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UNIVEX Box Coater family

Sistemas de recubrimiento compactos UNIVEX

Nuestros sistemas de recubrimiento de compactos, permiten acceder directamente a la cámara de proceso. Los sistemas de revestimiento compactos UNIVEX de Leybold se definen en función del tamaño de la cámara.

Diseño modular del sistema

Cámara de vacío multiusos

Acceso muy sencillo a todos los equipos instalados

Diversas técnicas de deposición en la misma cámara

Compatible con salas blancas

UNIVEX 250

Nuestros sistemas de recubrimiento compactos, permiten acceder directamente a la cámara de proceso. Los sistemas de revestimiento compactos UNIVEX de Leybold se definen en función del tamaño de la cámara. 

Su baja altura, de tan solo 1,2 metros (aproximadamente), los hace idóneos para colocarlos sobre banco. Permite recubrir sustratos de hasta 220 mm de diámetro total. 

El controlador del sistema le permite aplicar procesos de recubrimiento manuales y semiautomáticos respectivos. 

Aplicaciones habituales:

  • Metalización por contacto (evaporación de oro, plata, cromo, níquel, titanio, etc.)
  • Imagen por contraste para microscopía (indio, carbono, etc.)
  • Películas finas para aplicaciones solares

Configuraciones habituales

  • Cañón de electrones multihueco con evaporador térmico 
  • Hasta dos pistolas de sputtering de 2" en configuración confocal y sputter up 
UNIVEX Coating Systems
 

UNIVEX 250

Chamber size

width: 270 mm, depth: 370 mm, height: 400 mm

Thermal evaporator

up to 4 materials

Organic evaporator

up to 4 materials

E-beam evaporation

multi-pocket or single pocket

Sputtering

up or down, 2 x 2"

Co-Deposition

evaporation and/or sputtering

Load lock compatible

optional

Water tempered chamber

optional

Vacuum level

mid 10-7 mbar

Cleanroom compatible

yes

UNIVEX 400

UNIVEX 400 es un sistema de recubrimiento compacto para trabajos de laboratorio y procesos de producción piloto. Las dimensiones de su cámara lo hacen idóneo para recubrir sustratos de tamaño reducido a mediano. 

Permite recubrir sustratos y soportes de hasta 350 mm de diámetro total. 

El controlador del sistema le permite aplicar procesos de recubrimiento manuales, semiautomáticos y totalmente automáticos. 

 Aplicaciones habituales

  • Películas finas para aplicaciones solares: procesos de CdTe, CIGS y CZTS con sputter
  • Electrónica orgánica (PV, OLED)
  • Recubrimientos en aplicaciones ópticas
  • Microelectrónica

Configuraciones habituales

  • Cañón de electrones multi-pocket con evaporador térmico y fuente iónica
  • Hasta dos pistolas de sputtering de 2" en configuración confocal y sputter up o down
  • Evaporadores orgánicos y de cañón de electrones para la producción de perovskita inorgánico-orgánica
UNIVEX Coating Systems
 

UNIVEX 400

Chamber size

width: 420 mm, depth: 480 mm, height: 550 mm

Thermal evaporator

up to 8 materials

Organic evaporator

up to 8 materials

E-beam evaporation

multi-pocket or single pocket

Sputtering

up or down, 4  X  2”, 3  X  3”, 2  X  4” or other

Co-Deposition

evaporation and/or sputtering

Load lock compatible

optional

Ion assisted deposition

optional

Water tempered chamber

yes

Vacuum level

mid 10-7 mbar

UHV Version

optional

Cleanroom compatible

yes

UNIVEX 600

UNIVEX 600 es un sistema de recubrimiento compacto para trabajos de laboratorio y procesos de producción piloto. Las dimensiones de su cámara lo hacen idóneo para sustratos de tamaño mediano a grande. 

El rendimiento alcanzable del sustrato satisface las necesidades generales de tandas de producción en serie reducidas. Permite recubrir sustratos y soportes de hasta 550 mm de diámetro total. 

El controlador del sistema le permite aplicar procesos de recubrimiento manuales, semiautomáticos y totalmente automáticos. 

Aplicaciones habituales

  • Recubrimientos en aplicaciones ópticas
  • Dispositivos optoelectrónicos
  • RAM resistiva
  • Superconductores de alta temperatura

Configuraciones habituales

  • Calentadores o refrigeradores de sustrato 
  • Cañón de electrones multi-pocket con evaporador térmico y fuente iónica
  • Configuraciones de sustrato en paleta, abovedado o planetario para una o varias muestras
  • Múltiples magnetrones en configuración confocal o cara a cara
UNIVEX Coating Systems
 

UNIVEX 600

Chamber size

Width: 600 mm Depth: 600 mm Height: 800 mm or 550 mm (sputter)

Thermal evaporator

up to 8 materials

Organic evaporator

up to 8 materials

E-beam evaporation

multi-pocket and/or single pocket, multiple gun operation

Sputtering

up or down: 4 X 3”, 3 X 4”, 6 X 2” or other

Co-Deposition

evaporation and/or sputtering

Load lock compatible

optional

Ion assisted deposition

optional

Water tempered chamber

yes

Vacuum level

mid 10-7 mbar

UHV Version

optional

Cleanroom compatible

yes

UNIVEX 900

UNIVEX 900 es la solución más sofisticada para sustratos entre intermedios y grandes, y permite obtener mayores rendimientos de sustrato. Permite recubrir sustratos y soportes de hasta 800 mm de diámetro total. El controlador del sistema le permite aplicar procesos de recubrimiento manuales, semiautomáticos y totalmente automáticos.

Aplicaciones habituales

  • Recubrimientos en aplicaciones ópticas
  • Dispositivos optoelectrónicos
  • RAM resistiva
  • Superconductores de alta temperatura

Configuraciones habituales

  • Calentadores o refrigeradores de sustrato 
  • Cañón de electrones multi-pocket con fuentes iónicas para la limpieza previa de sustrato y la deposición asistida mediante iones
  • Configuraciones de sustrato en paleta, abovedado o planetario para una o varias muestras
  • Múltiples magnetrones en configuración confocal o cara a cara
UNIVEX Coating Systems
 

UNIVEX 900

Chamber size

Width: 900 mm Depth: 900 mm Height: 1100 mm

Thermal evaporator

up to 8 materials

Organic evaporator

up to 8 materials

E-beam evaporation

multi-pocket and/or single pocket, multiple gun operation

Sputtering

optional

Co-Deposition

yes

Load lock compatible

optional

Ion assisted deposition

optional

Water tempered chamber

yes

Vacuum level

mid 10-7 mbar

UHV Version

optional

Cleanroom compatible

yes

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