Zonnecoating

De productie van zonnepanelen kan worden onderverdeeld in twee verschillende technologieën: wafergebaseerd en dunne film.

Bij de productie van zonnecellen op basis van wafers ligt de eerste vacuümstap in de productie van de siliciumwafers. Deze worden gesneden uit mono- of polykristallijne ingots, die onder vacuüm worden geproduceerd in DSS- of Czochralski-kristalteeltprocessen (zie kristaltrekken voor meer informatie).

Een andere belangrijke vacuümstap is de Physical Vapor Deposition of Transparent Conductive Oxide (PVD TCO) coatingstap, die aan de voor- en achterkant van de laagstapel wordt gespoten.  

Bij de productie van dunne film zonnecellen bestaan er twee belangrijke technologieën: CIGS (koper, indium, gallium, seleen) en CdTe (cadmium, tellurium). Beide actieve laagstapels worden in meerdere processtappen in een vacuümcoater aangebracht. Opnieuw wordt de PVD TCO-coating aan de voor- en achterzijde van de laagstapel gespoten.

De nieuwe technologie van heterojunction (HJT) combineert chemische dampafzettingsstappen (CVD) met de bekende PVD-coating voor- en achteraan. De CVD-coatingstappen worden op amorfe of microkristallijne basis toegepast. Binnen deze technologie heeft Leybold wereldwijd een groot aantal pompen geïnstalleerd. 

Alle vacuümprocessen worden gewoonlijk uitgevoerd in grote inline coatingmachines, die met de kortste cyclustijden werken. Leybold heeft deze technologie vanaf het begin ondersteund en heeft uitgebreide expertise opgebouwd. Voor het snel verpompen van loadlocks heeft Leybold speciaal het POWERBOOST-systeem ontwikkeld. Andere gespecialiseerde DRYVAC/RUVAC-pompsystemen zijn bewezen de meest betrouwbare oplossingen voor veeleisende toepassingen zoals CIGS en CdTe en garanderen de hoogste uptime in de fabriek.

Nog veeleisender is HJT, omdat dit proces grote hoeveelheden stof genereert en naast H2 giftige dopinggassen gebruikt. De DRYVAC blinkt hier uit, omdat hij hermetisch is afgedicht en de pompmaterialen speciaal zijn geselecteerd voor dergelijke processen.