Beberapa proses, seperti proses sputter reaktif, memerlukan kadar kejadian gas reaksi yang paling konsisten mungkin pada substrat yang sedang dilapisi. 

"Kadar kejadian" adalah sama dengan "kadar impingement" yang dibincangkan dalam halaman mengenai Pengeluaran Gas; ia secara langsung berkadar dengan tekanan separa. Usaha paling mudah untuk mengekalkan tekanan separa bagi komponen gas yang tetap adalah melalui pengawalan aliran dengan pengawal aliran; ia mempunyai kelemahan bahawa pengawal tidak dapat menentukan sama ada, bila dan di mana penggunaan gas atau komposisi gas dalam ruang vakum berubah. Pilihan yang jauh lebih unggul dan berkesan adalah kawalan tekanan separa menggunakan spektrum jisim melalui injap masuk gas valve. Di sini, puncak-puncak signifikan gas yang dipertimbangkan diberikan kepada saluran dalam spektrum jisim. Pengawal yang sesuai membandingkan isyarat output analog untuk saluran-saluran ini dengan nilai titik tetapan dan memperoleh daripada perbezaan antara nilai sasaran dan nilai sebenar untuk setiap saluran isyarat penggerak yang sesuai untuk injap masuk gas bagi saluran tersebut. Konfigurasi seumpama ini telah direalisasikan untuk mengawal enam saluran dalam QUADREX PPC. Injap masuk gas yang sepadan dengan unit juga boleh dihantar. 

Gas yang digunakan untuk mengukur kadar impak (tekanan separa) mesti diambil secara semula jadi dari titik yang mewakili dalam ruang vakum. Apabila menilai pemalar masa untuk litar pengawalan jenis ini, adalah penting untuk mengambil kira semua aspek masa dan bukan hanya penyebaran isyarat elektrik dan pemprosesan dalam spektrometer jisim, tetapi juga pemalar masa teknologi vakum dan aliran kelajuan, seperti yang ditunjukkan dalam Rajah 4,17. Penukar tekanan atau saluran masuk gas yang dipasang dengan tidak baik yang menyambungkan injap kawalan dan bekas vakum akan memberikan sumbangan yang sangat besar kepada pemalar masa keseluruhan. Secara amnya, adalah lebih baik untuk menetapkan nisbah S/N yang menguntungkan dengan isyarat yang besar (iaitu melalui diafragma inlet dengan bukaan yang besar) daripada dengan tempoh pengintegrasian yang panjang pada saluran individu. Dibandingkan dalam Rajah 4,18 adalah kesan peningkatan tekanan dan pemanjangan masa integrasi terhadap kebolehdapatan isyarat. Dalam gambaran a, b dan c, hanya tempoh pengintegrasian yang dinaikkan, dari 0,1 kepada 1,0 dan 10 saat (dengan itu, dengan faktor keseluruhan sebanyak 100), masing-masing. Sebagai perbandingan, dalam urutan a-d-e-f, pada masa integrasi yang tetap, tekanan total dinaikkan dalam tiga langkah, dari 7,2 · 10^-6 mbar kepada 7,2 · 10^-5 mbar (atau dengan faktor hanya 10 secara keseluruhan). 

Hayat perkhidmatan katod

Jangka hayat katod akan sangat bergantung kepada sifat beban. Pengalaman telah menunjukkan bahawa hasil darab tempoh operasi dengan tekanan operasi boleh berfungsi sebagai ukuran untuk beban. Tekanan operasi yang lebih tinggi (dalam julat 1 · 10^-4 hingga 1 · 10^-3 mbar) mempunyai kesan yang sangat merugikan terhadap jangka hayat perkhidmatan, begitu juga dengan pengaruh kimia tertentu seperti bahan pendingin, contohnya. Mengganti katod adalah sangat mudah, terima kasih kepada reka bentuk sensor yang sederhana. Namun, adalah disarankan untuk mengambil kesempatan ini untuk menukar atau sekurang-kurangnya membersihkan keseluruhan sumber ion. 

Penyelarasan sensor

Pengimbangan sensor pada paksi jisim (sering kali salah dirujuk sebagai kalibrasi) dilakukan hari ini dengan cara yang sangat mudah menggunakan perisian (contohnya SQX, Transpector-Ware) dan boleh diperhatikan secara langsung di skrin. Sudah tentu, bukan sahaja susunan sepanjang paksi jisim yang akan ditentukan di sini, tetapi juga bentuk garis, iaitu resolusi dan sensitiviti (lihat halaman mengenai Spesifikasi dalam spektrometri jisim).

Membersihkan sumber ion dan sistem rod

Ia hanya perlu membersihkan sensor dalam kes-kes luar biasa di mana ia sangat kotor. Biasanya, membersihkan sumber ion sudah cukup, yang boleh dengan mudah dibongkar dan dibersihkan. Sistem rod boleh dibersihkan dalam mandian ultrasonik setelah ia dikeluarkan dari konfigurasi. Jika membongkar sistem tidak dapat dielakkan disebabkan oleh kotoran yang sangat degil, maka pelarasan batang yang diperlukan selepas itu perlu dilakukan di kilang.