Kesukaran tertentu dihadapi ketika mentafsir spektrum campuran gas yang tidak dikenali. Propor­si ion aliran dari pelbagai sumber hanya boleh diimbangi antara satu sama lain setelah semua sumber telah dikenalpasti. Dalam banyak aplikasi dalam teknologi vakum, seseorang akan berurusan dengan campuran beberapa gas sederhana yang dikenali, dengan nombor atom kurang daripada 50 (di mana gas yang berkaitan dengan proses boleh menjadi pengecualian). Dalam kes yang lebih rumit yang biasa, akan terdapat spektrum dengan pelbagai superimposisi dalam campuran yang sama sekali tidak diketahui daripada banyak komponen gas; di sini analisis kualitatif perlu dilakukan sebelum mencuba analisis kuantitatif. Tahap kesukaran yang dihadapi akan bergantung kepada bilangan lapisan (individu/sebilangan/banyak). 

Dalam kes superimposisi individu, pengimbangan aliran ion secara bersama semasa pengukuran jenis gas yang sama untuk beberapa nombor atom sering kali dapat memberikan hasil yang produktif. 

Di mana terdapat bilangan superimposisi yang lebih besar dan bilangan gas yang terhad secara keseluruhan, penilaian tabular menggunakan faktor pembetulan berbanding spektrum gas kalibrasi dengan komposisi yang diketahui sering kali boleh membantu. 

Dalam kes yang paling umum, pelbagai gas akan memberikan sumbangan yang lebih besar atau lebih kecil kepada aliran ion untuk semua jisim. Bahagian gas g dalam setiap kes untuk nombor atom m akan dinyatakan oleh faktor fragmen F_fm,g. Untuk memudahkan pengiraan, faktor fragmen F_fm,g juga akan mengandungi faktor penghantaran TF dan faktor pengesanan DF. Maka arus ion kepada jisim m, sebagai fungsi daripada keseluruhan arus ion semua gas yang terlibat, dalam notasi matriks, adalah:

Vektor arus ion untuk nombor atom m (yang dihasilkan daripada sumbangan oleh serpihan gas individu) adalah sama dengan matriks serpihan didarab dengan vektor jumlah aliran untuk gas individu. 

(dalam notasi dipermudahkan: i = FF · I) 

di mana i_m⁺ = vektor aliran ion untuk nombor atom, yang dihasilkan daripada sumbangan serpihan pelbagai gas individu 

Seseorang melihat bahawa aliran ion yang disebabkan oleh gas adalah berkadar dengan tekanan separa. Sistem persamaan linear hanya boleh diselesaikan untuk kes khas di mana m = g (matriks segi empat tepat); ia berlebihan dikenalpasti untuk m > g. Disebabkan oleh ralat pengukuran yang tidak dapat dielakkan (bunyi, dll.) tiada set aliran ion keseluruhan I⁺_g (tekanan separa atau kepekatan) yang memenuhi sistem persamaan dengan tepat. Antara semua penyelesaian yang boleh dibayangkan, kini perlu untuk mengenal pasti set I^+*_g yang selepas pengiraan terbalik kepada aliran ion separa I⁺*m akan menunjukkan deviasi kuadrat terkecil dari arus ion separa i+m yang sebenarnya diukur. Oleh itu: 

Masalah minimisasi ini secara matematik adalah sama dengan penyelesaian sistem persamaan yang lain. 

yang boleh dinilai secara langsung oleh komputer. Vektor arus ion untuk gas-gas individu adalah seperti berikut: