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UNIVEX G 350 glove box

Caja de guantes UNIVEX G

Carga y recubrimiento de sustratos sensibles a la humedad y al oxígeno en una atmósfera inerte

Nuestros sistemas estándar de cajas de guantes permiten cargar y recubrir sustratos sensibles al oxígeno y la humedad gracias a la atmósfera inerte de la caja de guantes.

Los sistemas UNIVEX G cuentan con una puerta corredera delantera para la conexión a la caja de guantes. Esta puerta corredera permite al usuario acceder de forma sencilla a la cámara de proceso por medio de la caja de guantes. En caso de necesitarse acceso directo, UNIVEX G incorpora una segunda puerta en la parte posterior.

Aplicaciones habituales 

  • Metalización por contacto (evaporación de oro, plata, cromo, níquel, titanio, etc.)
  • Biosensores/dispositivos médicos
  • Electrónica orgánica: OLED, fotovoltaica orgánica
  • Puntos cuánticos/pantallas de puntos cuánticos
  • Evaporadores orgánicos y de cañón de electrones para la producción de perovskita inorgánico-orgánica

Acceso directo y sencillo a los equipos de proceso mediante la puerta corredera delantera

Un acceso sencillo para la realización de tareas de mantenimiento mediante la puerta posterior con bisagras

Integración de cualquier componente del proceso

UNIVEX G 250

UNIVEX G 250 es una solución cómoda y rentable para trabajos de recubrimiento que no requieren mucho espacio.

Permite procesar sustratos y los correspondientes soportes de hasta aproximadamente 220 mm de diámetro total.

UNIVEX G 250 with electrical cabinet
 

G 250

Chamber size

Width 270 mm   Depth 370 mm Height 400 mm

Thermal evaporator

up to 4 materials

Organic evaporator

up to 4 materials

E-beam evaporation

multi-pocket or single pocket

Sputtering

up or down, 2 x 2"

Co-Deposition

evaporation and/or sputtering

Load lock compatible

optional

Vacuum level

mid 10-7 mbar

Cleanroom compatible

yes

UNIVEX G 350

UNIVEX G 350 combina un diseño compacto con abundante espacio en la cámara.

UNIVEX G 350 ofrece unas condiciones espaciales óptimas y un acceso muy sencillo a los componentes del proceso y el sustrato para numerosos trabajos de recubrimiento.

Permite procesar sustratos y los correspondientes soportes de hasta aproximadamente 300 mm de diámetro total.

UNIVEX Coating Systems
 

G 350

chamber size

Width: 370 mm Depth: 390 mm Height: 500 mm

thermal evaporator

up to 8 materials

organic evaporator

Up to 4 materials

e-beam evaporation

Multi-pocket and/or single pocket

sputtering

Up or down: 3 X 2” guns, or 2 X 3” guns

Co-Deposition

Evaporation and/or sputtering

load lock compatible

optional

Ion assisted deposition

optional

vacuum level

mid 10-7 mbar

cleanroom compatible

yes

UNIVEX G 450

Gracias a las dimensiones de su cámara, la UNIVEX G 450 es apta para todos aquellos trabajos de recubrimiento que requieran de abundante espacio. Permite procesar sustratos y los correspondientes soportes de hasta aproximadamente 400 mm de diámetro total. Con 650 mm de altura, la cámara de vacío también es apta para aplicaciones de elevación.

UNIVEX Coating Systems
 

G 450

chamber size

Width: 500 mm Depth: 500 mm Height: 650 mm

thermal evaporator

Up to 8 materials

organic evaporator

Up to 8 materials

e-beam evaporation

Multi-pocket and/or single pocket

sputtering

Up or down: 3 X 3”, 2 X 4”, 4 X 2” or other

Co-Deposition

Evaporation and/or sputtering

load lock compatible

optional

Ion assisted deposition

optional

vacuum level

mid 10-7 mbar

cleanroom compatible

yes

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