Terugstromende damppompvloeistoffen, dampen van oliën, smeermiddelen van roterende pompen en hun krakende producten kunnen verschillende werkprocessen in vacuüm aanzienlijk verstoren. Daarom wordt aanbevolen om voor bepaalde toepassingen pompen en apparaten te gebruiken die de aanwezigheid van koolwaterstofdampen betrouwbaar uitsluiten. 

Koolwaterstoffen zijn chemische verbindingen van koolstof en waterstof die de basis vormen van alledaagse brandstoffen zoals olie en gas. Het verwijderen van dergelijke koolwaterstoffen uit uw pomp zal uiteindelijk de bedrijfs- en onderhoudskosten verlagen. Het uitsluiten van koolwaterstofdampen kan met behulp van verschillende methoden worden aangepakt. Sommige pomptypes zijn beter geschikt voor dit proces, wat betekent dat de volgende factoren essentieel zijn om rekening mee te houden bij het kiezen van een pomptype.

Ruw vacuümbereik (1013 tot 1 mbar)

In plaats van roterende pompen kunnen grote waterstraal-, stoomejector- of waterringpompen worden gebruikt. Voor batchevacuatie en de productie van koolwaterstofvrij voorvacuüm voor sputterionpompen zijn adsorptiepompen geschikt. Als het gebruik van oliegesmeerde draaischuifpompen niet kan worden vermeden, moeten in principe tweetraps draaischuifpompen worden gebruikt. De kleine hoeveelheid oliedamp die terugstroomt uit de inlaatpoorten van deze pompen kan bijna volledig worden verwijderd door een sorptieval (zie pagina over accessoires voor roterende pompen ) die in de pompleiding wordt geplaatst. 

Gemiddeld vacuümbereik (1 tot 10 ^-3 mbar)

Voor het verpompen van grote hoeveelheden gas in dit drukgebied zijn dampejectorpompen veruit het meest geschikt. Met kwikdampejectorpompen kan volledig olievrij vacuüm worden geproduceerd. Als voorzorgsmaatregel wordt aanbevolen om een koudeval te plaatsen die met vloeibare stikstof wordt gekoeld, zodat de schadelijke kwikdamp niet in het vat terechtkomt. Met de onder a) beschreven mediumvacuümsorptievallen is het mogelijk om met tweetraps draaischuifpompen een vrijwel olievrij vacuüm tot onder 10 ^-4 mbar te produceren.  

In het middenvacuümbereik kan met adsorptiepompen absoluut olievrij vacuüm worden geproduceerd. Aangezien de pompwerking van deze pompen voor de lichte edelgassen slechts gering is, kunnen vaten die aanvankelijk met lucht zijn gevuld, slechts tot ongeveer 10 ^-2 mbar worden geëvacueerd. Drukwaarden van 10 ^-3 mbar of lager kunnen dan alleen met adsorptiepompen worden geproduceerd als er geen neon of helium in het te verpompen gasmengsel aanwezig is. In dergelijke gevallen kan het nuttig zijn om de lucht in het vat te verwijderen door het eerst met stikstof te vullen en het vervolgens weg te pompen. 

Hoog- en ultrahoogvacuümbereik (< 10 ^-3 mbar)