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Carga y recubrimiento de sustratos sensibles a la humedad y al oxígeno en una atmósfera inerte
Nuestros sistemas estándar de cajas de guantes permiten cargar y recubrir sustratos sensibles al oxígeno y la humedad gracias a la atmósfera inerte de la caja de guantes.
Los sistemas UNIVEX G cuentan con una puerta corredera delantera para la conexión a la caja de guantes. Esta puerta corredera permite al usuario acceder de forma sencilla a la cámara de proceso por medio de la caja de guantes. En caso de necesitarse acceso directo, UNIVEX G incorpora una segunda puerta en la parte posterior.
Aplicaciones habituales
Acceso directo y sencillo a los equipos de proceso mediante la puerta corredera delantera
Un acceso sencillo para la realización de tareas de mantenimiento mediante la puerta posterior con bisagras
Integración de cualquier componente del proceso
UNIVEX G 250 es una solución cómoda y rentable para trabajos de recubrimiento que no requieren mucho espacio.
Permite procesar sustratos y los correspondientes soportes de hasta aproximadamente 220 mm de diámetro total.
G 250 |
|
---|---|
Chamber size |
Width 270 mm Depth 370 mm Height 400 mm |
Thermal evaporator |
up to 4 materials |
Organic evaporator |
up to 4 materials |
E-beam evaporation |
multi-pocket or single pocket |
Sputtering |
up or down, 2 x 2" |
Co-Deposition |
evaporation and/or sputtering |
Load lock compatible |
optional |
Vacuum level |
mid 10-7 mbar |
Cleanroom compatible |
yes |
UNIVEX G 350 combina un diseño compacto con abundante espacio en la cámara.
UNIVEX G 350 ofrece unas condiciones espaciales óptimas y un acceso muy sencillo a los componentes del proceso y el sustrato para numerosos trabajos de recubrimiento.
Permite procesar sustratos y los correspondientes soportes de hasta aproximadamente 300 mm de diámetro total.
G 350 |
|
---|---|
chamber size |
Width: 370 mm Depth: 390 mm Height: 500 mm |
thermal evaporator |
up to 8 materials |
organic evaporator |
Up to 4 materials |
e-beam evaporation |
Multi-pocket and/or single pocket |
sputtering |
Up or down: 3 X 2” guns, or 2 X 3” guns |
Co-Deposition |
Evaporation and/or sputtering |
load lock compatible |
optional |
Ion assisted deposition |
optional |
vacuum level |
mid 10-7 mbar |
cleanroom compatible |
yes |
Gracias a las dimensiones de su cámara, la UNIVEX G 450 es apta para todos aquellos trabajos de recubrimiento que requieran de abundante espacio. Permite procesar sustratos y los correspondientes soportes de hasta aproximadamente 400 mm de diámetro total. Con 650 mm de altura, la cámara de vacío también es apta para aplicaciones de elevación.
G 450 |
|
---|---|
chamber size |
Width: 500 mm Depth: 500 mm Height: 650 mm |
thermal evaporator |
Up to 8 materials |
organic evaporator |
Up to 8 materials |
e-beam evaporation |
Multi-pocket and/or single pocket |
sputtering |
Up or down: 3 X 3”, 2 X 4”, 4 X 2” or other |
Co-Deposition |
Evaporation and/or sputtering |
load lock compatible |
optional |
Ion assisted deposition |
optional |
vacuum level |
mid 10-7 mbar |
cleanroom compatible |
yes |