Vacuümpompen en oplossingen voor plasmabehandelingstechnologie
Wat is vacuümplasmabehandeling?
Plasmabehandeling is een veelzijdige technologie die veel wordt gebruikt in verschillende industrieën, waaronder elektronica, halfgeleiderproductie, automobiel, medisch, enz. Typische procesgassen zijn zuurstof, argon of CF4. Deze gassen worden geïoniseerd met een elektrisch veld onder vacuüm om een plasma te vormen dat wordt gebruikt om een oppervlak te coaten, te reinigen, te activeren of te etsen om de reinheid, hechting of functionaliteit van het oppervlak te wijzigen.
Vacuüm speelt een cruciale rol in plasmabehandelingssystemen om plasmacondities effectief te creëren en in stand te houden.
- Efficiënte procesreactie: Reactieve ionen die onder vacuüm in het plasma worden gegenereerd, kunnen zich effectiever naar het oppervlak verspreiden voor oppervlaktemodificatie, reiniging, activering of etsprocessen.
- Uniforme oppervlaktebehandeling: vacuüm kan zorgen voor een verontreinigingsvrije omgeving om een uniform plasma te garanderen voor een nauwkeurige controle van de oppervlakteverandering.
Hoe plasmabehandeling uw vacuümsysteem uitdaagt
De grootste uitdaging voor vacuümpompen of pompsystemen is dat geactiveerde ionen (bijv. zuurstofionen of fluoride-ionen) tijdens het proces worden afgevoerd en in de pomp kunnen komen. Deze ionen zijn zeer reactief en giftig voor het milieu en de menselijke gezondheid.
Zuurstofionen en fluoride-ionen kunnen een aanzienlijke invloed hebben op de materialen van de pompen. Oliën en afdichtingen kunnen oxideren, ontleden of aangetast worden. De juiste keuze van olie en afdichtingsmaterialen is daarom cruciaal voor een succesvol gebruik van de pomp.
Welk type pomp is geschikt voor vacuümplasmabehandeling?
Er kunnen verschillende soorten vacuümpompen worden gebruikt. Alleen de juiste keuze van vacuümpompen en -systemen zorgt ervoor dat de verschillende ontgassen van plasmabehandelingstechnologie en een probleemloze werking met de hoogste uptime worden aangepakt om uw eigendomskosten te optimaliseren.
Leybold heeft uitgebreide ervaring en onze producten hebben zich bewezen in verschillende plasmabehandelingsprocessen. Voor elk plasmabehandelingsproces kan Leybold een perfecte vacuümoplossing aanbieden voor de vereisten van de klant.
Ontdek hieronder onze producten voor plasmabehandeling of neem contact met ons op om uw project te bespreken.
- TRIVAC B
- RUVAC
- VARODRY
- DURADRY
- DRYVAC
TRIVAC B
TRIVAC B
Oliegesmeerde tweetraps schottenpompen blinken uit met hoge vacuümprestaties door een lage einddruk te leveren. De BCS-PFPE-versie is uitermate geschikt voor zeer reactieve plasmatoepassingen.
RUVAC
RUVAC
Drie verschillende series WA(U), WS(U) en WH(U) en een breed pompsnelheidsbereik van 251 tot 9800 m³/h. De optionele werking met frequentieomvormer maakt een nauwkeurige procesregeling mogelijk. De WS(U)-PFPE- en WH-PFPE-versies zijn verkrijgbaar voor zeer reactieve plasmatoepassingen
VARODRY
VARODRY
Volledig olievrije, luchtgekoelde droge schroefpomp met zuigsnelheden van 65 tot 200 m³/u, wat helpt om uw eigendomskosten te optimaliseren. De VARODRY HD O2 -versie is perfect voor O2-plasmabehandeling.
DURADRY
DURADRY
Watergekoelde droge schroefpompen met een pompsnelheid van 160 of 250 m³/u. Beste geluidsniveau in zijn klasse, compact ontwerp en hermetisch afgesloten. Het stabiele warmtebeheer maakt een uitstekende omgang met argon en licht gas mogelijk. Hoogste robuustheid om vrijwel alle plasmabehandelingsprocessen te ondersteunen.
DRYVAC
DRYVAC
Compact, hermetisch afgesloten en bewezen ontwerp, gecombineerd met de hoogste robuustheid en energie-efficiëntie. Biedt betrouwbare prestaties en een hogere uptime voor plasmabehandelingsprocessen, zuigsnelheden van 200 tot 800 m³/u.
TRIVAC B
Oliegesmeerde tweetraps schottenpompen blinken uit met hoge vacuümprestaties door een lage einddruk te leveren. De BCS-PFPE-versie is uitermate geschikt voor zeer reactieve plasmatoepassingen.
RUVAC
Drie verschillende series WA(U), WS(U) en WH(U) en een breed pompsnelheidsbereik van 251 tot 9800 m³/h. De optionele werking met frequentieomvormer maakt een nauwkeurige procesregeling mogelijk. De WS(U)-PFPE- en WH-PFPE-versies zijn verkrijgbaar voor zeer reactieve plasmatoepassingen
VARODRY
Volledig olievrije, luchtgekoelde droge schroefpomp met zuigsnelheden van 65 tot 200 m³/u, wat helpt om uw eigendomskosten te optimaliseren. De VARODRY HD O2 -versie is perfect voor O2-plasmabehandeling.
DURADRY
Watergekoelde droge schroefpompen met een pompsnelheid van 160 of 250 m³/u. Beste geluidsniveau in zijn klasse, compact ontwerp en hermetisch afgesloten. Het stabiele warmtebeheer maakt een uitstekende omgang met argon en licht gas mogelijk. Hoogste robuustheid om vrijwel alle plasmabehandelingsprocessen te ondersteunen.
DRYVAC
Compact, hermetisch afgesloten en bewezen ontwerp, gecombineerd met de hoogste robuustheid en energie-efficiëntie. Biedt betrouwbare prestaties en een hogere uptime voor plasmabehandelingsprocessen, zuigsnelheden van 200 tot 800 m³/u.
- Aanverwante toepassingen
- Verwante producten
