Bơm chân không và giải pháp cho công nghệ xử lý plasma

Xử lý plasma chân không là gì?

Xử lý plasma là một công nghệ linh hoạt được sử dụng rộng rãi trong các ngành công nghiệp khác nhau, bao gồm điện tử, sản xuất chất bán dẫn, ô tô, y tế, v.v. Khí quy trình điển hình là Oxy, Argon hoặc CF₄. Những khí này được ion hóa bằng một trường điện trong chân không để tạo thành một huyết tương được sử dụng để phủ, làm sạch, kích hoạt hoặc khắc bề mặt để thay đổi độ sạch, độ bám dính hoặc chức năng của bề mặt.

Chân không đóng một vai trò quan trọng trong các hệ thống xử lý plasma để tạo ra và duy trì hiệu quả các điều kiện plasma.

Phản ứng quy trình hiệu quả: Các ion phản ứng được tạo ra trong plasma dưới chân không có thể khuếch tán đến bề mặt hiệu quả hơn để sửa đổi bề mặt, làm sạch, kích hoạt hoặc khắc.
Xử lý bề mặt đồng nhất: Chân không có thể đảm bảo môi trường không nhiễm bẩn để bảo vệ huyết tương đồng nhất để kiểm soát chính xác sự biến đổi bề mặt.

Làm thế nào để xử lý plasma thách thức hệ thống chân không của bạn

Thách thức chính đối với bơm chân không hoặc hệ thống bơm là các ion hoạt tính (ví dụ: ion oxy hoặc ion fluorine) được hút ra trong quá trình xử lý và có thể xâm nhập vào bơm. Những ion này có tính phản ứng cao và độc hại với môi trường và sức khỏe con người.

Ion oxy và ion fluorine có thể có tác động đáng kể đến vật liệu của bơm. Dầu và gioăng có thể bị oxy hóa, phân hủy hoặc phân hủy. Do đó, việc lựa chọn đúng chất liệu dầu và gioăng là điều rất quan trọng để sử dụng bơm thành công.

Phún xạ magnetron bằng plasma tím trong ống thủy tinh chân không

Loại bơm nào phù hợp để xử lý plasma chân không?

Có thể sử dụng các loại bơm chân không khác nhau. Chỉ có lựa chọn đúng bơm chân không và hệ thống mới đảm bảo xử lý các khí thải khác nhau của công nghệ xử lý plasma và hoạt động không gặp sự cố với thời gian hoạt động cao nhất để tối ưu hóa chi phí sở hữu của bạn.

Leybold có nhiều kinh nghiệm và các sản phẩm của chúng tôi đã được chứng minh trong các quy trình xử lý plasma khác nhau. Đối với mỗi quy trình xử lý plasma, Leybold có thể cung cấp giải pháp chân không hoàn hảo cho yêu cầu của khách hàng.

Khám phá các sản phẩm của chúng tôi để xử lý huyết tương dưới đây, hoặc liên hệ với chúng tôi để thảo luận về dự án của bạn.

TRIVAC B
RUVAC
VARODRY
DURADRY
DRYVAC

TRIVAC B

Bơm cánh quạt hai tầng bịt kín bằng dầu vượt trội với hiệu suất chân không cao bằng cách cung cấp áp suất cuối thấp. Phiên bản BCS-PFPE xuất sắc cho các ứng dụng plasma phản ứng cao.

TRIVAC B

RUVAC

Ba dòng WA(U), WS(U) và WH(U) khác nhau và phạm vi tốc độ bơm rộng từ 251 đến 9800 m³/h. Hoạt động tùy chọn với bộ biến tần cho phép kiểm soát quy trình chính xác. Phiên bản WS(U)-PFPE và WH-PFPE có sẵn cho các ứng dụng plasma phản ứng cao

RUVAC

VARODRY

Bơm trục vít khô, làm mát bằng khí, hoàn toàn không dầu với tốc độ hút từ 65 đến 200 m³/h giúp tối ưu hóa chi phí sở hữu. Phiên bản VARODRY HD O₂hoàn hảo để xử lý huyết tương O₂.

VARODRY

DURADRY

Bơm trục vít khô làm mát bằng nước với tốc độ bơm 160 hoặc 250 m³/h. Mức độ tiếng ồn tốt nhất trong phân khúc, thiết kế nhỏ gọn và được hàn kín. Quản lý nhiệt ổn định cho phép xử lý khí Argon và khí nhẹ tuyệt vời. Độ bền cao nhất để hỗ trợ hầu hết các quy trình xử lý plasma.

DURADRY

DRYVAC

Thiết kế nhỏ gọn, được hàn kín và đã được chứng minh, kết hợp với độ bền và hiệu quả năng lượng cao nhất. Cung cấp hiệu suất đáng tin cậy và tăng thời gian hoạt động cho các quy trình xử lý plasma, tốc độ hút từ 200 đến 800 m³/h.

DRYVAC