Plasma Treatment

Pam vakum dan penyelesaian untuk teknologi rawatan plasma

Apakah rawatan plasma vakum?

Rawatan plasma adalah teknologi serbaguna yang digunakan secara meluas dalam pelbagai industri, termasuk elektronik, pembuatan semikonduktor, automotif, perubatan, dan lain-lain. Gas proses yang biasa adalah Oksigen, Argon atau CF4. Gas-gas ini diionkan dengan medan elektrik di bawah vakum untuk membentuk plasma yang digunakan untuk melapisi, membersihkan, mengaktifkan atau mengukir permukaan bagi mengubah kebersihan permukaan, lekatan, atau fungsi.

Vakuum memainkan peranan penting dalam sistem rawatan plasma untuk mencipta dan mengekalkan keadaan plasma dengan berkesan.

  • Proses reaksi yang efisien: Ion reaktif yang dihasilkan dalam plasma di bawah vakum dapat meresap ke permukaan dengan lebih berkesan untuk proses pengubahsuaian permukaan, pembersihan, pengaktifan, atau pengukiran.
  • Rawatan permukaan seragam: Vakum dapat memastikan persekitaran bebas pencemar untuk melindungi plasma yang seragam bagi kawalan tepat terhadap pengubahsuaian permukaan. 

 

Bagaimana rawatan plasma mencabar sistem vakum anda

Cabaran utama bagi pam vakum atau sistem pam adalah bahawa ion yang diaktifkan (contohnya, ion oksigen atau ion fluor) disingkirkan semasa proses dan boleh memasuki pam. Ion-ion ini sangat reaktif dan toksik kepada alam sekitar serta kesihatan manusia.

Ion oksigen dan ion fluorine boleh memberi impak yang signifikan terhadap bahan pam. Minyak dan penyegel boleh teroksida, terurai atau terdegradasi. Pemilihan bahan minyak dan penutup yang tepat adalah sangat penting untuk penggunaan pam yang berjaya.

Sputtering magnetron dengan plasma bercahaya ungu dalam tiub kaca vakum

Jenis pam manakah yang sesuai untuk rawatan plasma vakum?

Pelbagai jenis pam vakum boleh digunakan. Hanya pilihan pam vakum dan sistem yang tepat memastikan pengendalian pengeluaran gas yang berbeza daripada teknologi rawatan plasma dan operasi tanpa masalah dengan waktu operasi tertinggi untuk mengoptimumkan kos pemilikan anda.

Leybold mempunyai pengalaman yang luas, dan produk kami terbukti berkesan dalam pelbagai proses rawatan plasma. Untuk setiap proses rawatan plasma, Leybold dapat menawarkan penyelesaian vakum yang sempurna untuk keperluan pelanggan.

Temui produk kami untuk rawatan plasma di bawah, atau hubungi kami untuk membincangkan projek anda.

TRIVAC B

TRIVAC B

Pam van dua peringkat yang disegel dengan minyak cemerlang dengan prestasi vakum tinggi dengan memberikan tekanan akhir yang rendah. Versi BCS-PFPE unggul untuk aplikasi plasma yang sangat reaktif.

RUVAC

RUVAC

Tiga siri berbeza WA(U), WS(U) dan WH(U) serta julat kelajuan pam yang luas dari 251 hingga 9800 m³/j. Operasi pilihan dengan penukar frekuensi membolehkan kawalan proses yang tepat. Versi WS(U)-PFPE dan WH-PFPE tersedia untuk aplikasi plasma yang sangat reaktif.

VARODRY

VARODRY

Sepenuhnya tanpa minyak, pam skru kering yang disejukkan dengan udara dengan kelajuan sedutan antara 65 hingga 200 m³/j yang membantu mengoptimumkan kos pemilikan anda. Versi VARODRY HD O2 adalah sempurna untuk rawatan plasma O2.

DURADRY

DURADRY

Pam skru kering yang disejukkan dengan air dengan kelajuan pam 160 atau 250 m³/j. Tahap bunyi terbaik dalam kelasnya, reka bentuk kompak dan tertutup hermetik. Pengurusan haba yang stabil membolehkan pengendalian Argon dan gas ringan yang cemerlang. Ketahanan tertinggi untuk menyokong hampir semua proses rawatan plasma.

DRYVAC

DRYVAC

Reka bentuk yang padat, kedap hermetik dan terbukti, digabungkan dengan ketahanan tertinggi dan kecekapan tenaga. Menawarkan prestasi yang boleh dipercayai dan peningkatan masa operasi untuk proses rawatan plasma, kelajuan sedutan dari 200 hingga 800 m³/j.

TRIVAC B

Pam van dua peringkat yang disegel dengan minyak cemerlang dengan prestasi vakum tinggi dengan memberikan tekanan akhir yang rendah. Versi BCS-PFPE unggul untuk aplikasi plasma yang sangat reaktif.

RUVAC

Tiga siri berbeza WA(U), WS(U) dan WH(U) serta julat kelajuan pam yang luas dari 251 hingga 9800 m³/j. Operasi pilihan dengan penukar frekuensi membolehkan kawalan proses yang tepat. Versi WS(U)-PFPE dan WH-PFPE tersedia untuk aplikasi plasma yang sangat reaktif.

VARODRY

Sepenuhnya tanpa minyak, pam skru kering yang disejukkan dengan udara dengan kelajuan sedutan antara 65 hingga 200 m³/j yang membantu mengoptimumkan kos pemilikan anda. Versi VARODRY HD O2 adalah sempurna untuk rawatan plasma O2.

DURADRY

Pam skru kering yang disejukkan dengan air dengan kelajuan pam 160 atau 250 m³/j. Tahap bunyi terbaik dalam kelasnya, reka bentuk kompak dan tertutup hermetik. Pengurusan haba yang stabil membolehkan pengendalian Argon dan gas ringan yang cemerlang. Ketahanan tertinggi untuk menyokong hampir semua proses rawatan plasma.

DRYVAC

Reka bentuk yang padat, kedap hermetik dan terbukti, digabungkan dengan ketahanan tertinggi dan kecekapan tenaga. Menawarkan prestasi yang boleh dipercayai dan peningkatan masa operasi untuk proses rawatan plasma, kelajuan sedutan dari 200 hingga 800 m³/j.