Películas finas

Una película fina es una capa de material que va desde fracciones de un nanómetro a varios micrómetros de espesor. La tecnología de película final fue mejorada en las últimas décadas y requiere productos fiables para lograr la mejor calidad. Para los procesos de deposición de la película fina, Leybold puede proporcionar el mejor equipo de vacío cumpliendo los requisitos de esta aplicación con sus sistemas de bombeo DRYVAC / RUVAC seco eficientes

Sistemas de bombeo con bombas de compresión seca

  • Velocidad alta de bombeo de hidrógeno
  • Resistente a las partículas
  • Compatibilidad alta con los medios para los gases del proceso típicos
  • Control integrado de los parámetros de funcionamiento y el control de las bombas base
  • Temperatura ajustable y flujo de gas de purga
  • Parámetro controlable a través de Profi bus