Dashboardkastje UNIVEX G

Laden en coaten van vocht- en zuurstofgevoelige ondergronden in een inerte omgeving

Ons standaard handschoenkastsysteem maakt het mogelijk om vocht- en zuurstofgevoelige substraten onder de inerte omgeving van een handschoenkast te laden en te coaten.

De UNIVEX G-systemen hebben een schuifdeur aan de voorzijde voor aansluiting op het dashboardkastje. Deze schuifdeur biedt de operator eenvoudige toegang tot de proceskamer via de handschoenenkast. Als directe toegang nodig is, heeft de UNIVEX G een tweede deur aan de achterkant.

Gebruiksdoeleinde

Contactmetallisatie (verdamping van goud, zilver, chroom, nikkel, titanium enz.)
Biosensoren/medische hulpmiddelen
Organische elektronica: OLED, organische fotovoltaïek
Quantum dots/display
E-straal en organische verdampers voor de vorming van anorganisch-organische perovskiet

Directe en eenvoudige toegang tot de procesapparatuur via de schuifdeur aan de voorzijde

Gemakkelijke toegang voor onderhoud via scharnierdeur aan de achterzijde

Integratie van eventuele procescomponenten

UNIVEX G 250
UNIVEX G 350
UNIVEX G 450

UNIVEX G 250

De UNIVEX G 250 is een handige en kosteneffectieve oplossing voor coatingtaken die weinig ruimte in beslag nemen.

Substraten resp. substraathouders tot een totale diameter van ca. 220 mm kunnen worden verwerkt.

	G 250
Afmetingen kamer	Breedte 270 mm Diepte 370 mm Hoogte 400 mm
Thermische verdamper	tot 4 materialen
Organische verdamper	tot 4 materialen
E-straalverdamping	meerdere zakken of één zak
Bespuiten	omhoog of omlaag, 2 x 2"
Co-deponering	verdamping en/of sputteren
Compatibel met laadslot	optioneel
Vacuümniveau	midden 10 ^-7 mbar
Geschikt voor cleanrooms	ja

UNIVEX G 350

De UNIVEX G 350 combineert een compact ontwerp met veel kamerruimte.

Voor vele coatingtaken biedt de UNIVEX G 350 optimale ruimteomstandigheden en comfortabele toegang tot procescomponenten en substraatbewerking.

Substraten resp. substraathouders tot een totale diameter van ca. 300 mm kunnen worden verwerkt.

	G 350
Afmetingen kamer	Breedte: 370 mm Diepte: 390 mm Hoogte: 500 mm
thermische verdamper	tot 8 materialen
organische verdamper	Tot 4 materialen
e-straalverdamping	Meervoudige en/of enkele zakken
Sputterend	Omhoog of omlaag: 3 X 2" pistolen, of 2 X 3" pistolen
Co-deponering	Verdamping en/of sputteren
compatibel met ladingsslot	optioneel
Ionenondersteunde afzetting	optioneel
Vacuümniveau	midden 10 ^-7 mbar
geschikt voor cleanrooms	ja

UNIVEX G 450

Dankzij de kamerafmetingen is de UNIVEX G 450 geschikt voor alle coatingtaken waarbij veel ruimte nodig is. Substraten resp. substraathouders tot een totale diameter van meer dan 400 mm kunnen worden verwerkt. Met een hoogte van 650 mm is de vacuümkamer ook geschikt voor lift-off toepassingen.

	G 450
Afmetingen kamer	Breedte: 500 mm Diepte: 500 mm Hoogte: 650 mm
thermische verdamper	Tot 8 materialen
organische verdamper	Tot 8 materialen
e-straalverdamping	Meervoudige en/of enkele zakken
Sputterend	Omhoog of omlaag: 3 X 3", 2 X 4", 4 X 2" of andere
Co-deponering	Verdamping en/of sputteren
compatibel met ladingsslot	optioneel
Ionenondersteunde afzetting	optioneel
Vacuümniveau	midden 10 ^-7 mbar
geschikt voor cleanrooms	ja