От нанесения износостойких покрытий на механические компоненты до покрытия оптических компонентов и металлизации пластиковых поверхностей: все эти процессы выполняются в условиях вакуума.
Вакуумное напыление является одним из наиболее эффективных способов нанесения высококачественных покрытий на поверхности различных продуктов, повышающих их ценность для клиентов. Вакуумное напыление — это высокотехнологичный и постоянно развивающийся сегмент рынка, эталоном на котором являются решения Leybold.
Вакуумные покрытия используются в различных областях, например:
Требования рынка вакуумных покрытий постоянно мотивируют компанию Leybold разрабатывать все более совершенные продукты и специализированные вакуумные решения, в том числе форвакуумные насосы, высоковакуумные насосы, устройства управления вакуумными системами, устройства измерения вакуума и системы обнаружения утечек.
Линейка современных и энергоэффективных безмасляных винтовых насосов с беспрецедентной надежностью. Насосы DRYVAC справляются с повторяющимся внезапным сбросом вакуума до атмосферного давления во время откачки из шлюзовых загрузочных камер в дополнение к высоким газовым и пылевым нагрузкам в процессе напыления. Оборудование DRYVAC — это следующее поколение форвакуумных насосов, которые задают отраслевые стандарты. Их функции оптимально соответствуют современным требованиям на рынке, поскольку они разработаны для экологически безопасной эксплуатации и предлагают удобный и прозрачный план технического обслуживания.
Иногда вам необходимо полностью интегрированное решение — например, откачка из шлюзовых загрузочных камер линейно подключенных машин для нанесения покрытий, для которой нужно большое количество энергии. DRYVAC PowerBoost — это комбинация бустерного насоса DRYVAC и RUVAC и интеллектуального электронного модуля. Эта система автоматически адаптирует производительность бустерного насоса RUVAC, чтобы сократить время цикла и снизить энергопотребление. Для стерильных условий (TFT, SEMI и FPD) оборудование DRYVAC PowerBoost обеспечивает лучшую производительность при минимальном воздействии на окружающую среду.
Для откачки больших объемов требуется высокопроизводительный бустерный насос. Наши классические бустерные насосы RUVAC WA(U) и WS(U), а также инновационные, герметичные насосы RUVAC WH(U) могут приводиться в действие как с помощью прямого привода, так и с использованием преобразователя частоты, который обеспечивает постоянную высокую частоту вращения и скорость откачки.
Благодаря производительности от 250 до 7000 м³/ч, мы можем разрабатывать вакуумные системы нанесения покрытия любого размера.
Линейка пластинчато-роторных насосов SOGEVAC — это проверенные временем форвакуумные насосы, используемые при нанесении покрытий. В течение нескольких десятилетий насосы SOGEVAC с масляным уплотнением являются оптимальным выбором для заказчиков, которым требуются надежные вакуумные насосы с лучшей репутацией в области нанесения покрытий. Как правило, насосы SOGEVAC используются в системах в сочетании с насосами Рутса RUVAC. Линейка насосов SOGEVAC представлена в широком диапазоне скоростей откачки от 16 до 750 м³/ч, благодаря чему это оборудование может работать в комбинации как с компактными настольными системами напыления, так и с крупными промышленными установками напыления.
Турбомолекулярные вакуумные насосы TURBOVAC MAGiNTEGRA с магнитной левитацией — это проверенные в производственной среде высоковакуумные насосы, которые создают вакуум без углеводородов в сложных условиях применения. Благодаря своей надежности, это оборудование справляется как с частицами, образующимися в процессе нанесения покрытий, так и с большими потоками газа, которые присутствуют в некоторых областях нанесения покрытий в промышленном производстве. Насос TURBOVAC MAGiNTEGRA является наиболее подходящим решением для создания высокого вакуума в системах напыления. Он обеспечивает низкие расходы на техническое обслуживание и высокую производительность с учетом соотношения скорости и размера. Вам нужен высоковакуумный насос для нанесения покрытия на большие площади? Насос TURBOVAC MAGiNTEGRA будет наилучшим выбором.
Насосы TURBOVAC i — это линейка различных моделей механических турбомолекулярных вакуумных насосов, которые оптимизированы для промышленного применения. Благодаря специальной конструкции, наше надежное решение TURBOVAC i IND лучше всего справляется с частицами, образующимися в процессе нанесения покрытия, или большими потоками газа, необходимыми для конкретных покрытий, при использовании небольших и средних вакуумных камер.
Высоковакуумные диффузионные насосы достаточно универсальны для различных сфер применения, но особенно эффективны в области нанесения декоративных, износостойких и рулонных покрытий. Наши прочные и экономичные диффузионные насосы DIP и DIJ обеспечивают самую низкую цену по отношению к скорости откачки в любых условиях применения, требующих использования высокого вакуума.
Линейка высоковакуумных насосов обеспечивает безмасляный и сухой вакуум при низком предельном давлении до 10-9 мбар. Оптические покрытия должны быть максимально чистыми, чтобы обеспечить правильные свойства, поэтому если чистота вакуумной системы играет для вас ключевую роль, насос COOLVAC станет идеальным выбором.
Стабильное давление вакуума критически важно для создания высококачественных покрытий. В зависимости от процесса, необходимого уровня вакуума и точности, для мониторинга или даже контроля уровня вакуума используются различные манометры. Мы предлагаем полный ассортимент манометров, отвечающих вашим потребностям, от моделей TTR91 или TTR101 для низкого вакуума до ITR90 для высокого уровня вакуума. При вакуумном нанесении покрытий важно обеспечить точное давление во время напыления и низкое предельное давление. В некоторых высокоточных процессах напыления достоверность измерения давления играет важную роль. Мы разработали собственную линейку вакуумметров, которые представляют собой систему измерения и контроля для всех размеров и уровней точности.
Герметичная вакуумная система является необходимым условием, которое обеспечивает стабильный процесс нанесения покрытия и однородное качество продукции. Системы нанесения покрытия проходят испытания на герметичность с использованием гелиевых течеискателей серии PHOENIX. Ее ассортимент включает масляные и безмасляные варианты исполнения, а также мобильные и устанавливаемые на тележке системы.
Полноценная вакуумная система не обходится без специальных герметичных деталей, арматуры и клапанов. Все аксессуары, включающие клапаны, уплотнения, трубопроводы и шланги, идеально подходят для наших насосов и соответствуют всем требованиям мировых стандартов, таких как ISO-K и ISO-CF.