UNIVEX box coating systems range - banner

UNIVEX-coatingsystemen voor dozen Gedefinieerd door hun kamergrootte

Onze compacte dooscoatingsystemen bieden directe toegang tot de proceskamer.

Modulaire opbouw

Universele vacuümkamer

Gemakkelijke toegang tot alle geïnstalleerde apparatuur

Meerdere afzettingstechnieken in dezelfde kamer

Geschikt voor cleanrooms

UNIVEX 250

UNIVEX 250

Uw toegangspoort tot naadloze coatingprocessen, speciaal ontworpen voor universiteiten, laboratoria, technische hogescholen en industriële R&D-faciliteiten wereldwijd.

De UNIVEX 250 biedt een kosteneffectieve oplossing die geen concessies doet aan kwaliteit of prestaties, zodat u nauwkeurige en consistente resultaten behaalt. Met zijn intuïtieve bediening en probleemloze bediening is hij perfect voor gebruikers van alle niveaus. 

De UNIVEX 250 voldoet aan diverse coatingbehoeften, van contactmetallisatie tot contrastbeeldvorming voor microscopie en dunnefilmtoepassingen.

Dankzij het robuuste ontwerp en de betrouwbare prestaties is het een essentieel hulpmiddel voor elke wetenschappelijke of industriële omgeving, met handige toegang, modulaire uitbreidbaarheid en mobiele mogelijkheden voor ultieme flexibiliteit. 

Typische toepassingen zijn:

  • Contactmetallisatie (verdamping van goud, zilver, chroom, nikkel, titanium enz.)
  • Contrastbeeldvorming voor microscopie (indium, koolstof, enz.)
  • Dunne film zonne-energie
  • Onderwijsdoeleinden in hogescholen en universiteiten

Configuraties:

  • Thermische verdamping
  • E-straalverdamping
  • Bespuiten

Leybold UNIVEX 250
  UNIVEX 250
Afmetingen kamer Breedte 270 mm, diepte 370 mm, hoogte 400 mm
Totale grootte Breedte 1400 mm, diepte 950 mm, hoogte 1800 mm
Thermische verdamper tot 4 materialen
Organische verdamper tot 4 materialen
E-straalverdamping meerdere zakken of één zak
Bespuiten tot 2 x 2" bronnen
Co-deponering verdamping en/of sputteren mogelijk
Bedieningselementen PLC met monitor
Filmdiktesensor Kwartskristal
Vacuümniveau < 1 E-6 mbar
Geschikt voor cleanrooms Ja
UNIVEX 400

UNIVEX 400

De UNIVEX 400 is een compact coatingsysteem voor laboratoriumtaken, respectievelijk proefproducties. Vanwege de kamerafmetingen is het ideaal voor het coaten van kleine tot middelgrote substraten. 

Substraten/substraathouders tot een totale diameter van max. 350 mm kan worden gecoat. 

Met de systeemcontroller kunt u handmatige, halfautomatische en volautomatische coatingprocessen uitvoeren. 

 Gebruiksdoeleinde

  • Dunne-film zonne-energie: CdTe, CIGS, CZTS gesputterde processen
  • Organische elektronica (PV, OLEDS)
  • Optische coatings
  • Micro-elektronica

Standaardconfiguraties

  • Multi-pocket e-straal met thermische verdamper en ionenbron.
  • Tot vier 2" sputterpistolen in confocale configuratie voor sputteren omhoog of omlaag
  • E-straal en organische verdampers voor de vorming van anorganisch-organische perovskiet
UNIVEX Coating Systems
 

UNIVEX 400

Afmetingen kamer

breedte 420 mm, diepte 480 mm, hoogte 550 mm

Thermische verdamper

tot 8 materialen

Organische verdamper

tot 8 materialen

E-straalverdamping

meerdere zakken of één zak

Bespuiten

omhoog of omlaag, 4 X 2", 3 X 3", 2 X 4" of andere

Co-deponering

verdamping en/of sputteren

Compatibel met laadslot

optioneel

Ionenondersteunde afzetting

optioneel

Getempereerde waterkamer

ja

Vacuümniveau

midden 10 -7 mbar

UHV-versie

optioneel

Geschikt voor cleanrooms

ja

UNIVEX 600

UNIVEX 600

De UNIVEX 600 is een compact coatingsysteem voor laboratoria en proefproducties. Vanwege de kamergrootte is het geschikt voor middelgrote tot grote substraten. 

De haalbare substraatdoorvoer voldoet aan de algemene eisen voor kleine serieproducties. Substraten/substraathouders tot max. totale diameter van 550 mm kan worden gecoat. 

Met de systeemcontroller kunt u handmatige, halfautomatische en volledig geautomatiseerde coatingprocessen uitvoeren. 

Gebruiksdoeleinde

  • Optische coatings
  • Opto-elektronische apparaten
  • Resistief RAM
  • Hogetemperatuursupergeleiders

Standaardconfiguraties

  • Substraatverwarmingen en/of -koelers 
  • Multi-pocket e-straal met thermische verdamper en ionenbron.
  • Pallet-, koepel- of planetaire substraatconfiguraties voor enkele of meerdere monsters
  • Meervoudige sputterpistolen in confocale of face-to-face configuratie
UNIVEX Coating Systems
 

UNIVEX 600

Afmetingen kamer

Breedte: 600 mm Diepte: 600 mm Hoogte: 800 mm of 550 mm (sputter)

Thermische verdamper

tot 8 materialen

Organische verdamper

tot 8 materialen

E-straalverdamping

multi-pocket en/of single-pocket, bediening met meerdere pistolen

Bespuiten

omhoog of omlaag: 4 X 3", 3 X 4", 6 X 2" of andere

Co-deponering

verdamping en/of sputteren

Compatibel met laadslot

optioneel

Ionenondersteunde afzetting

optioneel

Getempereerde waterkamer

ja

Vacuümniveau

midden 10 -7 mbar

UHV-versie

optioneel

Geschikt voor cleanrooms

ja

UNIVEX 900

UNIVEX 900

De UNIVEX 900 is de meest geavanceerde oplossing voor middelgrote tot grote substraten, respectievelijk voor hogere substraatdoorvoersnelheden. Substraten/substraathouders tot een totale diameter van 800 mm kunnen worden gecoat. Met de systeemcontroller kunt u handmatige, halfautomatische en volledig geautomatiseerde coatingprocessen uitvoeren.

Gebruiksdoeleinde

  • Optische coatings
  • Opto-elektronische apparaten
  • Resistief RAM
  • Hogetemperatuursupergeleiders

Standaardconfiguraties

  • Substraatverwarmingen en/of -koelers 
  • Multi-pocket e-straal met ionenbronnen voor voorreiniging van substraten en ionondersteunde afzetting
  • Pallet-, koepel- of planetaire substraatconfiguraties voor enkele of meerdere monsters
  • Meervoudige sputterpistolen in confocale of face-to-face configuratie
UNIVEX Coating Systems
 

UNIVEX 900

Afmetingen kamer

Breedte: 900 mm Diepte: 900 mm Hoogte: 1100 mm

Thermische verdamper

tot 8 materialen

Organische verdamper

tot 8 materialen

E-straalverdamping

multi-pocket en/of single-pocket, bediening met meerdere pistolen

Bespuiten

optioneel

Co-deponering

ja

Compatibel met laadslot

optioneel

Ionenondersteunde afzetting

optioneel

Getempereerde waterkamer

ja

Vacuümniveau

midden 10 -7 mbar

UHV-versie

optioneel

Geschikt voor cleanrooms

ja

UNIVEX 250

Uw toegangspoort tot naadloze coatingprocessen, speciaal ontworpen voor universiteiten, laboratoria, technische hogescholen en industriële R&D-faciliteiten wereldwijd.

De UNIVEX 250 biedt een kosteneffectieve oplossing die geen concessies doet aan kwaliteit of prestaties, zodat u nauwkeurige en consistente resultaten behaalt. Met zijn intuïtieve bediening en probleemloze bediening is hij perfect voor gebruikers van alle niveaus. 

De UNIVEX 250 voldoet aan diverse coatingbehoeften, van contactmetallisatie tot contrastbeeldvorming voor microscopie en dunnefilmtoepassingen.

Dankzij het robuuste ontwerp en de betrouwbare prestaties is het een essentieel hulpmiddel voor elke wetenschappelijke of industriële omgeving, met handige toegang, modulaire uitbreidbaarheid en mobiele mogelijkheden voor ultieme flexibiliteit. 

Typische toepassingen zijn:

  • Contactmetallisatie (verdamping van goud, zilver, chroom, nikkel, titanium enz.)
  • Contrastbeeldvorming voor microscopie (indium, koolstof, enz.)
  • Dunne film zonne-energie
  • Onderwijsdoeleinden in hogescholen en universiteiten

Configuraties:

  • Thermische verdamping
  • E-straalverdamping
  • Bespuiten

Leybold UNIVEX 250
  UNIVEX 250
Afmetingen kamer Breedte 270 mm, diepte 370 mm, hoogte 400 mm
Totale grootte Breedte 1400 mm, diepte 950 mm, hoogte 1800 mm
Thermische verdamper tot 4 materialen
Organische verdamper tot 4 materialen
E-straalverdamping meerdere zakken of één zak
Bespuiten tot 2 x 2" bronnen
Co-deponering verdamping en/of sputteren mogelijk
Bedieningselementen PLC met monitor
Filmdiktesensor Kwartskristal
Vacuümniveau < 1 E-6 mbar
Geschikt voor cleanrooms Ja

UNIVEX 400

De UNIVEX 400 is een compact coatingsysteem voor laboratoriumtaken, respectievelijk proefproducties. Vanwege de kamerafmetingen is het ideaal voor het coaten van kleine tot middelgrote substraten. 

Substraten/substraathouders tot een totale diameter van max. 350 mm kan worden gecoat. 

Met de systeemcontroller kunt u handmatige, halfautomatische en volautomatische coatingprocessen uitvoeren. 

 Gebruiksdoeleinde

  • Dunne-film zonne-energie: CdTe, CIGS, CZTS gesputterde processen
  • Organische elektronica (PV, OLEDS)
  • Optische coatings
  • Micro-elektronica

Standaardconfiguraties

  • Multi-pocket e-straal met thermische verdamper en ionenbron.
  • Tot vier 2" sputterpistolen in confocale configuratie voor sputteren omhoog of omlaag
  • E-straal en organische verdampers voor de vorming van anorganisch-organische perovskiet
UNIVEX Coating Systems
 

UNIVEX 400

Afmetingen kamer

breedte 420 mm, diepte 480 mm, hoogte 550 mm

Thermische verdamper

tot 8 materialen

Organische verdamper

tot 8 materialen

E-straalverdamping

meerdere zakken of één zak

Bespuiten

omhoog of omlaag, 4 X 2", 3 X 3", 2 X 4" of andere

Co-deponering

verdamping en/of sputteren

Compatibel met laadslot

optioneel

Ionenondersteunde afzetting

optioneel

Getempereerde waterkamer

ja

Vacuümniveau

midden 10 -7 mbar

UHV-versie

optioneel

Geschikt voor cleanrooms

ja

UNIVEX 600

De UNIVEX 600 is een compact coatingsysteem voor laboratoria en proefproducties. Vanwege de kamergrootte is het geschikt voor middelgrote tot grote substraten. 

De haalbare substraatdoorvoer voldoet aan de algemene eisen voor kleine serieproducties. Substraten/substraathouders tot max. totale diameter van 550 mm kan worden gecoat. 

Met de systeemcontroller kunt u handmatige, halfautomatische en volledig geautomatiseerde coatingprocessen uitvoeren. 

Gebruiksdoeleinde

  • Optische coatings
  • Opto-elektronische apparaten
  • Resistief RAM
  • Hogetemperatuursupergeleiders

Standaardconfiguraties

  • Substraatverwarmingen en/of -koelers 
  • Multi-pocket e-straal met thermische verdamper en ionenbron.
  • Pallet-, koepel- of planetaire substraatconfiguraties voor enkele of meerdere monsters
  • Meervoudige sputterpistolen in confocale of face-to-face configuratie
UNIVEX Coating Systems
 

UNIVEX 600

Afmetingen kamer

Breedte: 600 mm Diepte: 600 mm Hoogte: 800 mm of 550 mm (sputter)

Thermische verdamper

tot 8 materialen

Organische verdamper

tot 8 materialen

E-straalverdamping

multi-pocket en/of single-pocket, bediening met meerdere pistolen

Bespuiten

omhoog of omlaag: 4 X 3", 3 X 4", 6 X 2" of andere

Co-deponering

verdamping en/of sputteren

Compatibel met laadslot

optioneel

Ionenondersteunde afzetting

optioneel

Getempereerde waterkamer

ja

Vacuümniveau

midden 10 -7 mbar

UHV-versie

optioneel

Geschikt voor cleanrooms

ja

UNIVEX 900

De UNIVEX 900 is de meest geavanceerde oplossing voor middelgrote tot grote substraten, respectievelijk voor hogere substraatdoorvoersnelheden. Substraten/substraathouders tot een totale diameter van 800 mm kunnen worden gecoat. Met de systeemcontroller kunt u handmatige, halfautomatische en volledig geautomatiseerde coatingprocessen uitvoeren.

Gebruiksdoeleinde

  • Optische coatings
  • Opto-elektronische apparaten
  • Resistief RAM
  • Hogetemperatuursupergeleiders

Standaardconfiguraties

  • Substraatverwarmingen en/of -koelers 
  • Multi-pocket e-straal met ionenbronnen voor voorreiniging van substraten en ionondersteunde afzetting
  • Pallet-, koepel- of planetaire substraatconfiguraties voor enkele of meerdere monsters
  • Meervoudige sputterpistolen in confocale of face-to-face configuratie
UNIVEX Coating Systems
 

UNIVEX 900

Afmetingen kamer

Breedte: 900 mm Diepte: 900 mm Hoogte: 1100 mm

Thermische verdamper

tot 8 materialen

Organische verdamper

tot 8 materialen

E-straalverdamping

multi-pocket en/of single-pocket, bediening met meerdere pistolen

Bespuiten

optioneel

Co-deponering

ja

Compatibel met laadslot

optioneel

Ionenondersteunde afzetting

optioneel

Getempereerde waterkamer

ja

Vacuümniveau

midden 10 -7 mbar

UHV-versie

optioneel

Geschikt voor cleanrooms

ja

Online winkelen
Documentatiepakket
UNIVEX - Experimental systems for thin film coating

PDF    10.8 MB

UNIVEX 250

PDF    3.7 MB

Systmens + Solutions

PDF    9 MB

UNIVEX - Experimental systems for thin film coating

PDF    10.8 MB

UNIVEX 250

PDF    3.7 MB

Systmens + Solutions

PDF    9 MB