Aplicações de ultra-alto vácuo

As condições de vácuo ultra-alto (UHV) são um pré-requisito para as pesquisas mais complexas conduzidas por laboratórios governamentais, universidades e indústria privada.

Laboratórios nacionais, grandes universidades globais de pesquisa e indústrias, como as de fabricação de instrumentos de defesa, aeroespaciais ou analíticos, utilizam uma ampla variedade de equipamentos de vácuo para atingir os níveis necessários de vácuo. Muitas dessas organizações contam com a Leybold para o fornecimento de bombas de vácuo, instrumentos e sistemas altamente específicos.

UHV é o regime de vácuo caracterizado por pressões inferiores a cerca de 10^-9mbar (ou 10^-7 Pa). Condições de vácuo ultra-alto são necessárias para reduzir a contaminação da superfície em muitas técnicas de análise de superfície. Por exemplo, espectroscopia de fotoelétrons de raios-X (XPS), espectroscopia de elétrons Auger (AES), espectrometria de massa de íons secundários (SIMS) ou microscopia de emissão de campo (FEM).

Técnicas de preparação e crescimento de filmes finos com requisitos rigorosos de pureza, como a epitaxia de feixe molecular (MBE) e a deposição de camada atômica (ALD), também dependem das condições de UHV.

Em aplicações de pesquisa, como aceleradores de partículas ou detectores de ondas gravitacionais, as condições de vácuo ultra-alto ajudarão principalmente a reduzir as interações entre feixe e gás e a limitar perturbações indesejadas do ambiente externo. Esses níveis de vácuo exigem o uso de materiais especiais e princípios de bombeamento.

Oferecemos uma ampla gama de soluções avançadas de vácuo para uso em ambiciosas aplicações de UHV. Nossos componentes, soluções de sistema e serviços pós-venda mostraram seus benefícios nos principais centros de pesquisa em todo o mundo.

Plataformas M-UHV

Plataformas modulares de experimentação de vácuo ultra-alto

As opções baseadas em automação são

100 | 200 | 300 | 400

Pressão máxima

< 5 x 10^-10 mbar

Variação da temperatura do substrato de 100K - 1000K
Medição precisa da temperatura
Conceito modular juntamente com montagem fácil de sistemas de cluster em instalações de estação de transferência de UHV
Configuração pronta para operação para uma ampla variedade de ferramentas de experimentação de UHV
Incorpore suportes de amostra estilo bandeira

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ECODRY plus

SCROLLVAC plus

Bombas tipo Roots de vários estágios	Bombas Scroll	Bombas turbomoleculares (TMP)	Bombas criogênicas
ECODRY Plus Vantagens:	SCROLLVAC plus Vantagens:	TURBOVAC IX & MAG W IP TURBOLAB Vantagens:	COOLVAC ICL & BL Vantagens:
Bomba de apoio ideal para UHV Pressão máxima baixa Muito silenciosa < 52 dB(A), baixas vibrações Não há contaminação com óleo ou partículas Sem necessidade de manutenção por até cinco anos	Isenta de óleo Silenciosa 55 db(A) Troca da vedação da ponta pelo cliente em 10 minutos Pressão máxima muito baixa	Linha completa de bombas e sistemas turbomoleculares Geração de vácuo sem hidrocarbonetos Pressão máxima baixa Alta velocidade de bombeamento para gases leves Baixos requisitos de manutenção Sistemas de bombas prontos para operação	Bombas criogênicas COOLVAC com elevada capacidade de bombeamento de vapor de água e baixas exigências de manutenção Geração de vácuo limpo e seco Cold heads COOLPOWER para geração de temperatura criogênica sem a necessidade de hélio líquido e nitrogênio líquido

Bombas tipo Roots de vários estágios

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SCROLLVAC plus

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TURBOVAC IX & MAG W IP

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COOLVAC ICL & BL

Vantagens:

Bomba de apoio ideal para UHV
Pressão máxima baixa
Muito silenciosa < 52 dB(A), baixas vibrações
Não há contaminação com óleo ou partículas
Sem necessidade de manutenção por até cinco anos

Isenta de óleo
Silenciosa 55 db(A)
Troca da vedação da ponta pelo cliente em 10 minutos
Pressão máxima muito baixa

Linha completa de bombas e sistemas turbomoleculares
Geração de vácuo sem hidrocarbonetos
Pressão máxima baixa
Alta velocidade de bombeamento para gases leves
Baixos requisitos de manutenção
Sistemas de bombas prontos para operação

Bombas criogênicas COOLVAC com elevada capacidade de bombeamento de vapor de água e baixas exigências de manutenção
Geração de vácuo limpo e seco
Cold heads COOLPOWER para geração de temperatura criogênica sem a necessidade de hélio líquido e nitrogênio líquido

Bombas & Controladores Ion Petter	Bombas de sublimação de titânio	Bombas NEG	Ferragem de UHV, válvulas, conexões
TITan & DIGITEL Vantagens:	Vantagens:	Vantagens:	Vantagens:
Operação sem hidrocarbonetos na faixa XHV Sem peças móveis, sem ruído de funcionamento Ausência absoluta de vibrações Alta tolerância contra temperatura, radiação e campos magnéticos	Bomba ideal para remoção de gases residuais em sistemas UHV Velocidade de bombeamento muito alta para gases reativos Simples e econômicas	Alta eficiência de retenção para H2 (gás residual principal em UHV/XHV) Operação sem vibrações Isenta de óleo	Ampla variedade de válvulas UHV, elementos de fixação e conexões com flanges CF Materiais de baixa reabsorção de gás com as menores taxas de vazamento Altas temperaturas de cozimento

Bombas & Controladores Ion Petter

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Sem peças móveis, sem ruído de funcionamento
Ausência absoluta de vibrações
Alta tolerância contra temperatura, radiação e campos magnéticos

Bomba ideal para remoção de gases residuais em sistemas UHV
Velocidade de bombeamento muito alta para gases reativos
Simples e econômicas

Alta eficiência de retenção para H2 (gás residual principal em UHV/XHV)
Operação sem vibrações
Isenta de óleo

Ampla variedade de válvulas UHV, elementos de fixação e conexões com flanges CF
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