IONIVAC Cathode nóng Bayard Alpert
Tại sao IONIVAC?
Dòng máy đo IONIVAC của chúng tôi, cho dù là thụ động (IE) hay chủ động (ITR), cung cấp khả năng đo trong chân không siêu cao. Điều này cho phép theo dõi chi tiết các thí nghiệm và kiểm soát các biến trong quy trình.
Máy đo catot nóng IONIVAC hoạt động bằng cách có một catot nóng phát ra các electron va chạm với một cực dương. Do đó, khí đo được ion hóa. Dòng điện ion dương thu được được phát hiện thông qua điện cực thứ ba và dòng điện này được sử dụng làm tín hiệu tỷ lệ với áp suất.
Cảm biến ion hóa catot nóng cung cấp phạm vi đo rộng từ 10 -12 đến 10 -1 mbar (0,75·10 -10 đến 0,75·10 -1 Torr) tùy thuộc vào loại công nghệ catot nóng được sử dụng.
- Sê-ri IONIVAC ITR 90/200
- Dòng IONIVAC IE 414/IE 514
Sê-ri IONIVAC ITR 90/200
Sê-ri IONIVAC ITR 90/200
Bộ hiển thị kết hợp được tối ưu hóa
IONIVAC ITR là máy phát kết hợp được tối ưu hóa. Sự kết hợp của cảm biến ion hóa catốt nóng (sử dụng phương pháp Bayard Alpert của ion hóa catốt nóng) và cảm biến Pirani cho phép đo áp suất chân không từ 5. 10 -10 đến 1000 mbar (3,75. 10 -10 đến 750 torr).
Có hai biến thể chính:
- ITR 90 với sợi catốt nóng đơn
- ITR 200 với sợi kép để tăng tuổi thọ thông qua tính năng dự phòng tích hợp. Nó sẽ tự động chuyển đổi dây tóc trong trường hợp hỏng và chỉ ra rằng một dây tóc bị hỏng. Để tăng thêm tuổi thọ của máy đo, có thể chạy một chương trình khử khí có thể làm sống lại hiệu suất của sợi.
- Đo áp suất liên tục từ 1, 10 -10 mbar/torr đến áp suất khí quyển
- Thiết kế nhỏ gọn với catot hoán đổi được và chế độ khử khí
- Cảm biến có thể nung để cho phép đo UHV
- Giao diện analog, hiển thị, kỹ thuật số và profibus có sẵn để lắp đặt đơn giản
- Độ lặp lại cao trong phạm vi áp suất quy trình điển hình từ 10 -2 đến 10 -9 mbar
- Đo áp suất UHV chính xác với máy đo thụ động, cho phép đo xuống đến 10 -12 mbar/torr
Dòng IONIVAC IE 414/IE 514
Dòng IONIVAC IE 414/IE 514
Phạm vi đo UHV cao nhất
Dòng máy đo IONIVAC IE của chúng tôi là "Rolls Royce" của phép đo chân không siêu cao, với chỉ số áp suất cơ bản siêu thấp và độ chính xác cao.
Làm việc song song với bộ điều khiển đồng hồ đo thụ động của chúng tôi, chúng được sử dụng trong các môi trường đòi hỏi chỉ số áp suất chi tiết ở mức thấp nhất.
Cảm biến IONIVAC IE thụ động sử dụng công nghệ ion hóa catốt nóng để đo ở áp suất thấp nhất.
- IE 414 sử dụng công nghệ Bayard Alpert và có thể đo từ 2. 10-11 đến e-2 mbar (1,5e-11 đến e-2 torr).
- Để đạt được áp suất thấp nhất, bạn cần giảm ảnh hưởng của tia X. Điều này được thực hiện trên máy đo sê-ri IE 514 của chúng tôi, bằng cách sử dụng phương pháp chiết xuất ion hóa catốt nóng. Với công nghệ cảm biến này, bạn có thể đọc từ 2e-12 đến 1e-4 mbar (2e-12 đến 7,5e-5torr).
Sê-ri IONIVAC ITR 90/200
Bộ hiển thị kết hợp được tối ưu hóa
IONIVAC ITR là máy phát kết hợp được tối ưu hóa. Sự kết hợp của cảm biến ion hóa catốt nóng (sử dụng phương pháp Bayard Alpert của ion hóa catốt nóng) và cảm biến Pirani cho phép đo áp suất chân không từ 5. 10 -10 đến 1000 mbar (3,75. 10 -10 đến 750 torr).
Có hai biến thể chính:
- ITR 90 với sợi catốt nóng đơn
- ITR 200 với sợi kép để tăng tuổi thọ thông qua tính năng dự phòng tích hợp. Nó sẽ tự động chuyển đổi dây tóc trong trường hợp hỏng và chỉ ra rằng một dây tóc bị hỏng. Để tăng thêm tuổi thọ của máy đo, có thể chạy một chương trình khử khí có thể làm sống lại hiệu suất của sợi.
- Đo áp suất liên tục từ 1, 10 -10 mbar/torr đến áp suất khí quyển
- Thiết kế nhỏ gọn với catot hoán đổi được và chế độ khử khí
- Cảm biến có thể nung để cho phép đo UHV
- Giao diện analog, hiển thị, kỹ thuật số và profibus có sẵn để lắp đặt đơn giản
- Độ lặp lại cao trong phạm vi áp suất quy trình điển hình từ 10 -2 đến 10 -9 mbar
- Đo áp suất UHV chính xác với máy đo thụ động, cho phép đo xuống đến 10 -12 mbar/torr
Dòng IONIVAC IE 414/IE 514
Phạm vi đo UHV cao nhất
Dòng máy đo IONIVAC IE của chúng tôi là "Rolls Royce" của phép đo chân không siêu cao, với chỉ số áp suất cơ bản siêu thấp và độ chính xác cao.
Làm việc song song với bộ điều khiển đồng hồ đo thụ động của chúng tôi, chúng được sử dụng trong các môi trường đòi hỏi chỉ số áp suất chi tiết ở mức thấp nhất.
Cảm biến IONIVAC IE thụ động sử dụng công nghệ ion hóa catốt nóng để đo ở áp suất thấp nhất.
- IE 414 sử dụng công nghệ Bayard Alpert và có thể đo từ 2. 10-11 đến e-2 mbar (1,5e-11 đến e-2 torr).
- Để đạt được áp suất thấp nhất, bạn cần giảm ảnh hưởng của tia X. Điều này được thực hiện trên máy đo sê-ri IE 514 của chúng tôi, bằng cách sử dụng phương pháp chiết xuất ion hóa catốt nóng. Với công nghệ cảm biến này, bạn có thể đọc từ 2e-12 đến 1e-4 mbar (2e-12 đến 7,5e-5torr).