Analisis gas pada tekanan rendah berguna bukan sahaja ketika menganalisis gas sisa dari pam vakum, ujian kebocoran pada sambungan flange atau untuk saluran bekalan (udara termampat, air) dalam keadaan vakum. Mereka juga penting dalam bidang yang lebih luas mengenai aplikasi dan proses teknologi vakum. Sebagai contoh, dalam analisis gas proses yang digunakan untuk menerapkan lapisan nipis salutan pada substrat. Peralatan yang digunakan untuk analisis kualitatif dan/atau kuantitatif gas termasuk spektrum jisim yang dibangunkan khas dengan dimensi yang sangat kecil yang, seperti mana-mana pengukur vakum, boleh disambungkan terus ke sistem vakum. Saiz mereka membezakan instrumen pengukuran ini daripada spektrometer jisim lain seperti yang digunakan untuk analisis kimia gas. Peranti-peranti tersebut kurang sesuai, contohnya, untuk digunakan sebagai unit pengukuran tekanan separa kerana ia terlalu besar, memerlukan garis penyambung yang panjang ke ruang vakum dan tidak boleh dibakar keluar bersama ruang vakum itu sendiri. Pelaburan untuk spektrometer jisim analitik akan terlalu besar tanpa justifikasi kerana, contohnya, keperluan dari segi resolusi adalah jauh kurang ketat untuk pengukuran tekanan separa. Tekanan separa difahami sebagai tekanan yang dikenakan oleh jenis gas tertentu dalam campuran gas. Jumlah tekanan separa bagi semua jenis gas memberikan tekanan keseluruhan. Perbezaan antara pelbagai jenis gas pada dasarnya adalah berdasarkan jisim molar mereka. Oleh itu, tujuan utama analisis adalah untuk merekod secara kualitatif proporsi gas dalam sistem berkaitan dengan jisim molar dan menentukan secara kuantitatif jumlah jenis gas individu yang berkaitan dengan nombor atom yang pelbagai. 

Peranti pengukuran tekanan separa yang biasa digunakan terdiri daripada sistem pengukuran itu sendiri (sensor) dan peranti kawalan yang diperlukan untuk operasinya. Sensor tersebut mengandungi sumber ion, sistem pemisahan dan perangkap ion. Pemisahan ion yang berbeza dalam jisim dan cas sering dilakukan dengan memanfaatkan fenomena yang menyebabkan ion bergetar dalam medan elektrik dan magnet.

Selepas percubaan pertama Thomson pada tahun 1897 untuk menentukan nisbah cas kepada jisim e/m bagi elektron, ia mengambil masa yang agak lama (hingga ke tahun 1950-an) sebelum sejumlah besar dan pelbagai sistem analisis digunakan dalam teknologi vakum. Ini termasuk Omegatron, Topatron dan akhirnya spektrum jisim kuadrupole yang dicadangkan oleh Paul dan Steinwedel pada tahun 1958 (lihat Rajah. 4,1). Penggunaan pertama spektrometri jisim dalam aplikasi teknologi proses yang dibantu vakum mungkin bermula dari kerja Backus pada tahun 1943 / 44. Dia menjalankan kajian di Makmal Radiografi di Universiti California. Mencari untuk memisahkan isotop uranium, dia menggunakan spektrometer medan sektor 180° selepas Dempster (1918), yang dirujuknya sebagai "analis vakum". Hingga hari ini, istilah serupa, iaitu "analis gas residu" (RGA), sering digunakan di A.S. dan U.K. sebagai ganti "spektrum jisim". Aplikasi pemantauan proses hari ini terdapat terutamanya dalam pengeluaran komponen semikonduktor.