Vacuümmeting en -regeling Meters, restgasanalysers, pompregelaars

Vacuümmeters worden gebruikt om druk binnen een breed bereik te meten.

Ze meten van boven de atmosferische druk (~ 2000 mbar (1500 Torr)) tot 10-12 mbar/torr. Geen enkele sensortechnologie is in staat om over dit bereik te meten.

Er zijn verschillende vacuümmeters verkrijgbaar, elk met hun eigen kenmerken en vermogen om meerdere decennia vacuüm te meten.

Om het meetbereik te vergroten, is het gebruikelijk om meerdere technologieën te combineren in één meter om de benodigde aansluitingen in een systeem te verminderen.  

Een belangrijke manier om typen vacuümmeters te onderscheiden is de manier waarop ze het gas meten: directe of indirecte drukmetingen.

• In het geval van directe (of gasonafhankelijke) drukmetingen zijn de metingen die door de vacuümmeter worden verkregen onafhankelijk van het type gas en is de aangegeven druk altijd de werkelijke druk van het systeem. Ze zijn vaak afhankelijk van een mechanische doorbuiging van een membraan en zijn in staat om te meten vanaf een atmosferische druk tot 10-4 mbar/torr. Deze typen meters bieden een hoge nauwkeurigheid over een kort bereik en zijn doorgaans zeer robuust. 
  
• Bij indirecte drukmetingen wordt de druk bepaald als functie van een drukafhankelijke eigenschap van het gas (bijvoorbeeld warmtegeleidingsvermogen, ionisatiewaarschijnlijkheid). Deze eigenschappen zijn niet alleen afhankelijk van de druk, maar ook van de molaire massa van de gassen. Daarom worden deze ook wel gasafhankelijk genoemd. De meetwaarden hebben meestal betrekking op lucht of stikstof als meetgas. Voor de meting van andere dampen of gassen moeten de overeenkomstige correctiefactoren voor de werkelijke druk van het systeem worden toegepast. Deze meters zijn in staat om drukmetingen uit te voeren over een veel groter bereik (atmosferische druk tot 10 x 10 ^-12 mbar, afhankelijk van het type/de combinatie), met als compromis een lager nauwkeurigheidsniveau. 

Een ander veel voorkomend beslissingspunt voor vacuümmeters is actief of passief, waarbij deze optie beschikbaar is in ons brede assortiment vacuümmeters.

• Actieve meting is waarbij de meetkop (sensorkop) wordt gecombineerd met de elektronica die nodig is om een signaal te regelen en uit te voeren, waardoor eenvoudige integratie in een systeem mogelijk is. 
• Bij passieve meting wordt de meetkop gescheiden van de elektronica, die vervolgens afzonderlijk wordt bewaard in een speciale regelaar. Het voordeel hiervan is dat ze kunnen worden gebruikt in omgevingen waar de elektronica niet zou kunnen functioneren, zoals omgevingen met hoge straling, en dat de afzonderlijke regelaar uit die omgeving kan worden verwijderd.