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UNIVEX C

Sistemas de posicionamento de cluster e personalizados

Para aplicações especiais, também podemos fornecer sistemas de cluster ou personalizados baseados no conceito modular UNIVEX.

Loja on-line

Projeto de sistema personalizado

Sequência de processo programável e controlada por receita

Excelente vácuo de processo, baixo teor de gases residuais contaminantes

UNIVEX C - CLUSTER
UNIVEX C - PERSONALIZADO

UNIVEX C - CLUSTER

Nossos clusters UNIVEX são equipados conforme as necessidades do cliente e incorporam processamento separado, bloqueio de carga e câmaras de transferência. Geralmente, cada câmara de vácuo terá seu próprio sistema de alto vácuo. A câmara de bloqueio de carga é, no caso mais simples, carregada manualmente com substratos individuais. Além disso, é possível o processamento em depósito de vários substratos por lote.

Para o transporte dos substratos entre as câmaras de vácuo individuais, geralmente são usados braços de robô acionados por motor ou unidades de transmissão de transferência linear. O software de controle UNIVEX é personalizado segundo os requisitos específicos da aplicação e, geralmente, permite a execução totalmente automática do processo, incluindo o processamento da receita.

UNIVEX C - PERSONALIZADO

Caso nenhum tipo de sistema UNIVEX atenda às suas necessidades, deseja-se um tamanho ou altura de câmara diferente? Não importa, apenas entre em contato conosco.

Estamos ansiosos para tornar seu sistema possível!