Sistemas de recubrimiento compactos UNIVEX
Nuestros sistemas de recubrimiento de compactos, permiten acceder directamente a la cámara de proceso. Los sistemas de revestimiento compactos UNIVEX de Leybold se definen en función del tamaño de la cámara.
- UNIVEX 250
- UNIVEX 400
- UNIVEX 600
- UNIVEX 900
UNIVEX 250
Nuestros sistemas de recubrimiento compactos, permiten acceder directamente a la cámara de proceso. Los sistemas de revestimiento compactos UNIVEX de Leybold se definen en función del tamaño de la cámara.
Su baja altura, de tan solo 1,2 metros (aproximadamente), los hace idóneos para colocarlos sobre banco. Permite recubrir sustratos de hasta 220 mm de diámetro total.
El controlador del sistema le permite aplicar procesos de recubrimiento manuales y semiautomáticos respectivos.
Aplicaciones habituales:
- Metalización por contacto (evaporación de oro, plata, cromo, níquel, titanio, etc.)
- Imagen por contraste para microscopía (indio, carbono, etc.)
- Películas finas para aplicaciones solares
Configuraciones habituales
- Cañón de electrones multihueco con evaporador térmico
- Hasta dos pistolas de sputtering de 2" en configuración confocal y sputter up
UNIVEX 250 |
|
|---|---|
Tamaño de la cámara |
Anchura: 270 mm, profundidad: 370 mm, altura: 400 mm |
Evaporador térmico |
Hasta 4 materiales |
Evaporador de compuestos orgánicos |
Hasta 4 materiales |
Evaporación mediante cañón de electrones |
Multihueco o un solo hueco |
Pulverización catódica |
Arriba o abajo: 2 x 2" |
Codeposición |
Evaporación o pulverización catódica |
Compatible con carga y descarga |
Opcional |
Cámara de agua templada |
Opcional |
Nivel de vacío |
Medio 10-7 mbar |
Compatible con salas blancas |
Sí |
UNIVEX 400
UNIVEX 400 es un sistema de recubrimiento compacto para trabajos de laboratorio y procesos de producción piloto. Las dimensiones de su cámara lo hacen idóneo para recubrir sustratos de tamaño reducido a mediano.
Permite recubrir sustratos y soportes de hasta 350 mm de diámetro total.
El controlador del sistema le permite aplicar procesos de recubrimiento manuales, semiautomáticos y totalmente automáticos.
Aplicaciones habituales
- Películas finas para aplicaciones solares: procesos de CdTe, CIGS y CZTS con sputter
- Electrónica orgánica (PV, OLED)
- Recubrimientos ópticos
- Microelectrónica
Configuraciones habituales
- Cañón de electrones multi-pocket con evaporador térmico y fuente iónica
- Hasta dos pistolas de sputtering de 2" en configuración confocal y sputter up o down
- Evaporadores orgánicos y de cañón de electrones para la producción de perovskita inorgánico-orgánica
UNIVEX 400 |
|
|---|---|
Tamaño de la cámara |
Anchura: 420 mm, profundidad: 480 mm, altura: 550 mm |
Evaporador térmico |
Hasta 8 materiales |
Evaporador de compuestos orgánicos |
Hasta 8 materiales |
Evaporación mediante cañón de electrones |
Multihueco o un solo hueco |
Pulverización catódica |
Arriba o abajo: 4 X 2", 3 X 3", 2 X 4" u otras |
Codeposición |
Evaporación o pulverización catódica |
Compatible con carga y descarga |
Opcional |
Deposición asistida por iones |
Opcional |
Cámara de agua templada |
Sí |
Nivel de vacío |
Medio 10-7 mbar |
Versión UHV |
Opcional |
Compatible con salas blancas |
Sí |
UNIVEX 600
UNIVEX 600 es un sistema de recubrimiento compacto para trabajos de laboratorio y procesos de producción piloto. Las dimensiones de su cámara lo hacen idóneo para sustratos de tamaño mediano a grande.
El rendimiento alcanzable del sustrato satisface las necesidades generales de tandas de producción en serie reducidas. Permite recubrir sustratos y soportes de hasta 550 mm de diámetro total.
El controlador del sistema le permite aplicar procesos de recubrimiento manuales, semiautomáticos y totalmente automáticos.
Aplicaciones habituales
- Recubrimientos ópticos
- Dispositivos optoelectrónicos
- RAM resistiva
- Superconductores de alta temperatura
Configuraciones habituales
- Calentadores o refrigeradores de sustrato
- Cañón de electrones multi-pocket con evaporador térmico y fuente iónica
- Configuraciones de sustrato en paleta, abovedado o planetario para una o varias muestras
- Múltiples magnetrones en configuración confocal o cara a cara
UNIVEX 600 |
|
|---|---|
Tamaño de la cámara |
Anchura: 600 mm, profundidad: 600 mm, altura: 800 mm o 550 mm (pulverizador) |
Evaporador térmico |
Hasta 8 materiales |
Evaporador de compuestos orgánicos |
Hasta 8 materiales |
Evaporación mediante cañón de electrones |
Multihueco o un solo hueco, funcionamiento con varias pistolas |
Pulverización catódica |
Arriba o abajo: 4 X 3", 3 X 4", 6 X 2" u otras |
Codeposición |
Evaporación o pulverización catódica |
Compatible con carga y descarga |
Opcional |
Deposición asistida por iones |
Opcional |
Cámara de agua templada |
Sí |
Nivel de vacío |
Medio 10-7 mbar |
Versión UHV |
Opcional |
Compatible con salas blancas |
Sí |
UNIVEX 900
UNIVEX 900 es la solución más sofisticada para sustratos entre intermedios y grandes, y permite obtener mayores rendimientos de sustrato. Permite recubrir sustratos y soportes de hasta 800 mm de diámetro total. El controlador del sistema le permite aplicar procesos de recubrimiento manuales, semiautomáticos y totalmente automáticos.
Aplicaciones habituales
- Recubrimientos ópticos
- Dispositivos optoelectrónicos
- RAM resistiva
- Superconductores de alta temperatura
Configuraciones habituales
- Calentadores o refrigeradores de sustrato
- Cañón de electrones multi-pocket con fuentes iónicas para la limpieza previa de sustrato y la deposición asistida mediante iones
- Configuraciones de sustrato en paleta, abovedado o planetario para una o varias muestras
- Múltiples magnetrones en configuración confocal o cara a cara
UNIVEX 900 |
|
|---|---|
Tamaño de la cámara |
Anchura: 900 mm, profundidad: 900 mm, altura: 1100 mm |
Evaporador térmico |
Hasta 8 materiales |
Evaporador de compuestos orgánicos |
Hasta 8 materiales |
Evaporación mediante cañón de electrones |
Multihueco o un solo hueco, funcionamiento con varias pistolas |
Pulverización catódica |
Opcional |
Codeposición |
Sí |
Compatible con carga y descarga |
Opcional |
Deposición asistida por iones |
Opcional |
Cámara de agua templada |
Sí |
Nivel de vacío |
Medio 10-7 mbar |
Versión UHV |
Opcional |
Compatible con salas blancas |
Sí |
