Vacuüminstallaties voor coatingtoepassingen Van slijtagebescherming op mechanische componenten tot het coaten van optische componenten of het metalliseren van kunststof oppervlakken: al deze processen vinden plaats onder vacuümomstandigheden.
Vacuümcoatingoplossingen
Vacuümcoaten is een van de meest effectieve manieren om hoogwaardige lagen aan te brengen op oppervlakken van verschillende producten, waardoor de waarde voor klanten wordt verhoogd. Vacuümcoaten is een hoogtechnologisch en voortdurend evoluerend segment van de productiemarkt waarin de oplossingen van Leybold de norm bepalen.
Vacuümcoatings worden gebruikt in een breed scala aan toepassingen, zoals:
- Glascoatings met een laag E-gehalte om de energie van de zon te reflecteren en tegelijkertijd 100% transparant te blijven. Low-E coating is een energiezuinig product dat helpt het energieverbruik te verlagen.
- Coatings op architectonisch glas om de esthetiek van moderne wolkenkrabbers te verbeteren door middel van transparante lichte gevels, terwijl de eigenschappen van laag-E-glas behouden blijven.
- Slijtvaste en harde coatings voor het verbeteren van het gebruik van snijgereedschap bij hoge snijsnelheden.
- Functionele coatings die worden gebruikt bij de productie van zonnepanelen, displays en touchscreensensoren, waardoor moderne apparaten voortdurend kunnen worden ontwikkeld en de kwaliteit kan worden verbeterd.
- Speciale optische coatings voor het creëren van optische filters, lenzen, reflecterende oppervlakken en antireflecterende oppervlakken.
- Decoratieve coatings, zoals hoogreflecterende coatings voor luxe afwerkingen op onderdelen en producten.
De vereisten van de vacuümcoatingmarkt dwingen Leybold er voortdurend toe om geoptimaliseerde producten en klantspecifieke vacuümoplossingen te leveren, waaronder voorvacuümpompen, hoogvacuümpompen, vacuümregelaars, vacuümmeetapparaten en lekdetectiesystemen.
Vacuümpompen en oplossingen van Leybold bieden
Producten voor coatingtoepassingen
- DRYVAC
- DRYVAC PowerBoost
- RUVAC
- SOGEVAC
- TURBOVAC MAGiNTEGRA
- TURBOVAC i
- Diffusiepompen
- COOLVAC
- Vacuümmeter
- Lekdetectie
- Vacuümfittingen en -kleppen
DRYVAC
DRYVAC
Een moderne, kosteneffectieve en energiezuinige serie droge schroefvacuümpompen met een ongekende robuustheid. De DRYVAC is niet alleen bestand tegen herhaalde schokventilatie tijdens het ladingvergrendelen, maar ook tegen hoge stofgasbelastingen tijdens het sputterproces. DRYVAC-pompen vertegenwoordigen de 'volgende generatie' voorvacuümpompen en zijn al een industriestandaard. Hun functies zijn goed afgestemd op de eisen van de huidige markt, omdat ze zijn ontworpen voor een groene, milieuvriendelijke werking en een handig en transparant serviceplan bieden.
DRYVAC PowerBoost
DRYVAC PowerBoost
Soms hebt u een volledig geïntegreerde oplossing nodig – bijvoorbeeld loadlocks voor inline coaters die krachtige energiepulsen vereisen. De DRYVAC PowerBoost is een combinatie van een DRYVAC en een RUVAC stuwpomp met een intelligente elektronische module. Dit systeem past de prestaties van de RUVAC-stuwpomp automatisch aan, wat resulteert in kortere cyclustijden en een lager energieverbruik. Voor cleanroomomgevingen (TFT, SEMI en FPD) biedt de DRYVAC PowerBoost de best mogelijke prestaties met de laagst mogelijke ecologische voetafdruk.
RUVAC
RUVAC
Het verpompen van grote volumes vereist een krachtige stuwpomp. Onze klassieke stuwpompen RUVAC WA(U) en WS(U) en ook onze innovatieve, hermetisch dichte RUVAC WH(U) kunnen werken met een directe aandrijving of worden aangedreven door een frequentieomvormer, waardoor ze continu met een hogere rotatie en pompsnelheid kunnen werken.
Met een capaciteit van 250 tot 7000 m³/u kunnen wij vacuümcoatingsystemen van alle afmetingen ontwerpen.
SOGEVAC
SOGEVAC
De SOGEVAC-serie draaischuifpompen is een bewezen voorvacuümpomp voor coatingtoepassingen. Al tientallen jaren zijn oliegesmeerde SOGEVAC-pompen de beste keuze voor klanten die op zoek zijn naar betrouwbare vacuümpompen met de beste reputatie voor coatingtoepassingen. U vindt SOGEVAC-pompen doorgaans in systemen in combinatie met RUVAC Roots-blowers. De SOGEVAC-serie is verkrijgbaar in een breed scala aan pompsnelheden, van 16 m³/u tot 750 m³/u, waardoor deze pompfamilie kan worden gebruikt in combinatie met kleine tafelsputtersystemen voor grote industriële sputtermachines.
TURBOVAC MAGiNTEGRA
TURBOVAC MAG
TURBOVAC MAGiNTEGRA magnetisch geleveerde turbomoleculaire vacuümpompen zijn in de productie bewezen hoogvacuümpompen die een koolwaterstofvrij vacuüm genereren voor uitdagende toepassingen. Dankzij hun robuustheid kunnen deeltjes die tijdens het coatingproces worden gegenereerd, worden getolereerd, net als hoge gasstromen die voorkomen in sommige coatingtoepassingen voor industriële productieweegschalen. De TURBOVAC MAGiNTEGRA-pomp is onze meest geschikte oplossing voor hoogvacuüm in sputtersystemen. Deze pompen bieden lage onderhoudskosten en hoge prestaties op het gebied van pompsnelheid-afmeting-doorvoer. Hebt u een hoogvacuümpomp nodig voor coatingtoepassingen met een groter oppervlak? De TURBOVAC MAGiNTEGRA is de oplossing bij uitstek.
TURBOVAC i
TURBOVAC i/iX
De TURBOVAC i-serie is een serie mechanische turbomoleculaire vacuümpompen die verschillende modellen biedt die zijn geoptimaliseerd voor industriële toepassingen. Dankzij hun speciale ontwerp is onze robuuste TURBOVAC i IND-versie het best geschikt voor deeltjes die tijdens het coatingproces worden gegenereerd of voor de hoge gasstromen die nodig zijn in bepaalde coatingtoepassingen van kleine tot middelgrote vacuümkamers.
Diffusiepompen
Diffusiepompen
Hoogvacuümdiffusiepompen zijn veelzijdig genoeg voor veel toepassingen, maar ze zijn vooral nuttig voor decoratieve coatings, slijtbeschermingsbehandelingen en roll-to-roll-coatings. Onze robuuste en kosteneffectieve diffusiepompen uit de DIP- en DIJ-serie bieden de laagste pompsnelheden voor elke toepassing die hoogvacuüm vereist.
COOLVAC
COOLVAC
Hoogvacuümpompen voor vocht- en olievrij vacuüm met de laagste einddruk tot 10 -9 mbar. Optische lagen moeten zo zuiver mogelijk zijn om de juiste eigenschappen te verkrijgen – dus als de zuiverheid van het vacuümsysteem een kernrol speelt, is COOLVAC de juiste keuze.
Vacuümmeter
Vacuümmeter
Een stabiele vacuümdruk is essentieel voor consistente coatings van hoge kwaliteit. Afhankelijk van het proces, het vacuümniveau en de vereiste nauwkeurigheid worden verschillende meters gebruikt om het vacuümniveau te bewaken of zelfs te regelen. Van TTR91- of TTR101-meters voor grofvacuüm tot ITR90-meters voor hoogvacuümniveaus, wij bieden een volledig assortiment meters om aan uw verwerkingsbehoeften te voldoen. Voor vacuümcoatingprocessen is het belangrijk om een exacte druk tijdens het sputteren en een lage einddruk te bereiken. Bij bepaalde zeer nauwkeurige sputterprocessen speelt de nauwkeurigheid van de meetdruk een cruciale rol. We hebben onze eigen serie vacuümmeters ontwikkeld die een meet- en regelsysteem bieden voor alle afmetingen en nauwkeurigheidsniveaus.
Lekdetectie
Lekdetectie
Een dicht vacuümsysteem is een voorwaarde voor een stabiel coatingproces, dat een uniforme productkwaliteit garandeert. Daarom worden coatingsystemen op lekken getest met onze PHOENIX-serie heliumlekdetectoren. Het assortiment omvat zowel natte en droge oplossingen als mobiele en op een kar gemonteerde systemen.
Vacuümfittingen en -kleppen
Vacuümfittingen en -kleppen
Een vacuümsysteem is niet compleet zonder speciale vacuümdichte onderdelen, fittingen en kleppen. Al onze accessoires, van kleppen, afdichtingen, leidingen en slangen, passen perfect bij onze pompen en voldoen aan alle wereldwijde normen, zoals ISO-K en ISO-CF.
DRYVAC
Een moderne, kosteneffectieve en energiezuinige serie droge schroefvacuümpompen met een ongekende robuustheid. De DRYVAC is niet alleen bestand tegen herhaalde schokventilatie tijdens het ladingvergrendelen, maar ook tegen hoge stofgasbelastingen tijdens het sputterproces. DRYVAC-pompen vertegenwoordigen de 'volgende generatie' voorvacuümpompen en zijn al een industriestandaard. Hun functies zijn goed afgestemd op de eisen van de huidige markt, omdat ze zijn ontworpen voor een groene, milieuvriendelijke werking en een handig en transparant serviceplan bieden.
DRYVAC PowerBoost
Soms hebt u een volledig geïntegreerde oplossing nodig – bijvoorbeeld loadlocks voor inline coaters die krachtige energiepulsen vereisen. De DRYVAC PowerBoost is een combinatie van een DRYVAC en een RUVAC stuwpomp met een intelligente elektronische module. Dit systeem past de prestaties van de RUVAC-stuwpomp automatisch aan, wat resulteert in kortere cyclustijden en een lager energieverbruik. Voor cleanroomomgevingen (TFT, SEMI en FPD) biedt de DRYVAC PowerBoost de best mogelijke prestaties met de laagst mogelijke ecologische voetafdruk.
RUVAC
Het verpompen van grote volumes vereist een krachtige stuwpomp. Onze klassieke stuwpompen RUVAC WA(U) en WS(U) en ook onze innovatieve, hermetisch dichte RUVAC WH(U) kunnen werken met een directe aandrijving of worden aangedreven door een frequentieomvormer, waardoor ze continu met een hogere rotatie en pompsnelheid kunnen werken.
Met een capaciteit van 250 tot 7000 m³/u kunnen wij vacuümcoatingsystemen van alle afmetingen ontwerpen.
SOGEVAC
De SOGEVAC-serie draaischuifpompen is een bewezen voorvacuümpomp voor coatingtoepassingen. Al tientallen jaren zijn oliegesmeerde SOGEVAC-pompen de beste keuze voor klanten die op zoek zijn naar betrouwbare vacuümpompen met de beste reputatie voor coatingtoepassingen. U vindt SOGEVAC-pompen doorgaans in systemen in combinatie met RUVAC Roots-blowers. De SOGEVAC-serie is verkrijgbaar in een breed scala aan pompsnelheden, van 16 m³/u tot 750 m³/u, waardoor deze pompfamilie kan worden gebruikt in combinatie met kleine tafelsputtersystemen voor grote industriële sputtermachines.
TURBOVAC MAG
TURBOVAC MAGiNTEGRA magnetisch geleveerde turbomoleculaire vacuümpompen zijn in de productie bewezen hoogvacuümpompen die een koolwaterstofvrij vacuüm genereren voor uitdagende toepassingen. Dankzij hun robuustheid kunnen deeltjes die tijdens het coatingproces worden gegenereerd, worden getolereerd, net als hoge gasstromen die voorkomen in sommige coatingtoepassingen voor industriële productieweegschalen. De TURBOVAC MAGiNTEGRA-pomp is onze meest geschikte oplossing voor hoogvacuüm in sputtersystemen. Deze pompen bieden lage onderhoudskosten en hoge prestaties op het gebied van pompsnelheid-afmeting-doorvoer. Hebt u een hoogvacuümpomp nodig voor coatingtoepassingen met een groter oppervlak? De TURBOVAC MAGiNTEGRA is de oplossing bij uitstek.
TURBOVAC i/iX
De TURBOVAC i-serie is een serie mechanische turbomoleculaire vacuümpompen die verschillende modellen biedt die zijn geoptimaliseerd voor industriële toepassingen. Dankzij hun speciale ontwerp is onze robuuste TURBOVAC i IND-versie het best geschikt voor deeltjes die tijdens het coatingproces worden gegenereerd of voor de hoge gasstromen die nodig zijn in bepaalde coatingtoepassingen van kleine tot middelgrote vacuümkamers.
Diffusiepompen
Hoogvacuümdiffusiepompen zijn veelzijdig genoeg voor veel toepassingen, maar ze zijn vooral nuttig voor decoratieve coatings, slijtbeschermingsbehandelingen en roll-to-roll-coatings. Onze robuuste en kosteneffectieve diffusiepompen uit de DIP- en DIJ-serie bieden de laagste pompsnelheden voor elke toepassing die hoogvacuüm vereist.
COOLVAC
Hoogvacuümpompen voor vocht- en olievrij vacuüm met de laagste einddruk tot 10 -9 mbar. Optische lagen moeten zo zuiver mogelijk zijn om de juiste eigenschappen te verkrijgen – dus als de zuiverheid van het vacuümsysteem een kernrol speelt, is COOLVAC de juiste keuze.
Vacuümmeter
Een stabiele vacuümdruk is essentieel voor consistente coatings van hoge kwaliteit. Afhankelijk van het proces, het vacuümniveau en de vereiste nauwkeurigheid worden verschillende meters gebruikt om het vacuümniveau te bewaken of zelfs te regelen. Van TTR91- of TTR101-meters voor grofvacuüm tot ITR90-meters voor hoogvacuümniveaus, wij bieden een volledig assortiment meters om aan uw verwerkingsbehoeften te voldoen. Voor vacuümcoatingprocessen is het belangrijk om een exacte druk tijdens het sputteren en een lage einddruk te bereiken. Bij bepaalde zeer nauwkeurige sputterprocessen speelt de nauwkeurigheid van de meetdruk een cruciale rol. We hebben onze eigen serie vacuümmeters ontwikkeld die een meet- en regelsysteem bieden voor alle afmetingen en nauwkeurigheidsniveaus.
Lekdetectie
Een dicht vacuümsysteem is een voorwaarde voor een stabiel coatingproces, dat een uniforme productkwaliteit garandeert. Daarom worden coatingsystemen op lekken getest met onze PHOENIX-serie heliumlekdetectoren. Het assortiment omvat zowel natte en droge oplossingen als mobiele en op een kar gemonteerde systemen.
Vacuümfittingen en -kleppen
Een vacuümsysteem is niet compleet zonder speciale vacuümdichte onderdelen, fittingen en kleppen. Al onze accessoires, van kleppen, afdichtingen, leidingen en slangen, passen perfect bij onze pompen en voldoen aan alle wereldwijde normen, zoals ISO-K en ISO-CF.
- Aanverwante toepassingen
- Verwante producten
