UNIVEX C Sistem Deposisi Kluster & Kustom

Kumpulan UNIVEX kami dilengkapi mengikut keperluan pelanggan dan mengandungi pemprosesan berasingan, ruang kunci beban dan ruang pemindahan. Secara amnya, setiap ruang vakum akan mempunyai sistem vakum tinggi tersendiri. Kamar kunci beban dalam kes yang paling sederhana dimuat secara manual dengan substrat individu. Selain itu, pemprosesan majalah bagi beberapa substrat setiap kumpulan adalah mungkin. 

Untuk mengangkut substrat antara ruang vakum individu, biasanya digunakan lengan robot yang digerakkan oleh motor atau unit pemindahan linear. Perisian kawalan UNIVEX disesuaikan mengikut keperluan aplikasi tertentu, dan secara amnya membolehkan proses berjalan secara automatik sepenuhnya termasuk pemprosesan resipi. 

Sekiranya tiada sistem jenis UNIVEX yang sesuai dengan keperluan anda, adakah saiz atau ketinggian ruang yang berbeza diingini? Jangan risau, hubungi kami saja.

Kami tidak sabar untuk merealisasikan sistem anda!