Leybold supports the ZSW in complex coating solutions for novel solar cells.
PDF 1.1 MB
UNIVEX C Sistem Deposisi Kluster & Kustom
Untuk aplikasi khas, kami juga boleh membekalkan sistem kluster atau sistem khusus berdasarkan konsep modular UNIVEX.
- UNIVEX C - CLUSTER
- UNIVEX C - KUSTOM
UNIVEX C - CLUSTER
UNIVEX C - CLUSTER
Kumpulan UNIVEX kami dilengkapi mengikut keperluan pelanggan dan mengandungi pemprosesan berasingan, ruang kunci beban dan ruang pemindahan. Secara amnya, setiap ruang vakum akan mempunyai sistem vakum tinggi tersendiri. Kamar kunci beban dalam kes yang paling sederhana dimuat secara manual dengan substrat individu. Selain itu, pemprosesan majalah bagi beberapa substrat setiap kumpulan adalah mungkin.
Untuk mengangkut substrat antara ruang vakum individu, biasanya digunakan lengan robot yang digerakkan oleh motor atau unit pemindahan linear. Perisian kawalan UNIVEX disesuaikan mengikut keperluan aplikasi tertentu, dan secara amnya membolehkan proses berjalan secara automatik sepenuhnya termasuk pemprosesan resipi.
UNIVEX C - KUSTOM
UNIVEX C - KUSTOM
Sekiranya tiada sistem jenis UNIVEX yang sesuai dengan keperluan anda, adakah saiz atau ketinggian ruang yang berbeza diingini? Jangan risau, hubungi kami saja.
Kami tidak sabar untuk merealisasikan sistem anda!
UNIVEX C - CLUSTER
Kumpulan UNIVEX kami dilengkapi mengikut keperluan pelanggan dan mengandungi pemprosesan berasingan, ruang kunci beban dan ruang pemindahan. Secara amnya, setiap ruang vakum akan mempunyai sistem vakum tinggi tersendiri. Kamar kunci beban dalam kes yang paling sederhana dimuat secara manual dengan substrat individu. Selain itu, pemprosesan majalah bagi beberapa substrat setiap kumpulan adalah mungkin.
Untuk mengangkut substrat antara ruang vakum individu, biasanya digunakan lengan robot yang digerakkan oleh motor atau unit pemindahan linear. Perisian kawalan UNIVEX disesuaikan mengikut keperluan aplikasi tertentu, dan secara amnya membolehkan proses berjalan secara automatik sepenuhnya termasuk pemprosesan resipi.
UNIVEX C - KUSTOM
Sekiranya tiada sistem jenis UNIVEX yang sesuai dengan keperluan anda, adakah saiz atau ketinggian ruang yang berbeza diingini? Jangan risau, hubungi kami saja.
Kami tidak sabar untuk merealisasikan sistem anda!
Baca bagaimana UNIVEX C 900 menyokong penyelesaian lapisan yang kompleks
- Kedai Dalam Talian
- Dokumen
Kedai Dalam Talian
Dokumen
