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UNIVEX G 350 glove box

Boîte à gants UNIVEX G

Chargement et revêtement de substrats sensibles à l'humidité et à l'oxygène dans un environnement inerte

Notre système de boîte à gants standard permet de charger et de recouvrir des substrats sensibles à l'humidité et à l'oxygène dans l'environnement inerte d'une boîte à gants.

Les systèmes UNIVEX G sont dotés d'une porte coulissante avant pour la connexion à la boîte à gants. Cette porte coulissante permet à l'opérateur d'accéder facilement à la chambre de traitement via la boîte à gants. Si un accès direct est nécessaire, l'UNIVEX G dispose d'une deuxième porte à l'arrière.

Applications courantes 

  • Métallisation des contacts (évaporation de l'or, de l'argent, du chrome, du nickel, du titane, etc.)
  • Biocapteurs/dispositifs médicaux
  • Electronique organique : OLED, photovoltaïque organique
  • Points quantiques/écrans
  • Evaporateurs à faisceau d'électrons et organiques pour la formation de pérovskite organique/inorganique

Accès direct et facile à l'équipement de traitement via la porte coulissante latérale avant

Accès pratique pour l'entretien via la porte à charnière à l'arrière

Intégration de tous les composants de processus

UNIVEX G 250

UNIVEX G 250

L'UNIVEX G 250 est une solution pratique et économique pour les tâches de revêtement ne nécessitant pas beaucoup d'espace.

Les substrats et les supports de substrat d'un diamètre total maximum de 220 mm peuvent y être traités.

UNIVEX G 250 with electrical cabinet
 

G 250

Chamber size

Width 270 mm   Depth 370 mm Height 400 mm

Thermal evaporator

up to 4 materials

Organic evaporator

up to 4 materials

E-beam evaporation

multi-pocket or single pocket

Sputtering

up or down, 2 x 2"

Co-Deposition

evaporation and/or sputtering

Load lock compatible

optional

Vacuum level

mid 10-7 mbar

Cleanroom compatible

yes

UNIVEX G 350

UNIVEX G 350

L'UNIVEX G 350 combine un design compact et une chambre spacieuse.

Pour de nombreuses tâches de revêtement, l'UNIVEX G 350 offre des conditions d'espace optimales et un accès pratique aux composants de processus et au traitement des substrats.

Des substrats et des supports de substrat d'un diamètre total allant jusqu'à 300 mm peuvent y être traités.

UNIVEX Coating Systems
 

G 350

chamber size

Width: 370 mm Depth: 390 mm Height: 500 mm

thermal evaporator

up to 8 materials

organic evaporator

Up to 4 materials

e-beam evaporation

Multi-pocket and/or single pocket

sputtering

Up or down: 3 X 2” guns, or 2 X 3” guns

Co-Deposition

Evaporation and/or sputtering

load lock compatible

optional

Ion assisted deposition

optional

vacuum level

mid 10-7 mbar

cleanroom compatible

yes

UNIVEX G 450

UNIVEX G 450

Grâce à la taille de sa chambre, l'UNIVEX G 450 est adapté à toutes les tâches de dépôt nécessitant beaucoup d'espace. Des substrats et des supports de substrat allant jusqu'à plus de 400 mm de diamètre peuvent y être traités. Avec une hauteur de 650 mm, la chambre à vide est également adaptée aux applications de lift-off.

UNIVEX Coating Systems
 

G 450

chamber size

Width: 500 mm Depth: 500 mm Height: 650 mm

thermal evaporator

Up to 8 materials

organic evaporator

Up to 8 materials

e-beam evaporation

Multi-pocket and/or single pocket

sputtering

Up or down: 3 X 3”, 2 X 4”, 4 X 2” or other

Co-Deposition

Evaporation and/or sputtering

load lock compatible

optional

Ion assisted deposition

optional

vacuum level

mid 10-7 mbar

cleanroom compatible

yes

UNIVEX G 250

L'UNIVEX G 250 est une solution pratique et économique pour les tâches de revêtement ne nécessitant pas beaucoup d'espace.

Les substrats et les supports de substrat d'un diamètre total maximum de 220 mm peuvent y être traités.

UNIVEX G 250 with electrical cabinet
 

G 250

Chamber size

Width 270 mm   Depth 370 mm Height 400 mm

Thermal evaporator

up to 4 materials

Organic evaporator

up to 4 materials

E-beam evaporation

multi-pocket or single pocket

Sputtering

up or down, 2 x 2"

Co-Deposition

evaporation and/or sputtering

Load lock compatible

optional

Vacuum level

mid 10-7 mbar

Cleanroom compatible

yes

UNIVEX G 350

L'UNIVEX G 350 combine un design compact et une chambre spacieuse.

Pour de nombreuses tâches de revêtement, l'UNIVEX G 350 offre des conditions d'espace optimales et un accès pratique aux composants de processus et au traitement des substrats.

Des substrats et des supports de substrat d'un diamètre total allant jusqu'à 300 mm peuvent y être traités.

UNIVEX Coating Systems
 

G 350

chamber size

Width: 370 mm Depth: 390 mm Height: 500 mm

thermal evaporator

up to 8 materials

organic evaporator

Up to 4 materials

e-beam evaporation

Multi-pocket and/or single pocket

sputtering

Up or down: 3 X 2” guns, or 2 X 3” guns

Co-Deposition

Evaporation and/or sputtering

load lock compatible

optional

Ion assisted deposition

optional

vacuum level

mid 10-7 mbar

cleanroom compatible

yes

UNIVEX G 450

Grâce à la taille de sa chambre, l'UNIVEX G 450 est adapté à toutes les tâches de dépôt nécessitant beaucoup d'espace. Des substrats et des supports de substrat allant jusqu'à plus de 400 mm de diamètre peuvent y être traités. Avec une hauteur de 650 mm, la chambre à vide est également adaptée aux applications de lift-off.

UNIVEX Coating Systems
 

G 450

chamber size

Width: 500 mm Depth: 500 mm Height: 650 mm

thermal evaporator

Up to 8 materials

organic evaporator

Up to 8 materials

e-beam evaporation

Multi-pocket and/or single pocket

sputtering

Up or down: 3 X 3”, 2 X 4”, 4 X 2” or other

Co-Deposition

Evaporation and/or sputtering

load lock compatible

optional

Ion assisted deposition

optional

vacuum level

mid 10-7 mbar

cleanroom compatible

yes

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