Pemasangan vakum untuk aplikasi pelapisan Daripada perlindungan haus pada komponen mekanikal hingga pelapisan komponen optik atau metalisasi permukaan plastik: semua proses ini berlaku dalam keadaan vakum.
Penyelesaian salutan vakum
Penyepuhan vakum adalah salah satu cara yang paling berkesan untuk menambah lapisan prestasi tinggi pada permukaan pelbagai produk, dengan itu meningkatkan nilai untuk pelanggan. Salutan vakum adalah segmen pasaran pengeluaran yang berteknologi tinggi dan sentiasa berkembang di mana penyelesaian Leybold menetapkan piawaian.
Salutan vakum digunakan dalam pelbagai aplikasi, seperti:
- Salutan kaca Low-E untuk memantulkan tenaga matahari sambil kekal 100% telus. Salutan Low-E adalah produk yang cekap tenaga yang membantu mengurangkan penggunaan tenaga.
- Salutan pada kaca seni bina untuk meningkatkan estetika pencakar langit moden melalui fasad cahaya telus, sambil mengekalkan sifat kaca rendah-E.
- Salutan tahan haus dan keras untuk meningkatkan penggunaan alat pemotong pada kelajuan pemotongan yang tinggi.
- Salutan fungsional yang digunakan dalam pengeluaran panel solar, paparan dan sensor skrin sentuh yang membolehkan peranti moden mengalami perkembangan dan peningkatan kualiti yang berterusan.
- Salutan optik khas untuk mencipta penapis optik, lensa, permukaan reflektif dan permukaan anti-reflektif.
- Salutan hiasan, seperti salutan reflektif tinggi untuk kemasan mewah pada bahagian dan produk.
Keperluan pasaran salutan vakum secara konsisten mendorong Leybold untuk menyediakan produk yang dioptimumkan dan penyelesaian vakum khusus pelanggan, termasuk pam vakum awal, pam vakum tinggi, kawalan vakum, peranti pengukuran vakum dan sistem pengesanan kebocoran.
Pam vakum Leybold dan penyelesaian menyediakan
Produk berkaitan dengan aplikasi lapisan
- DRYVAC
- DRYVAC PowerBoost
- RUVAC
- SOGEVAC
- TURBOVAC MAGiNTEGRA
- TURBOVAC i
- Pam difusi
- COOLVAC
- Pengukur vakum
- Pengesanan kebocoran
- Sambungan vakum dan injap
DRYVAC
DRYVAC
Keluarga pam vakum jenis skru kering yang moden, cekap kos dan tenaga dengan ketahanan yang tiada tandingan. DRYVAC boleh mengendalikan pengudaraan kejutan berulang semasa penguncian beban selain daripada beban gas debu yang tinggi semasa proses sputtering. Pam DRYVAC mewakili "generasi seterusnya" bagi pam vakum awal dan sudah menjadi standard industri. Ciri-ciri mereka selaras dengan keperluan pasaran hari ini, kerana mereka direka untuk operasi mesra alam dan menawarkan pelan perkhidmatan yang mudah dan telus.
DRYVAC PowerBoost
DRYVAC PowerBoost
Kadang-kadang anda memerlukan penyelesaian yang sepenuhnya terintegrasi - contohnya, kunci muatan untuk pelapis dalam talian yang memerlukan letupan tenaga yang kuat. DRYVAC PowerBoost adalah gabungan antara pam DRYVAC dan pam penggalak RUVAC dengan modul elektronik pintar. Sistem ini secara automatik menyesuaikan prestasi pam penggalak RUVAC untuk menghasilkan masa kitaran yang lebih pendek dan penggunaan tenaga yang lebih rendah. Untuk persekitaran bilik bersih (TFT, SEMI dan FPD), DRYVAC PowerBoost menawarkan prestasi terbaik dengan jejak alam sekitar yang paling rendah.
RUVAC
RUVAC
Pam yang berprestasi tinggi diperlukan untuk mengepam jumlah besar. Pam penggalak klasik kami RUVAC WA(U) dan WS(U) serta RUVAC WH(U) kami yang inovatif dan kedap hermetik boleh beroperasi dengan pemacu langsung atau, ia boleh dipacu oleh penukar frekuensi yang membolehkan mereka beroperasi dengan kelajuan putaran dan pam yang lebih tinggi secara berterusan.
Dengan kapasiti antara 250 hingga 7000 m³/j, kami boleh merancang sistem salutan vakum dalam pelbagai saiz.
SOGEVAC
SOGEVAC
Keluarga pam sudu berputar SOGEVAC adalah pam vakum hadapan yang telah terbukti masa digunakan dalam aplikasi salutan. Sejak beberapa dekad yang lalu, pam SOGEVAC yang disegel dengan minyak adalah pilihan utama pelanggan yang mencari pam vakum yang boleh dipercayai dengan reputasi terbaik untuk aplikasi pelapisan. Anda biasanya akan menemui pam SOGEVAC dalam sistem yang digabungkan dengan blower RUVAC Roots. Keluarga SOGEVAC tersedia dalam pelbagai kelajuan pam, dari 16 m³/j hingga 750 m³/j, yang membolehkan penggunaan keluarga pam ini bersama dengan sistem sputtering meja kecil untuk mesin sputtering industri besar.
TURBOVAC MAGiNTEGRA
TURBOVAC MAG
Pam vakum molekul turbo magnetik-terapung TURBOVAC MAGiNTEGRA adalah pam vakum tinggi yang terbukti dalam pengeluaran yang menghasilkan vakum bebas hidrokarbon untuk aplikasi yang mencabar. Terima kasih kepada ketahanan mereka, zarah yang dihasilkan dalam proses salutan boleh ditoleransi sama seperti aliran gas tinggi yang muncul dalam beberapa aplikasi salutan untuk skala pengeluaran industri. Pam TURBOVAC MAGiNTEGRA adalah penyelesaian yang paling sesuai untuk vakum tinggi dalam sistem sputtering. Pam-pam ini menawarkan kos penyelenggaraan yang rendah dan prestasi tinggi dari segi kelajuan pam-saiz-keluaran. Adakah anda memerlukan pam vakum tinggi untuk aplikasi salutan kawasan yang lebih besar? TURBOVAC MAGiNTEGRA adalah penyelesaian utama anda.
TURBOVAC i
TURBOVAC i/iX
Keluarga TURBOVAC i adalah rangkaian pam vakum molekul turbo mekanikal yang menawarkan pelbagai model yang dioptimumkan untuk aplikasi industri. Terima kasih kepada reka bentuk khas mereka, versi TURBOVAC i IND kami yang kukuh adalah paling sesuai untuk menahan zarah yang dihasilkan dalam proses salutan atau aliran gas tinggi yang diperlukan dalam aplikasi salutan tertentu dari ruang vakum kecil hingga sederhana.
Pam difusi
Pam difusi
Pam penyebaran vakum tinggi cukup serbaguna untuk pelbagai aplikasi, tetapi ia sangat berguna untuk lapisan hiasan, rawatan perlindungan haus dan lapisan gulung-ke-gulung. Pam pengedaran kami yang kukuh dan kos efektif dari julat DIP dan DIJ menawarkan harga terendah untuk kelajuan pam bagi sebarang aplikasi yang memerlukan vakum tinggi.
COOLVAC
COOLVAC
Keluarga pam vakum tinggi untuk mendapatkan kelembapan dan vakum bebas minyak dengan tekanan akhir terendah hingga 10-9 mbar. Lapisan optik perlu sebersih mungkin untuk mendapatkan sifat yang tepat – jadi jika kemurnian sistem vakum memainkan peranan utama, maka COOLVAC adalah pilihan yang tepat.
Pengukur vakum
Pengukur vakum
Tekanan vakum yang stabil adalah penting untuk lapisan berkualiti tinggi yang konsisten. Bergantung kepada proses, tahap vakum dan ketepatan yang diperlukan, pelbagai pengukur digunakan untuk memantau atau bahkan mengawal tahap vakum. Dari pengukur TTR91 atau TTR101 untuk vakum kasar hingga ITR90 untuk tahap vakum tinggi, kami menawarkan rangkaian lengkap pengukur untuk memenuhi keperluan pemprosesan anda. Untuk proses salutan vakum, adalah penting untuk mencapai tekanan yang tepat semasa sputtering dan tekanan akhir yang rendah. Dalam proses sputtering berketepatan tinggi tertentu, ketepatan pengukuran tekanan memainkan peranan yang penting. Kami telah membangunkan keluarga pengukur vakum kami sendiri yang menawarkan sistem pengukuran dan kawalan untuk semua saiz dan semua tahap ketepatan.
Pengesanan kebocoran
Pengesanan kebocoran
Sistem vakum yang ketat adalah syarat untuk proses salutan yang stabil, memastikan kualiti produk yang seragam. Oleh itu, sistem salutan diuji kebocoran dengan rang pengesan kebocoran helium PHOENIX kami. Julat ini merangkumi kedua-dua penyelesaian basah dan kering serta sistem mudah alih dan yang dipasang pada troli.
Sambungan vakum dan injap
Sambungan vakum dan injap
Sistem vakum tidak lengkap tanpa bahagian, sambungan dan injap yang ketat vakum khas. Semua aksesori kami, dari injap, penutup, paip dan hos, sesuai dengan pam kami dan mematuhi semua piawaian dunia, seperti ISO-K dan ISO-CF.
DRYVAC
Keluarga pam vakum jenis skru kering yang moden, cekap kos dan tenaga dengan ketahanan yang tiada tandingan. DRYVAC boleh mengendalikan pengudaraan kejutan berulang semasa penguncian beban selain daripada beban gas debu yang tinggi semasa proses sputtering. Pam DRYVAC mewakili "generasi seterusnya" bagi pam vakum awal dan sudah menjadi standard industri. Ciri-ciri mereka selaras dengan keperluan pasaran hari ini, kerana mereka direka untuk operasi mesra alam dan menawarkan pelan perkhidmatan yang mudah dan telus.
DRYVAC PowerBoost
Kadang-kadang anda memerlukan penyelesaian yang sepenuhnya terintegrasi - contohnya, kunci muatan untuk pelapis dalam talian yang memerlukan letupan tenaga yang kuat. DRYVAC PowerBoost adalah gabungan antara pam DRYVAC dan pam penggalak RUVAC dengan modul elektronik pintar. Sistem ini secara automatik menyesuaikan prestasi pam penggalak RUVAC untuk menghasilkan masa kitaran yang lebih pendek dan penggunaan tenaga yang lebih rendah. Untuk persekitaran bilik bersih (TFT, SEMI dan FPD), DRYVAC PowerBoost menawarkan prestasi terbaik dengan jejak alam sekitar yang paling rendah.
RUVAC
Pam yang berprestasi tinggi diperlukan untuk mengepam jumlah besar. Pam penggalak klasik kami RUVAC WA(U) dan WS(U) serta RUVAC WH(U) kami yang inovatif dan kedap hermetik boleh beroperasi dengan pemacu langsung atau, ia boleh dipacu oleh penukar frekuensi yang membolehkan mereka beroperasi dengan kelajuan putaran dan pam yang lebih tinggi secara berterusan.
Dengan kapasiti antara 250 hingga 7000 m³/j, kami boleh merancang sistem salutan vakum dalam pelbagai saiz.
SOGEVAC
Keluarga pam sudu berputar SOGEVAC adalah pam vakum hadapan yang telah terbukti masa digunakan dalam aplikasi salutan. Sejak beberapa dekad yang lalu, pam SOGEVAC yang disegel dengan minyak adalah pilihan utama pelanggan yang mencari pam vakum yang boleh dipercayai dengan reputasi terbaik untuk aplikasi pelapisan. Anda biasanya akan menemui pam SOGEVAC dalam sistem yang digabungkan dengan blower RUVAC Roots. Keluarga SOGEVAC tersedia dalam pelbagai kelajuan pam, dari 16 m³/j hingga 750 m³/j, yang membolehkan penggunaan keluarga pam ini bersama dengan sistem sputtering meja kecil untuk mesin sputtering industri besar.
TURBOVAC MAG
Pam vakum molekul turbo magnetik-terapung TURBOVAC MAGiNTEGRA adalah pam vakum tinggi yang terbukti dalam pengeluaran yang menghasilkan vakum bebas hidrokarbon untuk aplikasi yang mencabar. Terima kasih kepada ketahanan mereka, zarah yang dihasilkan dalam proses salutan boleh ditoleransi sama seperti aliran gas tinggi yang muncul dalam beberapa aplikasi salutan untuk skala pengeluaran industri. Pam TURBOVAC MAGiNTEGRA adalah penyelesaian yang paling sesuai untuk vakum tinggi dalam sistem sputtering. Pam-pam ini menawarkan kos penyelenggaraan yang rendah dan prestasi tinggi dari segi kelajuan pam-saiz-keluaran. Adakah anda memerlukan pam vakum tinggi untuk aplikasi salutan kawasan yang lebih besar? TURBOVAC MAGiNTEGRA adalah penyelesaian utama anda.
TURBOVAC i/iX
Keluarga TURBOVAC i adalah rangkaian pam vakum molekul turbo mekanikal yang menawarkan pelbagai model yang dioptimumkan untuk aplikasi industri. Terima kasih kepada reka bentuk khas mereka, versi TURBOVAC i IND kami yang kukuh adalah paling sesuai untuk menahan zarah yang dihasilkan dalam proses salutan atau aliran gas tinggi yang diperlukan dalam aplikasi salutan tertentu dari ruang vakum kecil hingga sederhana.
Pam difusi
Pam penyebaran vakum tinggi cukup serbaguna untuk pelbagai aplikasi, tetapi ia sangat berguna untuk lapisan hiasan, rawatan perlindungan haus dan lapisan gulung-ke-gulung. Pam pengedaran kami yang kukuh dan kos efektif dari julat DIP dan DIJ menawarkan harga terendah untuk kelajuan pam bagi sebarang aplikasi yang memerlukan vakum tinggi.
COOLVAC
Keluarga pam vakum tinggi untuk mendapatkan kelembapan dan vakum bebas minyak dengan tekanan akhir terendah hingga 10-9 mbar. Lapisan optik perlu sebersih mungkin untuk mendapatkan sifat yang tepat – jadi jika kemurnian sistem vakum memainkan peranan utama, maka COOLVAC adalah pilihan yang tepat.
Pengukur vakum
Tekanan vakum yang stabil adalah penting untuk lapisan berkualiti tinggi yang konsisten. Bergantung kepada proses, tahap vakum dan ketepatan yang diperlukan, pelbagai pengukur digunakan untuk memantau atau bahkan mengawal tahap vakum. Dari pengukur TTR91 atau TTR101 untuk vakum kasar hingga ITR90 untuk tahap vakum tinggi, kami menawarkan rangkaian lengkap pengukur untuk memenuhi keperluan pemprosesan anda. Untuk proses salutan vakum, adalah penting untuk mencapai tekanan yang tepat semasa sputtering dan tekanan akhir yang rendah. Dalam proses sputtering berketepatan tinggi tertentu, ketepatan pengukuran tekanan memainkan peranan yang penting. Kami telah membangunkan keluarga pengukur vakum kami sendiri yang menawarkan sistem pengukuran dan kawalan untuk semua saiz dan semua tahap ketepatan.
Pengesanan kebocoran
Sistem vakum yang ketat adalah syarat untuk proses salutan yang stabil, memastikan kualiti produk yang seragam. Oleh itu, sistem salutan diuji kebocoran dengan rang pengesan kebocoran helium PHOENIX kami. Julat ini merangkumi kedua-dua penyelesaian basah dan kering serta sistem mudah alih dan yang dipasang pada troli.
Sambungan vakum dan injap
Sistem vakum tidak lengkap tanpa bahagian, sambungan dan injap yang ketat vakum khas. Semua aksesori kami, dari injap, penutup, paip dan hos, sesuai dengan pam kami dan mematuhi semua piawaian dunia, seperti ISO-K dan ISO-CF.
- Aplikasi berkaitan
- Produk berkaitan
