IONIVAC banner

IONIVAC Hete kathode Bayard Alpert

Waarom IONIVAC?

Onze IONIVAC-meterserie, zowel passief (IE) als actief (ITR), biedt de mogelijkheid om te meten in ultrahoog vacuüm. Dit maakt een gedetailleerde tracering van experimenten en controle van de variabelen in processen mogelijk. 

IONIVAC heetkathodemeters werken doordat een hete kathode elektronen uitzendt die op een anode inwerken. Hierdoor wordt het gemeten gas geïoniseerd. De resulterende positieve ionenstroom wordt gedetecteerd door de derde elektrode en deze stroom wordt gebruikt als het signaal dat proportioneel is met de druk. 

De ionisatiesensoren met warme kathode bieden een breed meetbereik van 10 -12 tot 10 -1 mbar (0,75·10 -10 tot 0,75·10 -1 Torr), afhankelijk van het type gebruikte warme kathodetechnologie.

IONIVAC ITR 90/200-serie

IONIVAC ITR 90/200-serie

Geoptimaliseerde combinatietransmitter

De IONIVAC ITR is een geoptimaliseerde combinatietransmitter. De combinatie van een sensor voor hetekathode-ionisatie (met behulp van de Bayard Alpert-methode voor hetekathode-ionisatie) en een Pirani-sensor maakt vacuümdrukmetingen mogelijk van 5, 10 -10 tot 1000 mbar (3,75, 10 -10 tot 750 torr). 

Er zijn twee varianten beschikbaar:

  • ITR 90 met enkelvoudige gloeidraad met hete kathode
  • ITR 200 met dubbele filamenten om de levensduur te verlengen via ingebouwde redundantie. Hij schakelt automatisch filamenten in geval van een storing en geeft aan dat een filament defect is. Om de levensduur van de meter verder te verlengen, is het mogelijk om een ontgassingsprogramma uit te voeren dat de prestaties van de gloeidraden opnieuw kan stimuleren. 
  • Continue drukmetingen van 1. 10 -10 mbar/torr tot atmosferische druk  
  • Compact ontwerp met verwisselbare kathoden en ontgassingsmodus 
  • Bakbare sensor voor UHV-meting 
  • Analoge, display-, digitale en Profibus-interfaces beschikbaar voor eenvoudige installatie 
  • Hoge herhaalbaarheid binnen het typische procesdrukbereik van 10 -2 tot 10 -9 mbar  
  • Nauwkeurige UHV-drukmetingen met passieve meting, waardoor metingen tot 10-12 mbar/torr mogelijk zijn  
IONIVAC banner
IONIVAC IE 414/IE 514 serie

IONIVAC IE 414/IE 514 serie

Hoogste bereik voor UHV-meting

Onze meters uit de IONIVAC IE-serie zijn de 'Rolls Royce' van ultrahoge vacuümmeting, met hun ultralage basisdrukaflezing en hoge nauwkeurigheidsniveaus. 

In combinatie met onze passieve meterregelaars worden deze gebruikt in omgevingen waar gedetailleerde drukaflezingen op de laagste niveaus nodig zijn. 

De passieve IONIVAC IE-sensoren maken gebruik van de hot cathode ionisatietechnologie om tot de laagste drukwaarden te meten. 

  • De IE 414 maakt gebruik van Bayard Alpert-technologie en kan meten van 2,10-11 tot e-2 mbar (1,5e-11 tot e-2 torr). 
  • Om de laagste drukwaarden te bereiken, moet u de invloed van de röntgenstralen verminderen. Dit wordt gedaan op onze meter uit de IE 514-serie, door gebruik te maken van de extractormethode van warme kathode-ionisatie. Met deze sensortechnologie kunt u van 2e-12 tot 1e-4 mbar (2e-12 tot 7,5e-5torr) aflezen.
IONIVAC sensor

IONIVAC ITR 90/200-serie

Geoptimaliseerde combinatietransmitter

De IONIVAC ITR is een geoptimaliseerde combinatietransmitter. De combinatie van een sensor voor hetekathode-ionisatie (met behulp van de Bayard Alpert-methode voor hetekathode-ionisatie) en een Pirani-sensor maakt vacuümdrukmetingen mogelijk van 5, 10 -10 tot 1000 mbar (3,75, 10 -10 tot 750 torr). 

Er zijn twee varianten beschikbaar:

  • ITR 90 met enkelvoudige gloeidraad met hete kathode
  • ITR 200 met dubbele filamenten om de levensduur te verlengen via ingebouwde redundantie. Hij schakelt automatisch filamenten in geval van een storing en geeft aan dat een filament defect is. Om de levensduur van de meter verder te verlengen, is het mogelijk om een ontgassingsprogramma uit te voeren dat de prestaties van de gloeidraden opnieuw kan stimuleren. 
  • Continue drukmetingen van 1. 10 -10 mbar/torr tot atmosferische druk  
  • Compact ontwerp met verwisselbare kathoden en ontgassingsmodus 
  • Bakbare sensor voor UHV-meting 
  • Analoge, display-, digitale en Profibus-interfaces beschikbaar voor eenvoudige installatie 
  • Hoge herhaalbaarheid binnen het typische procesdrukbereik van 10 -2 tot 10 -9 mbar  
  • Nauwkeurige UHV-drukmetingen met passieve meting, waardoor metingen tot 10-12 mbar/torr mogelijk zijn  
IONIVAC banner

IONIVAC IE 414/IE 514 serie

Hoogste bereik voor UHV-meting

Onze meters uit de IONIVAC IE-serie zijn de 'Rolls Royce' van ultrahoge vacuümmeting, met hun ultralage basisdrukaflezing en hoge nauwkeurigheidsniveaus. 

In combinatie met onze passieve meterregelaars worden deze gebruikt in omgevingen waar gedetailleerde drukaflezingen op de laagste niveaus nodig zijn. 

De passieve IONIVAC IE-sensoren maken gebruik van de hot cathode ionisatietechnologie om tot de laagste drukwaarden te meten. 

  • De IE 414 maakt gebruik van Bayard Alpert-technologie en kan meten van 2,10-11 tot e-2 mbar (1,5e-11 tot e-2 torr). 
  • Om de laagste drukwaarden te bereiken, moet u de invloed van de röntgenstralen verminderen. Dit wordt gedaan op onze meter uit de IE 514-serie, door gebruik te maken van de extractormethode van warme kathode-ionisatie. Met deze sensortechnologie kunt u van 2e-12 tot 1e-4 mbar (2e-12 tot 7,5e-5torr) aflezen.
IONIVAC sensor