Salutan solar

Pengeluaran panel solar boleh dibahagikan kepada dua teknologi yang berbeza: berasaskan wafer dan filem nipis.

Dalam pengeluaran sel solar berasaskan wafer, langkah vakum pertama adalah pembuatan wafer silikon. Ini dipotong daripada ingot mono- atau polikristalin, yang dihasilkan di bawah vakum dalam proses pertumbuhan kristal DSS atau Czochralski (untuk maklumat lanjut, lihat penarikan kristal).

Langkah vakum penting yang lain adalah langkah salutan Oksida Konduktif Telus melalui Penyepuhan Fizikal (PVD TCO), yang disemburkan pada bahagian depan dan belakang lapisan.  

Dalam pengeluaran sel solar filem nipis, terdapat dua teknologi utama: CIGS (Tembaga, Indium, Gallium, Selenium) dan CdTe (Kadmium, Tellurium). Kedua-dua lapisan aktif digunakan dalam penyepuh vakum dalam beberapa langkah proses. Sekali lagi, lapisan TCO PVD disemburkan pada bahagian depan dan belakang tumpukan lapisan.

Teknologi baru heterojunction (HJT) menggabungkan langkah Chemical Vapor Deposition (CVD) dengan lapisan kontak depan dan belakang PVD yang terkenal. Langkah-langkah lapisan CVD diaplikasikan pada asas amorfus atau mikrokrystalline. Dalam teknologi ini, Leybold mempunyai sejumlah besar pam yang dipasang di seluruh dunia. 

Semua proses vakum biasanya dijalankan dalam mesin salutan dalam talian yang besar, yang beroperasi dengan masa kitaran yang paling singkat. Leybold telah menyokong teknologi ini sejak awal dan telah mengumpulkan kepakaran yang luas. Untuk pam kunci muatan yang cepat, Leybold telah khusus membangunkan sistem POWERBOOSTnya. Sistem pam DRYVAC/RUVAC khusus yang lain terbukti sebagai penyelesaian paling boleh dipercayai untuk aplikasi yang menuntut seperti CIGS dan CdTe dan memastikan waktu operasi kilang yang tertinggi.

Lebih menuntut adalah HJT, kerana proses ini menghasilkan sejumlah besar habuk dan menggunakan gas doping toksik selain H2. DRYVAC unggul di sini, kerana ia kedap hermetik, dan bahan pam dipilih khusus untuk menangani proses sebegini.