Aplicações de ultra-alto vácuo
Condições de ultra-alto vácuo (UHV): um pré-requisito para as pesquisas mais complexas em laboratórios governamentais, universidades e indústria privada.
Laboratórios nacionais, grandes universidades e indústrias utilizam uma ampla gama de equipamentos de vácuo para atingir os níveis necessários de vácuo.
Muitas dessas organizações confiam em nós para bombas de vácuo, instrumentos e sistemas altamente específicos.
UHV é o regime de vácuo caracterizado por pressões inferiores a cerca de 10-9mbar (ou 10-7 Pa). Condições de vácuo ultra-alto são necessárias para reduzir a contaminação da superfície em muitas técnicas de análise de superfície. Por exemplo, espectroscopia de fotoelétrons de raios-X (XPS), espectroscopia de elétrons Auger (AES), espectrometria de massa de íons secundários (SIMS) ou microscopia de emissão de campo (FEM).
Técnicas de preparação e crescimento de filmes finos com requisitos rigorosos de pureza, como a epitaxia de feixe molecular (MBE) e a deposição de camada atômica (ALD), também dependem das condições de UHV.
Em aplicações de pesquisa, como aceleradores de partículas ou detectores de ondas gravitacionais, as condições de vácuo ultra-alto ajudarão principalmente a reduzir as interações entre feixe e gás e a limitar perturbações indesejadas do ambiente externo. Esses níveis de vácuo exigem o uso de materiais especiais e princípios de bombeamento.
Oferecemos uma ampla gama de soluções avançadas de vácuo para uso em ambiciosas aplicações de UHV. Nossos componentes, soluções de sistema e serviços pós-venda mostraram seus benefícios nos principais centros de pesquisa em todo o mundo.
Plataformas M-UHV
Plataformas modulares de experimentação de vácuo ultra-alto
As opções baseadas em automação são
100 | 200 | 300 | 400
Pressão máxima
< 5 x 10-10 mbar
- Variação da temperatura do substrato de 100K - 1000K
- Medição precisa da temperatura
- Conceito modular juntamente com montagem fácil de sistemas de cluster em instalações de estação de transferência de UHV
- Configuração pronta para operação para uma ampla variedade de ferramentas de experimentação de UHV
- Incorpore suportes de amostra estilo bandeira
Nossas vantagens
- Bombas tipo Roots de vários estágios
- Bombas Scroll
- Bombas turbomoleculares (TMP)
- Bombas criogênicas
- Bombas absorvedoras de íons e Controladores
- Bombas de sublimação de titânio
- Bombas NEG
- Ferragem de UHV, válvulas, conexões
- Bomba de apoio ideal para UHV
- Pressão máxima baixa
- Muito silenciosa < 52 dB(A), baixas vibrações
- Não há contaminação com óleo ou partículas
- Sem necessidade de manutenção por até cinco anos
- Isenta de óleo
- Silenciosa 55 db(A)
- Troca da vedação da ponta pelo cliente em 10 minutos
- Pressão máxima muito baixa
- Linha completa de bombas e sistemas turbomoleculares
- Geração de vácuo sem hidrocarbonetos
- Pressão máxima baixa
- Alta velocidade de bombeamento para gases leves
- Baixos requisitos de manutenção
- Sistemas de bombas prontos para operação
- Bombas criogênicas COOLVAC com elevada capacidade de bombeamento de vapor de água e baixas exigências de manutenção
- Geração de vácuo limpo e seco
- Cold heads COOLPOWER para geração de temperatura criogênica sem a necessidade de hélio líquido e nitrogênio líquido
- Operação sem hidrocarbonetos na faixa XHV
- Sem peças móveis, sem ruído de funcionamento
- Ausência absoluta de vibrações
- Alta tolerância contra temperatura, radiação e campos magnéticos
- Ideal para remoção de gases residuais em sistemas UHV
- Velocidade de bombeamento muito alta para gases reativos
- Simples e econômicas
- Alta eficiência de retenção para H2 (gás residual principal em UHV/XHV)
- Operação sem vibrações
- Isenta de óleo
- Ampla variedade de válvulas UHV, elementos de fixação e conexões com flanges CF
- Materiais de baixa reabsorção de gás com as menores taxas de vazamento
- Altas temperaturas de cozimento
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