UNIVEX C Cluster- en aangepaste deponeringssystemen

Onze UNIVEX-clusters zijn uitgerust volgens de eisen van de klant en beschikken over afzonderlijke verwerkings-, laadsluis- en transferkamers. Over het algemeen heeft elke vacuümkamer zijn eigen hoogvacuümsysteem. De loadlockkamer wordt in het eenvoudigste geval handmatig met afzonderlijke substraten geladen. Bovendien is de magazijnverwerking van meerdere substraten per batch mogelijk. 

Voor het transport van de substraten tussen de afzonderlijke vacuümkamers worden gewoonlijk motorisch aangedreven robotarmen of lineaire transferaandrijvingen gebruikt. De besturingssoftware van UNIVEX wordt aangepast aan de specifieke vereisten van de toepassing en maakt over het algemeen een volledig automatische uitvoering van het proces mogelijk, inclusief receptverwerking. 

Als er geen UNIVEX-systeemtype bij uw vereisten past, is er dan een andere kamergrootte of -hoogte gewenst? Neem contact met ons op.

Wij kijken ernaar uit om uw systeem mogelijk te maken!