Leybold supports the ZSW in complex coating solutions for novel solar cells.
PDF 1.1 MB
UNIVEX C Cluster- en aangepaste deponeringssystemen
Voor speciale toepassingen kunnen we ook cluster- of maatwerksystemen leveren op basis van het UNIVEX modulaire concept.
- UNIVEX C – CLUSTER
- UNIVEX C – AANGEPAST
UNIVEX C – CLUSTER
UNIVEX C – CLUSTER
Onze UNIVEX-clusters zijn uitgerust volgens de eisen van de klant en beschikken over afzonderlijke verwerkings-, laadsluis- en transferkamers. Over het algemeen heeft elke vacuümkamer zijn eigen hoogvacuümsysteem. De loadlockkamer wordt in het eenvoudigste geval handmatig met afzonderlijke substraten geladen. Bovendien is de magazijnverwerking van meerdere substraten per batch mogelijk.
Voor het transport van de substraten tussen de afzonderlijke vacuümkamers worden gewoonlijk motorisch aangedreven robotarmen of lineaire transferaandrijvingen gebruikt. De besturingssoftware van UNIVEX wordt aangepast aan de specifieke vereisten van de toepassing en maakt over het algemeen een volledig automatische uitvoering van het proces mogelijk, inclusief receptverwerking.
UNIVEX C – AANGEPAST
UNIVEX C – AANGEPAST
Als er geen UNIVEX-systeemtype bij uw vereisten past, is er dan een andere kamergrootte of -hoogte gewenst? Neem contact met ons op.
Wij kijken ernaar uit om uw systeem mogelijk te maken!
UNIVEX C – CLUSTER
Onze UNIVEX-clusters zijn uitgerust volgens de eisen van de klant en beschikken over afzonderlijke verwerkings-, laadsluis- en transferkamers. Over het algemeen heeft elke vacuümkamer zijn eigen hoogvacuümsysteem. De loadlockkamer wordt in het eenvoudigste geval handmatig met afzonderlijke substraten geladen. Bovendien is de magazijnverwerking van meerdere substraten per batch mogelijk.
Voor het transport van de substraten tussen de afzonderlijke vacuümkamers worden gewoonlijk motorisch aangedreven robotarmen of lineaire transferaandrijvingen gebruikt. De besturingssoftware van UNIVEX wordt aangepast aan de specifieke vereisten van de toepassing en maakt over het algemeen een volledig automatische uitvoering van het proces mogelijk, inclusief receptverwerking.
UNIVEX C – AANGEPAST
Als er geen UNIVEX-systeemtype bij uw vereisten past, is er dan een andere kamergrootte of -hoogte gewenst? Neem contact met ons op.
Wij kijken ernaar uit om uw systeem mogelijk te maken!
Lees hoe UNIVEX C 900 een complexe coatingoplossing ondersteunt
- Online winkelen
- Documentatiepakket
Online winkelen
Documentatiepakket
