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Sistemas de revestimento UNIVEX

Definido pelo tamanho da câmara

Nossos sistemas compactos de revestimento em caixa permitem acesso direto à câmara de processo.

Design de sistema modular

Câmara de vácuo multifuncional

Acesso conveniente a todos os equipamentos instalados

Várias técnicas de deposição na mesma câmara

Compatível com salas limpas

UNIVEX 250

Sua porta de entrada para processos de revestimento perfeitos, projetados especificamente para universidades, laboratórios, escolas técnicas e instalações de P&D industriais em todo o mundo.

O UNIVEX 250 oferece uma solução econômica que não compromete a qualidade ou o desempenho, garantindo resultados precisos e consistentes. Com controles intuitivos e operação sem complicações, ele é perfeito para usuários de todos os níveis. 

O UNIVEX 250 atende a diversas necessidades de revestimento, desde metalização de contato até formação de imagens com contraste para aplicações de microscopia e parede fina.

Seu design robusto e desempenho confiável fazem dele uma ferramenta essencial para qualquer ambiente científico ou industrial, fornecendo acesso prático, capacidade de extensão modular e recursos móveis para máxima flexibilidade. 

Aplicações comuns:

  • Metalização de contato (evaporação de ouro, prata, cromo, níquel, titânio, etc.)
  • Imagens com contraste para microscopia (índio, carbono, etc.)
  • Parede fina solar
  • Objetivos educacionais em escolas de ensino médio e universidades

Configurações:

  • Evaporação térmica
  • Evaporação de feixe de elétrons
  • Pulverização catódica

Leybold UNIVEX 250
 

UNIVEX 250

Tamanho da câmara

largura: 270 mm, profundidade: 370 mm, altura: 400 mm
Tamanhos gerais largura: 1300 mm, profundidade: 860 mm, altura: 1990 mm

Evaporador térmico

até 4 materiais

Evaporador orgânico

até 4 materiais

Evaporação de feixe de elétrons

Cavidades múltiplas ou cavidade única

Pulverização catódica

para cima ou para baixo, 2 x 2"

Codeposição

evaporação e/ou pulverização catódica

Controle do sistema PLC com monitor
Sensor de espessura da parede Cristal de quartzo 

Compatível com bloqueio de carga

opcional

Câmara temperada com água

opcional

Nível de vácuo

médio 10-7 mbar

Compatível com salas limpas

sim

UNIVEX 400

O UNIVEX 400 é um sistema de revestimento compacto para tarefas de laboratório, respectivamente, execuções de produção piloto. Devido às dimensões da câmara, é ideal para revestimento de substratos de pequeno a médio porte. 

Podem ser revestidos substratos / suportes de substrato que possuem um diâmetro total máximo de até 350 mm. 

O controlador do sistema permite executar processos de revestimento manuais, semiautomáticos e totalmente automáticos. 

 Aplicações comuns

  • Parede fina solar: processos pulverizados CdTe, CIGS, CZTS
  • Componentes eletrônicos orgânicos (PV, OLEDS)
  • Revestimentos ópticos
  • Microeletrônicos

Configurações típicas

  • Feixe de elétrons de cavidades múltiplas com evaporador térmico e fonte de íons.
  • Até quatro pistolas pulverizadoras de 2 pol. em configuração confocal para pulverização catódica para cima ou para baixo
  • Evaporadores de feixe de elétrons e orgânicos para formação de perovskite inorgânica-orgânica
UNIVEX Coating Systems
 

UNIVEX 400

Tamanho da câmara

largura: 420 mm, profundidade: 480 mm, altura: 550 mm

Evaporador térmico

até 8 materiais

Evaporador orgânico

até 8 materiais

Evaporação de feixe de elétrons

Cavidades múltiplas ou cavidade única

Pulverização catódica

para cima ou para baixo, 4  X  2”, 3  X  3”, 2  X  4” ou outra

Codeposição

evaporação e/ou pulverização catódica

Compatível com bloqueio de carga

opcional

Deposição assistida por íons

opcional

Câmara temperada com água

sim

Nível de vácuo

médio 10-7 mbar

Versão UHV

opcional

Compatível com salas limpas

sim

UNIVEX 600

O UNIVEX 600 é um sistema de revestimento compacto para o laboratório, respectivamente, execuções de produção piloto. Devido ao tamanho da câmara, é ideal para revestimento de substratos de médio a grande porte. 

O rendimento de substrato atingível atende aos requisitos gerais para pequenas execuções de produção em série. Podem ser revestidos substratos / suportes de substrato que possuem um diâmetro total máximo de até 550 mm. 

O controlador do sistema permite executar processos de revestimento manuais, semiautomáticos e totalmente automatizados. 

Aplicações comuns

  • Revestimentos ópticos
  • Dispositivos optoeletrônicos
  • RAM resistiva
  • Supercondutores de alta temperatura

Configurações típicas

  • Aquecedores de substrato e/ou arrefecedores 
  • Feixe de elétrons de cavidades múltiplas com evaporador térmico e fonte de íons.
  • Configurações de substrato de paleta, cúpula ou planetário para amostras únicas, ou múltiplas
  • Pistolas com vários tipos de pulverizadores em configurações confocal ou face a face
UNIVEX Coating Systems
 

UNIVEX 600

Tamanho da câmara

Largura: 600 mm Profundidade: 600 mm Altura: 800 mm ou 550 mm (pulverizador)

Evaporador térmico

até 8 materiais

Evaporador orgânico

até 8 materiais

Evaporação de feixe de elétrons

cavidades múltiplas e/ou cavidade única, operação de várias pistolas

Pulverização catódica

para cima ou para baixo: 4 X 3”, 3 X 4”, 6 X 2” ou outra

Codeposição

evaporação e/ou pulverização catódica

Compatível com bloqueio de carga

opcional

Deposição assistida por íons

opcional

Câmara temperada com água

sim

Nível de vácuo

médio 10-7 mbar

Versão UHV

opcional

Compatível com salas limpas

sim

UNIVEX 900

O UNIVEX 900 é a solução mais sofisticada para substratos de médio a grande porte, respectivamente para maiores rendimentos de substrato. Podem ser revestidos substratos / suportes de substrato até um diâmetro geral de 800 mm. O controlador do sistema permite executar processos de revestimento manuais, semiautomáticos e totalmente automatizados.

Aplicações comuns

  • Revestimentos ópticos
  • Dispositivos optoeletrônicos
  • RAM resistiva
  • Supercondutores de alta temperatura

Configurações típicas

  • Aquecedores de substrato e/ou arrefecedores 
  • Feixe de elétrons de cavidades múltiplas com fontes de íons para deposição de substrato pré-limpa e assistida por íons
  • Configurações de substrato de paleta, cúpula ou planetário para amostras únicas, ou múltiplas
  • Pistolas com vários tipos de pulverizadores em configurações confocal ou face a face
UNIVEX Coating Systems
 

UNIVEX 900

Tamanho da câmara

Largura: 900 mm Profundidade: 900 mm Altura: 1100 mm

Evaporador térmico

até 8 materiais

Evaporador orgânico

até 8 materiais

Evaporação de feixe de elétrons

cavidades múltiplas e/ou cavidade única, operação de várias pistolas

Pulverização catódica

opcional

Codeposição

sim

Compatível com bloqueio de carga

opcional

Deposição assistida por íons

opcional

Câmara temperada com água

sim

Nível de vácuo

médio 10-7 mbar

Versão UHV

opcional

Compatível com salas limpas

sim

UNIVEX 250

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Systems + Solutions

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