Kotak sarung tangan UNIVEX G

Memuat dan melapisi substrat yang sensitif terhadap kelembapan dan oksigen di bawah persekitaran inert

Hubungi kami

Sistem kotak sarung tangan standard kami membolehkan pemuatan dan pelapisan substrat yang sensitif terhadap kelembapan dan oksigen di bawah persekitaran inert kotak sarung tangan.

Sistem UNIVEX G mempunyai pintu gelongsor depan untuk sambungan ke kotak sarung tangan. Pintu gelongsor ini membolehkan pengendali mengakses ruang proses dengan mudah melalui kotak sarung. Sekiranya akses langsung diperlukan, UNIVEX G mempunyai pintu kedua di belakang.

Aplikasi biasa

Metalisasi kontak (penyejatan emas, perak, kromium, nikel, titanium, dll.)
Biosensor / peranti perubatan
Elektronik organik: OLED, fotovoltaik organik
Titikan kuantum / paparan
E-beam dan penguap organik untuk pembentukan perovskit anorganik-organik

Akses langsung dan mudah ke peralatan proses melalui pintu gelangsar di sisi depan

Akses perkhidmatan yang mudah melalui pintu berengsel di belakang

Integrasi mana-mana komponen proses

UNIVEX G 250
UNIVEX G 350
UNIVEX G 450

UNIVEX G 250

UNIVEX G 250 adalah penyelesaian yang mudah dan kos efektif untuk tugas pelapisan yang memerlukan ruang yang tidak banyak.

Substrat, masing-masing pemegang substrat dengan diameter keseluruhan kira-kira 220 mm boleh diproses.

	G 250
Saiz ruang	Lebar 270 mm Kedalaman 370 mm Tinggi 400 mm
Evaporator terma	sehingga 4 bahan
Evaporator organik	sehingga 4 bahan
Penguapan e-beam	poket pelbagai atau poket tunggal
Berkedut	naik atau turun, 2 x 2"
Ko-Pendapan	penyejatan dan/atau penyemburan
Kompak kunci muatan	pilihan
Tahap vakum	mid 10^-7 mbar
Serasi dengan bilik bersih	ya

UNIVEX G 350

UNIVEX G 350 menggabungkan reka bentuk yang padat dengan ruang bilik yang luas.

Untuk banyak tugas pelapisan, UNIVEX G 350 menawarkan keadaan ruang yang optimum dan akses yang mudah kepada komponen proses dan pemprosesan substrat.

Substrat, masing-masing pemegang substrat dengan diameter keseluruhan kira-kira 300 mm boleh diproses.

	G 350
saiz bilik	Lebar: 370 mm Kedalaman: 390 mm Tinggi: 500 mm
evaporator terma	sehingga 8 bahan
evaporator organik	Sehingga 4 bahan
penyejatan e-beam	Pelbagai poket dan/atau satu poket
berdesing	Naik atau turun: 3 X 2” meriam, atau 2 X 3” meriam
Ko-Pendapan	Penguapan dan/atau penyemburan
kunci muatan yang serasi	pilihan
Deposisi dibantu ion	pilihan
tahap vakum	mid 10^-7 mbar
serasi dengan bilik bersih	ya

UNIVEX G 450

Disebabkan oleh dimensi ruangnya, UNIVEX G 450 sesuai untuk semua tugas pelapisan yang memerlukan banyak ruang. Substrat, masing-masing pemegang substrat dengan diameter keseluruhan melebihi 400 mm boleh diproses. Dengan ketinggian 650 mm, ruang vakum ini juga sesuai untuk aplikasi lepas landas.

	G 450
saiz bilik	Lebar: 500 mm Kedalaman: 500 mm Tinggi: 650 mm
evaporator terma	Sehingga 8 bahan
evaporator organik	Sehingga 8 bahan
penyejatan e-beam	Pelbagai poket dan/atau satu poket
berdesing	Naik atau turun: 3 X 3”, 2 X 4”, 4 X 2” atau lain-lain
Ko-Pendapan	Penguapan dan/atau penyemburan
kunci muatan yang serasi	pilihan
Deposisi dibantu ion	pilihan
tahap vakum	mid 10^-7 mbar
serasi dengan bilik bersih	ya