Composing RUVAC WS/WSU

RUVAC WS/WSU Peniup akar - reka bentuk motor dalam tin

Peniup akar dengan motor terkurung hermetik yang disejukkan oleh udara

Penyedut akar Leybold RUVAC WS dipacu oleh motor terkurung yang disejukkan oleh udara atau air. Penukar frekuensi yang tersedia telah dipadankan dengan pam supaya kemungkinan beban mekanikal berlebihan dapat dielakkan. Dalam kes perbezaan tekanan yang terlalu tinggi, kelajuan putaran pam secara automatik dikurangkan sehingga bebanannya. Pam vakum Roots siri RUVAC WSU dilengkapi dengan saluran penyamaan tekanan terintegrasi tambahan dan injap tekanan pembeza. Pam dari siri ini disediakan dengan tindakan pam menegak sebagai standard. 

Dua saluran penyejuk udara WS/WSU, masing-masing dengan empat saiz pam

Pam berpendingin udara yang sangat kedap udara yang digerakkan oleh motor kaleng berpendingin udara.

Dilincirkan dengan minyak mineral (sebaliknya dengan LVO 400)

Suis suhu berlebihan dalam gegelung stator motor

Semua penyegel elastomer yang dibuat daripada FPM (FKM)/Viton

Garis penyamaan tekanan terintegrasi dengan injap tekanan pembeza mencegah beban berlebihan pada model WSU (pilihan)

Penukar frekuensi boleh digunakan untuk mengendalikan pam RUVAC WS 251 hingga 2001 antara 20 dan 100 Hz.

Tiada laluan aci ke atmosfera, oleh itu sangat kedap bocor.

Penukaran dari tindakan pam menegak ke mendatar boleh dilakukan dari sisi pelanggan.

Peralatan yang Diberikan

  • Kuantiti minyak yang diperlukan disediakan secara berasingan dengan pam (pengecualian daripada ini dinyatakan)
  • Jika tiada jenis minyak lain yang dinyatakan, maka minyak mineral LVO 100 digunakan sebagai standard.
  • Dibersihkan dengan nitrogen untuk perlindungan terhadap kakisan
  • Gasket pada flang pengambilan dengan saringan kotoran terintegrasi

Pam vakum Roots siri WAU/WSU/WHU dilengkapi dengan saluran penyamaan tekanan terintegrasi tambahan dan injap tekanan pembeza.

  • Untuk aplikasi yang memerlukan kelajuan pam yang tinggi pada tekanan antara 10-2 dan 10-4 mbar (0.75 x 10-2 dan 0.75 x 10-4 Torr)
  • Digunakan di mana kemungkinan pencemaran akibat kemasukan udara atau kebocoran media pam mesti dielakkan.
  • Penghisapan atau pam gas berkualiti tinggi
  • Digunakan di bilik bersih di mana udara tidak boleh dikitar semula oleh kipas motor.

Penyedut akar RUVAC adalah peralatan standard dalam industri salutan kaca seni bina. Digabungkan dengan pam SOGEVAC yang ditutup dengan minyak yang telah ditetapkan, mereka merealisasikan masa penurunan pam yang paling singkat di ruang loadlock. Digabungkan dengan pam DRYVAC dan SCREWLINE yang menggunakan pemampatan kering, ia menjamin vakum yang kering, boleh dipercayai dan tanpa masalah di ruang proses.

Penyedut akar RUVAC digunakan dalam banyak aplikasi untuk mencapai masa kitaran yang paling singkat, di mana pengosongan cepat adalah penting, contohnya, dalam menyokong ruang kunci beban atau dalam pembungkusan makanan berkelajuan tinggi.

Penyedut akar RUVAC dengan cepat mencapai tekanan kurang daripada 10-3 mbar semasa mengosongkan lampu dan permukaan penebat sebelum proses pemendapan wap.

Penyedut RUVAC juga digunakan dalam peralatan penarikan monokristal untuk penghasilan monokristal silikon, bahan asas untuk penghasilan semikonduktor dan sel solar. Kami dengan senang hati menawarkan sokongan produk dan aplikasi kami yang luas serta kepakaran kami.

Contact Leybold

Mari bercakap

Kami memberi tumpuan kepada kedekatan dengan pelanggan. Hubungi kami untuk semua pertanyaan anda.