Analyses van gassen bij lage druk zijn niet alleen nuttig bij het analyseren van de restgassen van een vacuümpomp, het testen op lekkage bij een flensverbinding of voor toevoerleidingen (perslucht, water) in een vacuüm. Ze zijn ook essentieel op het bredere gebied van vacuümtechnologietoepassingen en -processen. Bijvoorbeeld bij de analyse van procesgassen die worden gebruikt bij het aanbrengen van dunne lagen coatings op substraten. De apparatuur die wordt gebruikt voor kwalitatieve en/of kwantitatieve analyses van gassen omvat speciaal ontwikkelde massaspectrometers met extreem kleine afmetingen die, net als elke andere vacuümmeter, rechtstreeks op het vacuümsysteem kunnen worden aangesloten. Door hun grootte onderscheiden deze meetinstrumenten zich van andere massaspectrometers, zoals die voor de chemische analyse van gassen. De laatste apparaten zijn bijvoorbeeld slecht geschikt voor gebruik als deeldrukmeeteenheden, omdat ze te groot zijn, een lange aansluitleiding naar de vacuümkamer vereisen en niet met de vacuümkamer zelf kunnen worden uitgebakken. De investering in een analytische massaspectrometer zou onterecht groot zijn, omdat bijvoorbeeld de vereisten voor de resolutie veel minder streng zijn voor deeldrukmetingen. Onder gedeeltelijke druk wordt verstaan de druk die wordt uitgeoefend door een bepaald type gas in een gasmengsel. De som van de deeldrukken voor alle gassoorten geeft de totale druk. Het onderscheid tussen de verschillende soorten gassen is voornamelijk gebaseerd op hun molaire massa's. Het voornaamste doel van de analyse is dus om kwalitatief de verhoudingen van het gas in een systeem met betrekking tot de molaire massa's te registreren en kwantitatief de hoeveelheid van de afzonderlijke soorten gassen te bepalen die aan de verschillende atomaire getallen zijn gekoppeld. 

Meetinstrumenten voor gedeeltelijke druk die gemeenschappelijk worden gebruikt, omvatten het meetsysteem zelf (de sensor) en het regelapparaat dat nodig is voor de werking ervan. De sensor bevat de ionenbron, het scheidingssysteem en de ionenvanger. De scheiding van ionen met verschillende massa's en ladingen gebeurt vaak door gebruik te maken van fenomenen die ervoor zorgen dat de ionen resoneren in elektrische en magnetische velden.

Na de eerste poging van Thomson in 1897 om de verhouding tussen lading en massa e/m voor het elektron te bepalen, duurde het nog lang (tot de jaren 1950) voordat een groot aantal en verschillende analysesystemen in de vacuümtechnologie werden gebruikt. Deze omvatten de Omegatron, de Topatron en uiteindelijk de quadrupole massaspectrometer die Paul en Steinwedel in 1958 voorstelden (zie afb. 4,1). Het eerste gebruik van massaspectrometrie in toepassingen van vacuümondersteunde procestechniek dateert vermoedelijk van het werk van Backus in de jaren 1943 / 44. Hij voerde studies uit in de radiografische laboratoria van de University of California. Om uraniumisotopen te scheiden, gebruikte hij een 180° sectorveldspectrometer na Dempster (1918), die hij een 'vacuümanalyser' noemde. Zelfs vandaag de dag wordt in de VS en het VK vaak een soortgelijke term gebruikt, namelijk de 'residual gas analyzer' (RGA) in plaats van de 'massaspectrometer'. De huidige toepassingen in de procesbewaking zijn vooral terug te vinden in de productie van halfgeleidercomponenten.