Pam vakum diafragma adalah pam pengusiran osilasi. Mereka tergolong dalam keluarga pam vakum pemindahan gas. Julat yang mereka sediakan bermakna bahawa ia tergolong dalam kategori vakum kasar. Mereka penting di makmal di mana tekanan hanya beberapa mbar diperlukan. Ini membawa kepada penggunaannya di makmal kimia untuk proses farmaseutikal atau perubatan, antara aplikasi lain. 

Pam vakum diafragma adalah pam vakum pemampatan kering satu atau pelbagai peringkat (pam diafragma yang mempunyai sehingga empat peringkat sedang dihasilkan). Di sini, lilitan diafragma ditarik antara kepala pam dan dinding casing (Rajah. 2,1). Ia bergerak dengan cara bergetar melalui rod penghubung dan eksentrik. Ruang pam atau ruang pemampatan, yang volumenya meningkat dan menurun secara berkala, mempengaruhi tindakan pam. Kepala injap disusun sedemikian rupa sehingga semasa fasa di mana isipadu ruang pam meningkat, ia terbuka kepada saluran pengambilan. Semasa pemampatan, ruang pam dihubungkan dengan saluran ekzos. Diafragma menyediakan penutup hermetik antara ruang gear dan ruang pam supaya ia kekal bebas daripada minyak dan pelincir (pam vakum mampatan kering). Diafragma dan injap adalah satu-satunya komponen yang bersentuhan dengan medium yang akan dipam. Apabila melapisi diafragma dengan PTFE (Teflon) dan ketika menghasilkan injap masuk dan keluar dari elastomer yang sangat fluorinated seperti dalam kes DIVAC dari Leybold, adalah mungkin untuk mengepam wap dan gas yang agresif. Oleh itu, ia sangat sesuai untuk aplikasi vakum di makmal kimia.

1) Penutup casing 2) Injap 3) penutup 4) Disk diafragma 5) Diafragma 6) Disk sokongan diafragma 7) Rod penghubung 8) Disk eksentrik

Baru-baru ini, pam diafragma telah menjadi semakin penting, terutamanya atas sebab-sebab alam sekitar. Mereka adalah alternatif kepada pam vakum jet air, kerana pam diafragma tidak menghasilkan sebarang air sisa. Secara keseluruhan, pam vakum diafragma boleh menjimatkan sehingga 90% daripada kos operasi berbanding dengan pam jet air. Berbanding dengan pam sudu berputar, ruang pam pam diafragma adalah sepenuhnya bebas daripada minyak. Secara reka bentuk, tiada meterai aci yang direndam dalam minyak diperlukan. 

Disebabkan oleh kebolehan deformasi elastik diafragma yang terhad, hanya kelajuan pam yang agak rendah dapat dicapai. Dalam prinsip pam ini, satu volume kekal di pusat mati atas - yang dipanggil "ruang mati" - dari mana gas-gas tidak dapat dipindahkan ke saluran ekzos. Kuantiti gas yang tinggal pada tekanan ekzos mengembang ke dalam ruang pam yang mengembang semasa strok sedutan seterusnya, dengan itu mengisinya, supaya apabila tekanan pengambilan berkurang, kuantiti gas baru yang masuk berkurang semakin banyak. Oleh itu, kecekapan volum terus merosot kerana sebab ini. Pam vakum diafragma tidak mampu mencapai nisbah pemampatan yang lebih tinggi daripada nisbah antara "ruang mati" dan isipadu maksimum ruang pam. Dalam kes pam vakum diafragma satu peringkat, tekanan akhir yang boleh dicapai adalah sekitar 80 mbar. Pam dua peringkat seperti DIVAC dari Leybold boleh mencapai kira-kira 10 mbar (lihat Rajah. 2,2), pam tiga peringkat boleh mencapai kira-kira 2 mbar dan pam diafragma empat peringkat boleh mencapai kira-kira 5 ·10^-1 mbar. 

Pam diafragma yang menawarkan tekanan akhir yang sangat rendah seperti pam diafragma tiga kepala dan empat kepala sesuai digunakan sebagai pam sokongan untuk pam turbomolekul dengan tahap geseran molekul yang terintegrasi sepenuhnya (pam turbomolekul kompaun atau julat luas). Dengan cara ini, sistem pam yang bebas minyak sepenuhnya diperoleh, yang sangat penting untuk pengaturan pengukuran yang melibatkan sistem spektrum jisim dan pengesan kebocoran. Berbeza dengan pam sudu berputar, gabungan pam ini untuk detektor kebocoran menawarkan kelebihan kerana secara semula jadi tiada helium yang terlarut dalam pam diafragma, dengan itu sepenuhnya mengelakkan kemungkinan pembentukan latar belakang helium. Namun, vakum akhir untuk pam rotor bilah yang dimeterai minyak atau pam skrol adalah jauh lebih baik daripada pam diafragma 4 kepala.