Hệ thống chân không kín dầu
Hệ thống bơm chân không sơ bộ bịt kín dầu
Hệ thống bơm kín dầu 2 đến 3 giai đoạn được trang bị SOGEVAC và TRIVAC làm bơm sơ cấp kết hợp với bơm RUVAC WA(U), WS(U), WH(U) và RA.
Trong sắp xếp dòng chảy đơn, tốc độ hút từ 250 đến 16.000 m³/h là có thể. Có thể đạt được tốc độ hút cao hơn bằng cách thêm hệ thống bơm song song. Áp suất làm việc có thể đạt được phụ thuộc vào số lượng giai đoạn bơm và hệ thống bơm song song!