Películas Finas

Uma película fina é uma camada de material que varia entre algumas frações de nanômetro até vários micrômetros em espessura. A tecnologia de película fina foi melhorada nas últimas décadas e exige produtos seguros para alcançar a melhor qualidade. Para os processos de deposição de película fina, a Leybold proporciona o melhor equipamento de vácuo da sua classe, cumprindo as exigências desta aplicação com seus sistemas de bombas a seco DRYVAC / RUVAC.

Sistemas de bombas com bombas de compressão a seco

  • Alta velocidade de bombeamento de hidrogênio
  • Resistente a partículas
  • Compatibilidade alta do meio para gases de processo típicos
  • Monitoração integrada de parâmetros operacionais e de controle de bombas Roots
  • Temperatura e fluxo de gás de purga ajustáveis
  • Parâmetro controlável por Profibus