Pengukuran & kawalan vakum Pengukur, Penganalisis Gas Residual, Pengawal Pam

Pengukur vakum digunakan untuk mengukur tekanan dalam pelbagai julat.

Mereka mengukur dari tekanan atmosfera di atas (~ 2000 mbar (1500 Torr)) hingga 10-12 mbar/torr. Tiada satu teknologi sensor pun yang mampu mengukur dalam julat ini.

Pelbagai jenis pengukur vakum tersedia, masing-masing dengan ciri dan kemampuan mereka untuk mengukur melalui pelbagai dekad vakum.

Untuk memperluas julat pengukuran, adalah biasa untuk menggabungkan pelbagai teknologi ke dalam satu alat pengukur bagi mengurangkan sambungan yang diperlukan dalam sistem.  

Salah satu cara utama untuk membezakan jenis pengukur vakum adalah berdasarkan cara mereka mengukur gas: pengukuran tekanan secara langsung atau tidak langsung.

• Dalam kes pengukuran tekanan langsung (atau bebas gas), bacaan yang diperoleh melalui pengukur vakum adalah bebas daripada jenis gas dan tekanan yang diberikan sentiasa merupakan tekanan sebenar sistem. Selalunya bergantung pada defleksi mekanikal membran, ini mampu mengukur dari tekanan atmosfera hingga 10^-4 mbar/torr. Jenis pengukur ini akan memberikan ketepatan tinggi dalam jarak pendek dan biasanya sangat tahan lasak. 
  
• Dalam kes pengukuran tekanan tidak langsung, tekanan ditentukan sebagai fungsi daripada sifat gas yang bergantung kepada tekanan (konduktiviti terma, kebarangkalian ionisasi, sebagai contoh). Hartanah ini tidak hanya bergantung kepada tekanan, tetapi juga kepada jisim mol gas-gas tersebut. Oleh itu, ini juga dikenali sebagai bergantung kepada gas. Bacaan biasanya berkaitan dengan udara atau nitrogen sebagai gas pengukuran. Untuk pengukuran wap atau gas lain, faktor pembetulan yang sesuai mesti digunakan untuk tekanan sebenar sistem. Pengukur ini mampu mengukur tekanan dalam julat yang jauh lebih luas (tekanan atmosfera hingga 10 x 10^-12 mbar bergantung kepada jenis/kombinasi), dengan pertukaran yang berlaku adalah tahap ketepatan yang lebih rendah. 

Keputusan biasa lain pada pengukur vakum adalah aktif atau pasif, dengan pilihan ini tersedia dalam pelbagai pengukur vakum kami.

• Pengukuran aktif adalah di mana kepala pengukur (kepala sensor) digabungkan dengan elektronik yang diperlukan untuk mengawal dan mengeluarkan isyarat, membolehkan integrasi yang mudah ke dalam sistem. 
• Pengukuran pasif adalah di mana kepala pengukur dipisahkan dari elektronik, yang kemudian disimpan secara berasingan dalam pengawal khusus. Kelebihan ini adalah bahawa ia boleh digunakan dalam persekitaran di mana elektronik tidak dapat berfungsi, seperti persekitaran radiasi tinggi, dan pengawal yang berasingan boleh dikeluarkan dari persekitaran tersebut.