Trong quy trình chân không, các chất có hại cho bơm xoay có thể tồn tại trong buồng chân không. Có sẵn nhiều phụ kiện khác nhau để ngăn ngừa nhiễm bẩn, như được mô tả dưới đây. Đặc biệt, việc giảm hơi nước, hơi dầu và các hạt bụi thông qua việc sử dụng các bộ lọc chuyên dụng hoặc bẫy hấp phụ được thảo luận.

Hơi nước phát sinh trong các quy trình chân không ướt. Điều này có thể khiến nước lắng đọng trong đường dẫn đầu vào. Nếu nước ngưng tụ này chạm tới cổng nạp của bơm, dầu bơm có thể bị nhiễm bẩn. Hiệu suất bơm của bơm gioăng dầu có thể bị suy giảm đáng kể theo cách này. Hơn nữa, hơi nước xả qua van xả của bơm có thể ngưng tụ trong đường xả. Nước ngưng tụ có thể chảy xuống bên trong bơm thông qua van xả nếu đường xả không được sắp xếp đúng cách. Do đó, khi có hơi nước và các hơi khác, nên sử dụng bẫy ngưng tụ. Nếu không có đường xả nào được kết nối với bơm dung môi khí (ví dụ: với bơm cánh quạt xoay nhỏ hơn), nên sử dụng bộ lọc xả. Chúng sẽ thu sương dầu thoát ra khỏi bơm. 

Một số bơm có hộp lọc dễ dàng thay thế không chỉ giữ lại sương dầu mà còn làm sạch dầu bơm tuần hoàn. Bất cứ khi nào lượng hơi nước hiện diện lớn hơn dung sai hơi nước của bơm, phải luôn lắp đặt bình ngưng giữa bình và bơm. (Để biết thêm chi tiết, xem Bộ ngưng tụ)

Các tạp chất rắn, chẳng hạn như bụi và cát, làm tăng đáng kể độ mòn trên pít-tông và bề mặt bên trong vỏ bơm. Nếu có nguy cơ các tạp chất như vậy có thể xâm nhập vào bơm, nên lắp đặt một bộ tách bụi hoặc bộ lọc bụi trong đường vào của bơm. Ngày nay, không chỉ có các bộ lọc thông thường có vỏ bọc khá lớn và lõi lọc phù hợp, mà còn có các bộ lọc lưới mịn được gắn vào vòng định tâm của mặt bích nhỏ. Nếu cần, khuyến nghị mở rộng mặt cắt ngang bằng bộ điều hợp KF. 

Áp suất cuối có thể đạt được với bơm xoay kín dầu bị ảnh hưởng mạnh bởi hơi nước và hydrocacbon từ dầu bơm. Ngay cả với bơm cánh quạt xoay hai tầng, không thể tránh được một lượng nhỏ các phân tử này chảy ngược từ bên trong bơm vào buồng chân không. Để sản xuất chân không cao và siêu cao không chứa hydrocarbon, ví dụ, với bơm phún xạ ion hoặc bơm turbo phân tử, chân không càng không dầu càng tốt cũng cần thiết ở phía chân không sơ bộ của các bơm này. Để đạt được điều này, bẫy hấp phụ chân không trung bình (xem Hình 2,40) được làm đầy bằng vật liệu hấp thụ phù hợp (ví dụ: sàng phân tử LINDE 13X) được lắp đặt trong đường vào của các bơm trước kín dầu như vậy. Chế độ hoạt động của bẫy hấp thụ tương tự như bơm hấp thụ. Để biết thêm chi tiết, xem Bơm hấp thụ.

Nếu bẫy hấp phụ đường trước được lắp đặt trong đường vào của bơm cánh quạt xoay gioăng dầu trong hoạt động liên tục, khuyến nghị sử dụng hai bẫy hấp phụ song song, mỗi bẫy được tách riêng bằng van. Kinh nghiệm cho thấy rằng zeolite được sử dụng làm vật liệu hấp thụ mất đi phần lớn khả năng hấp thụ của nó sau khoảng 10 - 14 ngày chạy, sau đó bẫy hấp thụ khác, hiện đã tái tạo, có thể được sử dụng; do đó quy trình có thể tiếp tục không bị gián đoạn. Bằng cách làm nóng bẫy hấp phụ, hiện không được kết nối trong đường bơm, hơi thoát ra từ bề mặt của zeolite có thể được bơm đi thuận tiện nhất bằng bơm phụ trợ. Trong quá trình vận hành, bơm bằng bơm dung môi khí thường dẫn đến lớp phủ của zeolite trong bẫy hấp thụ không được làm nóng khác và do đó làm giảm sớm khả năng hấp thụ của bẫy này. 

Tất cả các bộ lọc, bộ tách, thiết bị ngưng tụ và van trong đường vào làm giảm tốc độ bơm hiệu quả của bơm. Dựa trên các giá trị độ dẫn điện hoặc điện trở thường được nhà sản xuất cung cấp, tốc độ bơm thực tế của bơm có thể được tính toán. Để biết thêm chi tiết, xem Tính toán độ dẫn điện.