IONIVAC banner

IONIVAC Katoda panas Bayard Alpert

Mengapa IONIVAC?

Seri pengukur IONIVAC kami, sama ada pasif (IE) atau aktif (ITR) menawarkan kemampuan untuk mengukur dalam vakum ultra tinggi. Ini membolehkan penjejakan terperinci terhadap eksperimen, dan kawalan terhadap pembolehubah dalam proses. 

Pengukur katod panas IONIVAC berfungsi dengan membenarkan katod panas memancarkan elektron yang mengenai anoda. Gas yang diukur dengan itu diionkan. Arus ion positif yang terhasil dikesan melalui elektrod ketiga dan arus ini digunakan sebagai isyarat yang sebanding dengan tekanan. 

Sensor ionisasi katod panas menawarkan julat pengukuran yang luas dari 10-12 hingga 10-1 mbar (0.75·10-10 hingga 0.75·10-1 Torr) bergantung kepada jenis teknologi katod panas yang digunakan.

IONIVAC ITR 90/200 siri

IONIVAC ITR 90/200 siri

Pemancar kombinasi yang dioptimumkan

IONIVAC ITR adalah pemancar kombinasi yang dioptimumkan. Gabungan sensor ionisasi katod panas (menggunakan kaedah ionisasi katod panas Bayard Alpert) dan sensor Pirani membolehkan pengukuran tekanan vakum dari 5 . 10-10 hingga 1000 mbar (3,75 . 10-10 hingga 750 torr). 

Dua varian utama tersedia:

  • ITR 90 dengan filamen katod panas tunggal
  • ITR 200 dengan dua filamen untuk meningkatkan jangka hayat melalui redundansi terbina dalam. Ia akan secara automatik menukar filamen sekiranya berlaku kegagalan dan menunjukkan bahawa satu filamen telah gagal. Untuk meningkatkan lagi hayat gauge, adalah mungkin untuk menjalankan program degas yang dapat menghidupkan semula prestasi filamen. 
  • Pengukuran tekanan berterusan dari 1 . 10-10 mbar/torr hingga tekanan atmosfera  
  • Reka bentuk padat dengan katod boleh tukar dan mod degas 
  • Sensor boleh dibakar untuk membolehkan pengukuran UHV 
  • Antara muka analog, paparan, digital, dan profibus tersedia untuk pemasangan yang mudah. 
  • Ulangan yang tinggi dalam julat tekanan proses tipikal 10-2 hingga 10-9 mbar  
  • Pengukuran tekanan UHV yang tepat dengan pengukuran pasif, membolehkan pengukuran sehingga 10-12 mbar/torr  
IONIVAC banner
IONIVAC IE 414/IE 514 siri

IONIVAC IE 414/IE 514 siri

Puncak julat untuk pengukuran UHV

Pengukur siri IONIVAC IE kami adalah "Rolls Royce" dalam pengukuran vakum ultra tinggi, dengan bacaan tekanan asas yang sangat rendah dan tahap ketepatan yang tinggi. 

Bekerja secara serentak dengan pengawal pengukur pasif kami, ini digunakan dalam persekitaran yang memerlukan bacaan tekanan terperinci pada tahap terendah. 

Sensor IONIVAC IE pasif menggunakan teknologi ionisasi katod panas untuk mengukur pada tekanan terendah. 

  • IE 414 menggunakan teknologi Bayard Alpert dan boleh mengukur dari 2 . 10-11 hingga e-2 mbar (1.5e-11 hingga e-2 torr). 
  • Untuk mencapai tekanan terendah, anda perlu mengurangkan kesan X-Ray. Ini dilakukan pada pengukur siri IE 514 kami, dengan menggunakan kaedah pengekstrakan ionisasi katod panas. Dengan teknologi sensor ini, anda boleh membaca dari 2e-12 hingga 1e-4 mbar (2e-12 hingga 7.5e-5 torr).
IONIVAC sensor

IONIVAC ITR 90/200 siri

Pemancar kombinasi yang dioptimumkan

IONIVAC ITR adalah pemancar kombinasi yang dioptimumkan. Gabungan sensor ionisasi katod panas (menggunakan kaedah ionisasi katod panas Bayard Alpert) dan sensor Pirani membolehkan pengukuran tekanan vakum dari 5 . 10-10 hingga 1000 mbar (3,75 . 10-10 hingga 750 torr). 

Dua varian utama tersedia:

  • ITR 90 dengan filamen katod panas tunggal
  • ITR 200 dengan dua filamen untuk meningkatkan jangka hayat melalui redundansi terbina dalam. Ia akan secara automatik menukar filamen sekiranya berlaku kegagalan dan menunjukkan bahawa satu filamen telah gagal. Untuk meningkatkan lagi hayat gauge, adalah mungkin untuk menjalankan program degas yang dapat menghidupkan semula prestasi filamen. 
  • Pengukuran tekanan berterusan dari 1 . 10-10 mbar/torr hingga tekanan atmosfera  
  • Reka bentuk padat dengan katod boleh tukar dan mod degas 
  • Sensor boleh dibakar untuk membolehkan pengukuran UHV 
  • Antara muka analog, paparan, digital, dan profibus tersedia untuk pemasangan yang mudah. 
  • Ulangan yang tinggi dalam julat tekanan proses tipikal 10-2 hingga 10-9 mbar  
  • Pengukuran tekanan UHV yang tepat dengan pengukuran pasif, membolehkan pengukuran sehingga 10-12 mbar/torr  
IONIVAC banner

IONIVAC IE 414/IE 514 siri

Puncak julat untuk pengukuran UHV

Pengukur siri IONIVAC IE kami adalah "Rolls Royce" dalam pengukuran vakum ultra tinggi, dengan bacaan tekanan asas yang sangat rendah dan tahap ketepatan yang tinggi. 

Bekerja secara serentak dengan pengawal pengukur pasif kami, ini digunakan dalam persekitaran yang memerlukan bacaan tekanan terperinci pada tahap terendah. 

Sensor IONIVAC IE pasif menggunakan teknologi ionisasi katod panas untuk mengukur pada tekanan terendah. 

  • IE 414 menggunakan teknologi Bayard Alpert dan boleh mengukur dari 2 . 10-11 hingga e-2 mbar (1.5e-11 hingga e-2 torr). 
  • Untuk mencapai tekanan terendah, anda perlu mengurangkan kesan X-Ray. Ini dilakukan pada pengukur siri IE 514 kami, dengan menggunakan kaedah pengekstrakan ionisasi katod panas. Dengan teknologi sensor ini, anda boleh membaca dari 2e-12 hingga 1e-4 mbar (2e-12 hingga 7.5e-5 torr).
IONIVAC sensor