uhv-blog

HV ve UHV altında çalışma hakkında bilmeniz gereken 5 şey 17 Ağustos 2020

4 MIN READ

Yüksek vakum (HV) ve ultra yüksek vakum (UHV) sistemleriyle çalışırken, verimli ve güvenli olmalarını sağlamak için dikkate alınması gereken belirli hususlar vardır.

Yüksek Vakum (HV) ve Ultra Yüksek Vakum (UHV) koşulları nelerdir?

  • HV basınç aralıkları 10 x 10 -3 ile 10 x 10 -7 mbar arasındadır. 
  • UHV basınç aralıkları 10 x 10 -7 ile 10 x 10 -12 mbar arasındadır.

Tüm vakum sistemlerinde olduğu gibi, vakum faktörlerini ve konularını yöneten belirlenmiş standartlar, kurallar ve protokoller sık sık gözden geçirilmeli ve yeniden tasarlanmalıdır. 

Kullanıcılar rutin olarak şunları yapmalıdır:

  • Vakum seviyelerini kontrol edin
  • Pompa ayarlarını gözden geçirin
  • Güvenlik kontrolleri yapın
  • Ölçüm yöntemlerinin değerlendirilmesi
  • Sızıntı tespit işlemlerinden geçin

Uygulamalar

HV uygulamaları şunları içerir:

UHV uygulamaları şunları içerir:

HV ve UVH koşulları oluştururken dikkate alınması gereken faktörler

Verimlilik değerlendirmeleri

Kullanıcılar, sorunlu alanları belirlemek için vakum sisteminin tasarımını, malzemelerini ve durumunu dikkatlice değerlendirmelidir. HV ve UHV vakum sisteminin verimliliği, aşağıdaki en iyi uygulamalar izlenerek iyileştirilebilir:

  • Haznenin iç yüzey alanını en aza indirin.
  • Sadece iç taraftan kaynak yapın.
  • Düşük desorpsiyon/gaz giderme oranları kullanın. 
  • Malzemelere ön işlem uygulayın, örneğin elektrolitik parlatma yapın.
  • Dişli kör delikler gibi dahili boşluklar veya sıkışmış hacimler olup olmadığını kontrol edin. 
  • Metal contalar kullanın.
  • Conta ve geçiş sayısını azaltın. 

Havalandırma

Gazdan arındırma, bazı malzemelerde çözünen, sıkışan veya emilen gazın serbest bırakılması işlemidir. Temiz HV ve UHV vakum ortamları oluşturmak ve korumak için kullanıcılar gaz çıkışını dikkatle izlemelidir.  

Gazdan arındırma genellikle, genellikle emici olarak kabul edilmeyen malzemeler endüstriyel veya bilimsel vakum proseslerine müdahale edecek kadar molekül bıraktığında meydana gelir. Yaygın gaz giderme kaynakları şunlardır:

  • Nem
  • Sızdırmazlık malzemeleri 
  • Yağlayıcılar
  • Yapışkanlar
  • Metal yabancı maddeler
  • Cam çatlakları 

Yüzeyleri temizlemek, münferit bileşenleri ısıtmak veya fırınlama yapmak uçucu maddeleri dışarı atabilir. 

Gaz doldurma

HV ve UHV koşullarında, gaz giderme ve gazdan arındırma seviyeleri mümkün olduğunca düşük tutulmalıdır. 

Etkili yüzeylerin en aza indirilmesi, gaz çıkışının etkisini azaltır. Yüzey alanı ne kadar büyükse, gaz giderme de o kadar büyük olur ve sistem basıncı da o kadar yüksek olur. 

Çalışma koşullarımı nasıl bilirim?

Artık gaz analizörü (RGA), genellikle vakum sistemlerinde ortam analizi, proses kontrolü ve kontaminasyon izleme için tasarlanmış küçük bir dört kutuplu kütle spektrometresidir. RGA'lar, düşük basınçlı gaz ortamında en küçük kirlilik izlerini tespit ederek (ve ölçerek) vakum kalitesini izleyebilir.  
 
RGA'lar genellikle doğrudan vakum haznesinin üzerine ve içine monte edilir. RGA'lar, diğer yöntemlerle elde edilmesi zor olan çeşitli işlevleri yerine getirir: çeşitli gaz fazı reaksiyonlarının analizi, herhangi bir gaz ortamında meydana gelen değişikliklerin izlenmesi, vakum sızıntılarının tespit edilmesi ve kütle akışı kontrolörlerinin kontrol edilmesi. 

Pompa seçimi ile ilgili hususlar

HV ve UHV vakum basıncı üretebilen birçok pompa tipi vardır ve çoğu uygulamada birlikte çalışan birden fazla pompa gerekir. Ancak performansı optimize etmek için farklı türde vakum pompalarını eşleştirmek her zaman kolay bir iş değildir. 

Pompa seçimini etkileyen çeşitli faktörler vardır, örneğin:

 

  • Gürültü ve titreşimler
  • Başlangıç ve devam eden maliyetler
  • Kirlenme toleransı
  • Kapladığı alan
  • Bakım gereksinimleri
  • Darbe dayanımı 

Pompa Seçenekleri

Ön Pompa seçenekleri şunları içerir:

HV ve UHV seviyelerine uygun ana ikincil pompa seçenekleri şunları içerir: 

Bu pompalar, gaz moleküllerini hızlı bir şekilde boşaltarak, yakalayarak veya bağlayarak vakum koşulları oluşturur.

LeyboldChart

Pompa tiplerini anlama

Her pompa türünün benzersiz avantajları ve dezavantajları vardır, bu da seçim sürecine karmaşıklık katar.

Örneğin, turbomoleküler pompaların avantajları şunlardır:

  • Kolay, kinetik çalışma
  • Az bakım gereksinimi
  • Hidrokarbonsuz çalışma

Dezavantajları şunlardır:

  • Titreşim oluşturan hareketli parçalar
  • Hafif gazlar için azaltılmış pompalama hızı
  • Mekanik şok hassasiyeti
  • Partikül kirliliği

Alıcılar, bilgiye dayalı bir karar verebilmek için her pompa tipi için benzer bir karşılaştırma sürecinden geçmelidir. 

Özet

HV ve UHV koşullarını oluştururken bu üç faktörü dikkate almak çok önemlidir: verimlilik, çalışma koşulu hususları ve pompa seçimi.

Seçimi zor buluyorsanız, Hangi Vakum Pompasının Benim İçin Doğru Olduğunu Nasıl Bilirim? adlı blog gönderimize göz atın.

Bu tür kaynakların yardımıyla, çalışma koşulları, verimlilik ve pompa seçiminin temel unsurlarına odaklanan bir yaklaşım, optimum performans ve güvenilir HV ve UHV koşulları sağlama yolunda ilerlemenizi sağlayacaktır.

Herhangi bir sorunuz varsa lütfen bizimle iletişime geçmekten çekinmeyin.

Yüksek, Ultra Yüksek ve Aşırı Yüksek Vakum: Temel bilgiler

Yüksek, ultra yüksek veya aşırı yüksek vakumla çalışma ve nelerin dikkate alınması gerektiğini anlamak için e-Kitabımızı indirin.

bir belge indirilmesini gösteren konsept simgesi

By submitting this request, Leybold will be able to contact you through the collected information. More information can be found in our privacy policy.
Lets Talk SVD smart component

Bize ulaşın

Sizi önemsiyoruz, yanınızdayız. Her türlü sorunuz için bize ulaşabilirsiniz.