Caja de guantes UNIVEX G
Carga y recubrimiento de sustratos sensibles a la humedad y al oxígeno en una atmósfera inerte
Nuestros sistemas estándar de cajas de guantes permiten cargar y recubrir sustratos sensibles al oxígeno y la humedad gracias a la atmósfera inerte de la caja de guantes.
Los sistemas UNIVEX G cuentan con una puerta corredera delantera para la conexión a la caja de guantes. Esta puerta corredera permite al usuario acceder de forma sencilla a la cámara de proceso por medio de la caja de guantes. En caso de necesitarse acceso directo, UNIVEX G incorpora una segunda puerta en la parte posterior.
Aplicaciones habituales
- Metalización por contacto (evaporación de oro, plata, cromo, níquel, titanio, etc.)
- Biosensores/dispositivos médicos
- Electrónica orgánica: OLED, fotovoltaica orgánica
- Puntos cuánticos/pantallas de puntos cuánticos
- Evaporadores orgánicos y de cañón de electrones para la producción de perovskita inorgánico-orgánica
- UNIVEX G 250
- UNIVEX G 350
- UNIVEX G 450
UNIVEX G 250
UNIVEX G 250 es una solución cómoda y rentable para trabajos de recubrimiento que no requieren mucho espacio.
Permite procesar sustratos y los correspondientes soportes de hasta aproximadamente 220 mm de diámetro total.
G 250 |
|
|---|---|
Tamaño de la cámara |
Anchura: 270 mm, profundidad: 370 mm, altura: 400 mm |
Evaporador térmico |
Hasta 4 materiales |
Evaporador de compuestos orgánicos |
Hasta 4 materiales |
Evaporación mediante cañón de electrones |
Multihueco o un solo hueco |
Pulverización catódica |
Arriba o abajo: 2 x 2" |
Codeposición |
Evaporación o pulverización catódica |
Compatible con carga y descarga |
Opcional |
Nivel de vacío |
Medio 10-7 mbar |
Compatible con salas blancas |
Sí |
UNIVEX G 350
UNIVEX G 350 combina un diseño compacto con abundante espacio en la cámara.
UNIVEX G 350 ofrece unas condiciones espaciales óptimas y un acceso muy sencillo a los componentes del proceso y el sustrato para numerosos trabajos de recubrimiento.
Permite procesar sustratos y los correspondientes soportes de hasta aproximadamente 300 mm de diámetro total.
G 350 |
|
|---|---|
Tamaño de la cámara |
Anchura: 370 mm, profundidad: 390 mm, altura: 500 mm |
Evaporador térmico |
Hasta 8 materiales |
Evaporador de compuestos orgánicos |
Hasta 4 materiales |
Evaporación mediante cañón de electrones |
Multihueco o un solo hueco |
Pulverización catódica |
Arriba o abajo: 3 pistolas de 2" o 2 pistolas de 3" |
Codeposición |
Evaporación o pulverización catódica |
Compatible con carga y descarga |
Opcional |
Deposición asistida por iones |
Opcional |
Nivel de vacío |
Medio 10-7 mbar |
Compatible con salas blancas |
Sí |
UNIVEX G 450
Gracias a las dimensiones de su cámara, la UNIVEX G 450 es apta para todos aquellos trabajos de recubrimiento que requieran de abundante espacio. Permite procesar sustratos y los correspondientes soportes de hasta aproximadamente 400 mm de diámetro total. Con 650 mm de altura, la cámara de vacío también es apta para aplicaciones de elevación.
G 450 |
|
|---|---|
Tamaño de la cámara |
Anchura: 500 mm, profundidad: 500 mm, altura: 650 mm |
Evaporador térmico |
Hasta 8 materiales |
Evaporador de compuestos orgánicos |
Hasta 8 materiales |
Evaporación mediante cañón de electrones |
Multihueco o un solo hueco |
Pulverización catódica |
Arriba o abajo: 3 X 3", 2 X 4", 4 X 2" u otras |
Codeposición |
Evaporación o pulverización catódica |
Compatible con carga y descarga |
Opcional |
Deposición asistida por iones |
Opcional |
Nivel de vacío |
Medio 10-7 mbar |
Compatible con salas blancas |
Sí |
