UNIVEX C

Sistemas clúster (agrupado) y de deposición personalizados

Para aplicaciones especiales, también podemos ofrecer sistemas de tipo agrupado (clúster) y sistemas personalizados conforme al concepto modular de UNIVEX.

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Diseño de sistemas personalizados

Secuencia de proceso programable y controlada por conjunto de componentes

Un excepcional vacío de proceso; baja contaminación por gas residual

UNIVEX C - TIPO AGRUPADO (CLÚSTER)
UNIVEX C - PERSONALIZADO

UNIVEX C - TIPO AGRUPADO (CLÚSTER)

Nuestros sistemas de tipo agrupado (clúster) se equipan conforme a las necesidades del cliente e incorporan cámaras independientes de procesamiento, carga y descarga y transferencia. Normalmente, cada cámara de vacío contará con su propio sistema de vacío. La cámara de esclusa está equipada, en el caso más sencillo, con sustratos individuales. Además, también es posible el procesamiento agrupado de varios sustratos por lote.

Para transportar los sustratos entre diversas cámaras de vacío, suelen emplearse habitualmente brazos robóticos motorizados o sistemas de transferencia lineal. El software de control de UNIVEX se personaliza según los requisitos específicos de la aplicación y, por lo general, permite la ejecución totalmente automática del proceso, incluido el procesamiento de conjuntos de componentes.

UNIVEX C - PERSONALIZADO

En caso de que ningún tipo de sistema UNIVEX se ajuste a sus necesidades, ¿desea un tamaño o altura de cámara diferente? Ningún problema: solo contacte con nosotros.

¡Esperamos hacer de su sistema una realidad!

UNIVEX C - TIPO AGRUPADO (CLÚSTER)

UNIVEX C - PERSONALIZADO

En caso de que ningún tipo de sistema UNIVEX se ajuste a sus necesidades, ¿desea un tamaño o altura de cámara diferente? Ningún problema: solo contacte con nosotros.

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Descubra cómo UNIVEX C 900 es compatible con soluciones de recubrimiento complejas

Leybold supports the ZSW in complex coating solutions for novel solar cells.

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