Leybold supports the ZSW in complex coating solutions for novel solar cells.
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UNIVEX C
Systèmes de cluster et de dépôt personnalisé
Pour les applications spéciales, nous pouvons également fournir des systèmes en cluster ou personnalisés basés sur le concept modulaire UNIVEX.
- UNIVEX C - CLUSTER
- UNIVEX C - PERSONNALISE
UNIVEX C - CLUSTER
UNIVEX C - CLUSTER
Nos systèmes en cluster UNIVEX sont équipés en fonction des besoins du client et intègrent des chambres de traitement, de sas de charge et de transfert séparées. En général, chaque chambre à vide dispose de son propre système de vide poussé. Dans le cas le plus simple, la chambre de sas de charge est chargée manuellement avec différents substrats. Le traitement par chargement de lots de plusieurs substrats est également possible.
Pour le transport des substrats entre les différentes chambres à vide, des bras robotiques ou des unités d'entraînement de transfert linéaire motorisés sont généralement utilisés. Le logiciel de commande UNIVEX est personnalisé en fonction des exigences spécifiques de l'application et permet généralement une exécution entièrement automatique du processus, y compris dans le traitement des formules.
UNIVEX C - PERSONNALISE
UNIVEX C - PERSONNALISE
N'hésitez pas à nous contacter si aucun type de système UNIVEX ne correspond à vos besoins ou si vous souhaitez une taille ou une hauteur de chambre particulières.
Nous serions heureux de créer pour vous un système sur mesure.
UNIVEX C - CLUSTER
Nos systèmes en cluster UNIVEX sont équipés en fonction des besoins du client et intègrent des chambres de traitement, de sas de charge et de transfert séparées. En général, chaque chambre à vide dispose de son propre système de vide poussé. Dans le cas le plus simple, la chambre de sas de charge est chargée manuellement avec différents substrats. Le traitement par chargement de lots de plusieurs substrats est également possible.
Pour le transport des substrats entre les différentes chambres à vide, des bras robotiques ou des unités d'entraînement de transfert linéaire motorisés sont généralement utilisés. Le logiciel de commande UNIVEX est personnalisé en fonction des exigences spécifiques de l'application et permet généralement une exécution entièrement automatique du processus, y compris dans le traitement des formules.
UNIVEX C - PERSONNALISE
N'hésitez pas à nous contacter si aucun type de système UNIVEX ne correspond à vos besoins ou si vous souhaitez une taille ou une hauteur de chambre particulières.
Nous serions heureux de créer pour vous un système sur mesure.
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