Giới hạn phát hiện của máy dò rò rỉ với máy đo quang phổ khối lượng là gì

Tỷ lệ rò rỉ nhỏ nhất có thể phát hiện được quy định bởi mức nền tự nhiên cho khí kiểm tra được phát hiện.

Ngay cả khi cổng nạp tại bộ phát hiện rò rỉ bị đóng, khí kiểm tra sẽ đi vào máy đo quang phổ khối lượng và sẽ được phát hiện ở đó nếu các phương tiện điện tử đủ để thực hiện việc này.

Tín hiệu nền được tạo ra trong máy đo quang phổ khối lượng xác định mức phát hiện của máy dò rò rỉ.

Hệ thống bơm chân không cao được sử dụng để hút chân không máy đo quang phổ khối thường sẽ bao gồm một bơm phân tử turbo và một bơm cánh quạt xoay bịt kín dầu. Giống như mọi chất lỏng, dầu trong bơm cánh quạt xoay có khả năng hòa tan khí cho đến khi đạt được sự cân bằng giữa khí hòa tan trong dầu và khí bên ngoài dầu.

Khi bơm ấm lên, trạng thái cân bằng này đại diện cho giới hạn phát hiện của bộ phát hiện rò rỉ.

Tuy nhiên, khí kiểm tra có thể đi vào bộ phát hiện rò rỉ không chỉ qua cổng nạp. Việc lắp đặt không đúng cách hoặc xử lý khí kiểm tra không đúng cách có thể cho phép khí kiểm tra xâm nhập vào bên trong bộ phát hiện rò rỉ thông qua van thông khí và/hoặc van ổn định khí.

Điều này không thể tránh khỏi dẫn đến nồng độ khí kiểm tra cao hơn trong dầu và gioăng đàn hồi và do đó làm tăng tín hiệu nền.

Kết luận: Có càng nhiều khí kiểm tra trong dầu thì tín hiệu nền của máy dò rò rỉ càng cao.

Trong trường hợp lắp đặt máy dò rò rỉ phổ biến hiện nay (xem Hình 7 bên dưới), van xả khí và van thông gió được kết nối với khí sạch. Cổng ra của bộ phát hiện rò rỉ - nếu có thể - nên được đặt bên ngoài phòng nơi kiểm tra rò rỉ diễn ra. Có thể giảm tín hiệu nền tăng lên

một lần nữa bằng cách mở van xả khí và đưa vào khí không có khí kiểm tra (ví dụ: không khí sạch). Về cơ bản, khí heli được lưu trữ trong dầu sẽ được xả ra. Vì hiệu ứng luôn chỉ ảnh hưởng đến phần dầu có trong thân bơm, nên quy trình xả sẽ phải tiếp tục cho đến khi toàn bộ nguồn cấp dầu của bơm được tuần hoàn vài lần. Khoảng thời gian này thường là 20 đến 30 phút.

Trong trường hợp "bộ phát hiện rò rỉ khô", là các bộ phát hiện rò rỉ không có bơm chân không kín dầu, vấn đề lưu trữ khí trong dầu không tồn tại. Tuy nhiên, máy dò rò rỉ khô vẫn phải được xả bằng khí không chứa khí kiểm tra vì theo thời gian, khí kiểm tra cũng sẽ tích tụ trong các thiết bị này.

Để tiết kiệm cho người dùng những rắc rối liên quan đến việc phải luôn theo dõi mức nền và đơn giản hóa hoạt động của máy phát hiện rò rỉ, cái gọi là ức chế điểm không nổi đã được tích hợp vào các khái niệm vận hành tự động của tất cả các máy phát hiện rò rỉ của Leybold. Tại đây, chúng ta

mức nền đo được sau khi van nạp đã đóng được lưu trữ và sau đó tự động khấu trừ từ các phép đo tiếp theo khi van mở lại. Chỉ ở mức ngưỡng tương đối cao, bảng hiển thị sẽ hiển thị cảnh báo tương ứng.

Độc lập với việc ngăn chặn điểm không nổi, máy dò rò rỉ của Leybold cung cấp khả năng di chuyển điểm không thủ công. Ở đây, màn hình của bộ phát hiện rò rỉ tại thời điểm cụ thể sẽ được đặt lại về 0 để chỉ hiển thị sự gia tăng tỷ lệ rò rỉ từ thời điểm đó. Điều này chỉ nhằm tạo điều kiện cho việc đánh giá màn hình hiển thị, nhưng tất nhiên không thể ảnh hưởng đến độ chính xác của màn hình.

Phía trên được cung cấp để minh họa việc ức chế điểm không:

• Biểu đồ bên trái: Tín hiệu lớn hơn rõ ràng so với nền.
• Biểu đồ trung tâm: Nền đã tăng đáng kể; tín hiệu khó có thể nhận biết.
• Biểu đồ bên phải: Nền được ức chế bằng điện; tín hiệu có thể được xác định rõ ràng.