Plazma işleme teknolojisi için vakum pompaları ve çözümleri
Vakumlu plazma işleme nedir?
Plazma işleme, elektronik, yarı iletken üretimi, otomotiv, tıbbi vb. gibi çeşitli sektörlerde yaygın olarak kullanılan çok yönlü bir teknolojidir. Tipik proses gazları Oksijen, Argon veya CF 4'tür. Bu gazlar, yüzey temizliğini, yapışmasını veya işlevselliğini değiştirmek için yüzeyi kaplamak, temizlemek, etkinleştirmek veya aşındırmak için kullanılan bir plazma oluşturmak üzere vakum altında bir elektrik alanı ile iyonlaştırılır.
Vakum, plazma koşullarını etkili bir şekilde oluşturmak ve sürdürmek için plazma işleme sistemlerinde önemli bir rol oynar.
- Verimli proses reaksiyonu: Vakum altında plazmada üretilen reaktif iyonlar, yüzey modifikasyonu, temizleme, aktivasyon veya aşındırma prosesleri için yüzeye daha etkili bir şekilde yayılabilir.
- Tutarlı yüzey işleme: Vakum, yüzey modifikasyonunun hassas kontrolü için homojen bir plazma sağlamak üzere kirletici içermeyen bir ortam sağlayabilir.
Plazma işleme vakum sisteminizi nasıl zorlar
Vakum pompaları veya pompalama sistemleri için ana zorluk, etkinleştirilmiş iyonların (örneğin, oksijen iyonları veya flor iyonları) proses sırasında tahliye edilmesi ve pompaya girebilmesidir. Bu iyonlar çevre ve insan sağlığı için son derece reaktif ve toksiktir.
Oksijen iyonları ve flor iyonları pompa malzemeleri üzerinde önemli bir etkiye sahip olabilir. Yağlar ve contalar oksitlenebilir, ayrışabilir veya bozunabilir. Bu nedenle, pompanın başarılı bir şekilde kullanılması için doğru yağ ve conta malzemelerinin seçilmesi çok önemlidir.
Hangi tip pompa vakumlu plazma tedavisi için uygundur?
Farklı tipte vakum pompaları kullanılabilir. Yalnızca doğru vakum pompası ve sistemi seçimi, plazma işleme teknolojisinin farklı gazdan arındırma işlemlerinin üstesinden gelmeyi ve sahip olma maliyetinizi optimize etmek için en yüksek çalışma süresiyle sorunsuz çalışmayı sağlar.
Leybold kapsamlı bir deneyime sahiptir ve ürünlerimiz farklı plazma işleme süreçlerinde kendini kanıtlamıştır. Leybold, her plazma işleme süreci için müşterinin gereksinimi için mükemmel bir vakum çözümü sunabilir.
Plazma işleme ürünlerimizi aşağıdan keşfedin veya projenizi görüşmek için bizimle iletişime geçin.
- TRIVAC B
- RUVAC
- VARODRY
- DURADRY
- DRYVAC
TRIVAC B
TRIVAC B
Yağ sızdırmaz çift kademeli paletli pompalar, düşük nihai basınç sağlayarak yüksek vakum performansı ile öne çıkar. BCS-PFPE versiyonu, yüksek reaktif plazma uygulamaları için mükemmeldir.
RUVAC
RUVAC
Üç farklı WA(U), WS(U) ve WH(U) serisi ve 251 ila 9800 m³/saat arasında geniş bir pompalama hızı aralığı. Frekans dönüştürücü ile isteğe bağlı çalışma hassas proses kontrolü sağlar. Yüksek reaktif plazma uygulamaları için WS(U)-PFPE ve WH-PFPE versiyonları mevcuttur
VARODRY
VARODRY
65 ila 200 m³/saat emiş hızlarına sahip tamamen yağsız, hava soğutmalı kuru vidalı pompa, sahip olma maliyetinizi optimize etmenize yardımcı olur. VARODRY HD O2 versiyonu O2 plazma tedavisi için mükemmeldir.
DURADRY
DURADRY
160 veya 250 m³/sa pompalama hızına sahip su soğutmalı kuru vidalı pompalar. Sınıfının en iyisi gürültü seviyesi, kompakt tasarım ve hava geçirmez sızdırmazlık. Stabil ısı yönetimi mükemmel Argon ve hafif gaz kullanımı sağlar. Neredeyse tüm plazma işleme süreçlerini desteklemek için en yüksek sağlamlık.
DRYVAC
DRYVAC
Kompakt, hava geçirmez ve kanıtlanmış tasarım, en yüksek sağlamlık ve enerji verimliliği ile birleştirilmiştir. 200 ila 800 m³/saat arası emme hızlarıyla plazma işleme prosesleri için güvenilir performans ve daha uzun çalışma süresi sunar.
TRIVAC B
Yağ sızdırmaz çift kademeli paletli pompalar, düşük nihai basınç sağlayarak yüksek vakum performansı ile öne çıkar. BCS-PFPE versiyonu, yüksek reaktif plazma uygulamaları için mükemmeldir.
RUVAC
Üç farklı WA(U), WS(U) ve WH(U) serisi ve 251 ila 9800 m³/saat arasında geniş bir pompalama hızı aralığı. Frekans dönüştürücü ile isteğe bağlı çalışma hassas proses kontrolü sağlar. Yüksek reaktif plazma uygulamaları için WS(U)-PFPE ve WH-PFPE versiyonları mevcuttur
VARODRY
65 ila 200 m³/saat emiş hızlarına sahip tamamen yağsız, hava soğutmalı kuru vidalı pompa, sahip olma maliyetinizi optimize etmenize yardımcı olur. VARODRY HD O2 versiyonu O2 plazma tedavisi için mükemmeldir.
DURADRY
160 veya 250 m³/sa pompalama hızına sahip su soğutmalı kuru vidalı pompalar. Sınıfının en iyisi gürültü seviyesi, kompakt tasarım ve hava geçirmez sızdırmazlık. Stabil ısı yönetimi mükemmel Argon ve hafif gaz kullanımı sağlar. Neredeyse tüm plazma işleme süreçlerini desteklemek için en yüksek sağlamlık.
DRYVAC
Kompakt, hava geçirmez ve kanıtlanmış tasarım, en yüksek sağlamlık ve enerji verimliliği ile birleştirilmiştir. 200 ila 800 m³/saat arası emme hızlarıyla plazma işleme prosesleri için güvenilir performans ve daha uzun çalışma süresi sunar.
- İlgili uygulamalar
- İlgili ürünler
İlgili uygulamalar
