Đo & kiểm soát chân không Đồng hồ đo, Máy phân tích khí dư, Bộ điều khiển bơm

Đồng hồ đo chân không được sử dụng để đo áp suất trong phạm vi rộng.

Chúng đo từ áp suất khí quyển (~ 2000 mbar (1500 Torr)) xuống 10-12 mbar/torr. Không có công nghệ cảm biến nào có khả năng đo trên phạm vi này.

Có sẵn nhiều loại máy đo chân không khác nhau, mỗi loại có đặc điểm riêng và khả năng đo chân không trong nhiều thập kỷ.

Để mở rộng phạm vi đo, thường kết hợp nhiều công nghệ thành một máy đo duy nhất để giảm các kết nối cần thiết trong một hệ thống.  

Một cách chính để phân biệt các loại máy đo chân không là cách chúng đo khí: đo áp suất trực tiếp hoặc gián tiếp.

• Trong trường hợp đo áp suất trực tiếp (hoặc độc lập với khí), các chỉ số thu được thông qua máy đo chân không không phụ thuộc vào loại khí và áp suất được cung cấp luôn là áp suất thực tế của hệ thống. Thông thường dựa vào độ lệch cơ học của màng, chúng có khả năng đo từ áp suất khí quyển trên xuống 10 ^-4 mbar/torr. Những loại máy đo này sẽ cung cấp cho bạn độ chính xác cao trong phạm vi ngắn và thường rất mạnh mẽ. 
  
• Trong trường hợp đo áp suất gián tiếp, áp suất được xác định như một chức năng của một đặc tính phụ thuộc vào áp suất của khí (ví dụ: độ dẫn nhiệt, khả năng ion hóa). Những đặc tính này không chỉ phụ thuộc vào áp suất mà còn phụ thuộc vào khối lượng mol của khí. Do đó, chúng còn được gọi là phụ thuộc vào khí. Các chỉ số thường liên quan đến không khí hoặc nitơ làm khí đo. Để đo hơi hoặc khí khác, phải áp dụng các hệ số hiệu chỉnh tương ứng cho áp suất thực tế của hệ thống. Các máy đo này có khả năng đo áp suất trên phạm vi rộng hơn nhiều (áp suất khí quyển đến 10 x 10 ^-12 mbar tùy thuộc vào loại/kết hợp), với sự đánh đổi là mức độ chính xác thấp hơn. 

Một điểm quyết định phổ biến khác về máy đo chân không là chủ động hoặc thụ động, với tùy chọn này có sẵn trong các máy đo chân không phạm vi rộng của chúng tôi.

• Đo chủ động là nơi đầu đo (đầu cảm biến) được kết hợp với thiết bị điện tử cần thiết để kiểm soát và đầu ra tín hiệu, cho phép tích hợp dễ dàng vào hệ thống. 
• Đo thụ động là nơi đầu dò được tách riêng khỏi thiết bị điện tử, sau đó được giữ riêng trong bộ điều khiển chuyên dụng. Ưu điểm của điều này là chúng có thể được sử dụng trong môi trường mà các thiết bị điện tử sẽ không thể hoạt động, chẳng hạn như môi trường bức xạ cao, và bộ điều khiển riêng biệt có thể được loại bỏ khỏi môi trường đó.