suited to the demands of research and development as for industrial applications - from securing the ultra-high vacuum demands of CERN’s particle accelerator to industrial applications, such as leak detection in the Hyperloop vacuum transport system, or for the production of semiconductors.
Users in research and industry increasingly rely on dry and robust vacuum solutions, which also provide flexibility of use. With the modernized, air-cooled SCROLLVAC plus, we offer a simple, new and reliable fore vacuum pump which meets these requirements.
The new generation of SOGEVAC vacuum pumps: triple-hitting vacuum technology for cleaner, quieter, longer-running performance.
We designed and produced the new VARODRY vacuum pump series in Germany, specifically for industrial processes. Give yourself one less headache. With VARODRY, vacuum can be easy, efficient, reliable and dry.
Until today, oil-sealed rotary vane pumps were the norm in the food processing industry. However, using such pumps bears risks, as the pump oil can end up polluting your workspace or, even worse, your food. To avoid these risks and to ensure product freshness, we have developed the “NOVADRY”. This 100% oil-free vacuum pump revolutionizes the market.
Dry, multi-stage technology receives further development with the new ECODRY plus generation which combines the advantages of a smaller size, smart operation, fast pump down times and environmental friendliness. These new dry compressing pumps are particularly well-suited for the operation in analytical applications.
The development of larger hybrid turbomolecular vacuum pumps, with pumping speeds above 900 l/s, is one of the achievements which highlights our ever-lasting pioneering spirit.