Tijdens een vacuümproces kunnen stoffen die schadelijk zijn voor roterende pompen aanwezig zijn in een vacuümkamer. Er zijn diverse accessoires verkrijgbaar om verontreiniging te voorkomen, zoals hieronder beschreven. In het bijzonder wordt de vermindering van waterdamp, oliedamp en stofdeeltjes door het gebruik van gespecialiseerde filters of adsorptievallen besproken.

Waterdamp ontstaat in natte vacuümprocessen. Hierdoor kan zich water afzetten in de inlaatleiding. Als dit condensaat de inlaatpoort van de pomp bereikt, kan dit leiden tot verontreiniging van de pompolie. De pompprestaties van oliegesmeerde pompen kunnen op deze manier aanzienlijk worden aangetast. Bovendien kan waterdamp die via de uitlaatklep van de pomp wordt afgevoerd, condenseren in de uitlaatleiding. Als de uitlaatleiding niet correct is geplaatst, kan het condensaat naar beneden stromen en de binnenkant van de pomp bereiken via de uitlaatklep. Daarom wordt het gebruik van condenspotten sterk aanbevolen in de aanwezigheid van waterdamp en andere dampen. Als er geen uitlaatleiding op de gasballastpomp is aangesloten (bijvoorbeeld bij kleinere draaischuifpompen), wordt het gebruik van uitlaatfilters aanbevolen. Deze vangen de olienevel op die uit de pomp wordt afgevoerd. 

Sommige pompen hebben eenvoudig te vervangen filterpatronen die niet alleen olienevel tegenhouden, maar ook de circulerende pompolie reinigen. Wanneer de hoeveelheid aanwezige waterdamp groter is dan de waterdamptolerantie van de pomp, moet er altijd een condensor tussen het vat en de pomp worden geïnstalleerd. (Zie Condensors voor meer informatie)

Vaste verontreinigingen, zoals stof en zand, verhogen de slijtage van de zuigers en de oppervlakken in het pomphuis aanzienlijk. Als het gevaar bestaat dat dergelijke verontreinigingen in de pomp terechtkomen, moet er een stofafscheider of een stoffilter in de inlaatleiding van de pomp worden geïnstalleerd. Tegenwoordig zijn niet alleen conventionele filters met vrij grote behuizingen en bijpassende filterinzetstukken verkrijgbaar, maar ook fijnmazige filters die in de centreerring van de kleine flens zijn gemonteerd. Indien nodig wordt aanbevolen om de dwarsdoorsnede te vergroten met KF-adapters. 

De einddruk die met oliegesmeerde draaischuifpompen kan worden bereikt, wordt sterk beïnvloed door waterdamp en koolwaterstoffen uit de pompolie. Zelfs bij tweetraps draaischuifpompen kan het terugstromen van een kleine hoeveelheid van deze moleculen vanuit de binnenkant van de pomp in de vacuümkamer niet worden voorkomen. Voor de productie van koolwaterstofvrij hoog- en ultrahoogvacuüm, bijvoorbeeld met sputterion- of turbomoleculaire pompen, is een zo olievrij mogelijk vacuüm ook aan de voorvacuümzijde van deze pompen nodig. Om dit te bereiken, moeten middelvacuüm adsorptievallen (zie afb. 2,40) gevuld met een geschikt adsorptiemateriaal (bv. LINDE moleculaire zeef 13X) worden geïnstalleerd in de inlaatleiding van dergelijke voorpompen met olieafdichting. De werking van een sorptieval is vergelijkbaar met die van een adsorptiepomp. Zie Sorptiepompen voor meer informatie.

Als er in de inlaatleiding van oliegesmeerde draaischuifpompen in continubedrijf adsorptievallen in de voorleiding worden geïnstalleerd, worden twee parallelle adsorptievallen aanbevolen, elk gescheiden door kleppen. De ervaring leert dat het zeoliet dat als adsorptiemateriaal wordt gebruikt na ongeveer 10 – 14 dagen looptijd een groot deel van zijn adsorptiecapaciteit verliest, waarna de andere, nu geregenereerde, adsorptieval kan worden gebruikt; het proces kan dus ononderbroken worden voortgezet. Door de adsorptieval, die nu niet meer in de pompleiding is aangesloten, te verwarmen, kunnen de dampen die aan het oppervlak van de zeoliet ontsnappen, het beste met een hulppomp worden weggepompt. Tijdens bedrijf leidt het pompen door de gasballastpomp over het algemeen tot een bedekking van het zeoliet in de andere, onverwarmde adsorptieval en dus tot een vroegtijdige vermindering van de adsorptiecapaciteit van deze val. 

Alle filters, afscheiders, condensors en kleppen in de inlaatleiding verlagen de effectieve pompsnelheid van de pomp. Op basis van de waarden van de geleidingen of weerstanden die doorgaans door de fabrikanten worden geleverd, kan de werkelijke pompsnelheid van de pomp worden berekend. Zie Geleidbaarheid berekenen voor meer informatie.