Sistem salutan kotak UNIVEX Ditetapkan oleh saiz bilik mereka
Sistem salutan kotak kompak kami membolehkan akses langsung ke ruang proses.
- UNIVEX 250
- UNIVEX 400
- UNIVEX 600
- UNIVEX 900
UNIVEX 250
UNIVEX 250
Pintu gerbang anda kepada proses pelapisan yang lancar, direka khusus untuk universiti, makmal, sekolah menengah teknik, dan kemudahan R&D industri di seluruh dunia.
UNIVEX 250 menawarkan penyelesaian yang kos efektif tanpa mengorbankan kualiti atau prestasi, memastikan anda mencapai hasil yang tepat dan konsisten. Dengan kawalan intuitif dan operasi tanpa masalah, ia sempurna untuk pengguna di semua peringkat.
UNIVEX 250 memenuhi pelbagai keperluan salutan, dari metalisasi sentuh hingga pengimejan kontras untuk aplikasi mikroskopi dan filem nipis.
Reka bentuknya yang kukuh dan prestasi yang boleh dipercayai menjadikannya alat penting untuk mana-mana persekitaran saintifik atau industri, menyediakan akses yang mudah, kebolehan modular yang boleh diperluas, dan keupayaan mudah alih untuk fleksibiliti maksimum.
Aplikasi biasa:
- Metalisasi kontak (penyejatan emas, perak, kromium, nikel, titanium, dll.)
- Pengimejan kontras untuk mikroskopi (indium, karbon, dll.)
- Solar filem nipis
- Tujuan pendidikan di sekolah menengah dan universiti
Konfigurasi:
- Penguapan Terma
- Penguapan E-Beam
- Berkedut
| UNIVEX 250 | |
|---|---|
| Saiz ruang | lebar: 270 mm, kedalaman: 370 mm, tinggi: 400 mm |
| Saiz keseluruhan | lebar: 1400 mm, kedalaman: 950 mm, tinggi: 1800 mm |
| Evaporator terma | sehingga 4 bahan |
| Evaporator organik | sehingga 4 bahan |
| Penguapan e-beam | poket pelbagai atau poket tunggal |
| Berkedut | sehingga 2 x 2" sumber |
| Ko-Pendapan | penguapan dan/atau penyemburan mungkin |
| Pengawalan sistem | PLC dengan monitor |
| Sensor ketebalan filem | Kristal kuarza |
| Tahap vakum | < 1 E-6 mbar |
| Serasi dengan bilik bersih | Ya |
UNIVEX 400
UNIVEX 400
UNIVEX 400 adalah sistem salutan kompak untuk tugas makmal, serta pengeluaran perintis. Disebabkan oleh dimensi ruangnya, ia adalah ideal untuk pelapisan substrat bersaiz kecil hingga sederhana.
Substrat / pemegang substrat dengan diameter keseluruhan maksimum. 350 mm boleh dilapisi.
Pengawal sistem membolehkan anda menjalankan proses salutan manual, separa automatik dan sepenuhnya automatik.
Aplikasi biasa
- Solar filem nipis: Proses sputter CdTe, CIGS, CZTS
- Elektronik organik (PV, OLEDS)
- Salutan optik
- Mikroelektronik
Konfigurasi tipikal
- E-beam pelbagai poket dengan penguap terma dan sumber ion.
- Sehingga empat pistol sputter 2" dalam konfigurasi konfokal untuk sputter ke atas atau ke bawah
- E-beam dan penguap organik untuk pembentukan perovskit anorganik-organik
UNIVEX 400 |
|
|---|---|
Saiz ruang |
lebar: 420 mm, kedalaman: 480 mm, tinggi: 550 mm |
Evaporator terma |
sehingga 8 bahan |
Evaporator organik |
sehingga 8 bahan |
Penguapan e-beam |
poket pelbagai atau poket tunggal |
Berkedut |
naik atau turun, 4 X 2”, 3 X 3”, 2 X 4” atau yang lain |
Ko-Pendapan |
penyejatan dan/atau penyemburan |
Kompak kunci muatan |
pilihan |
Deposisi dibantu ion |
pilihan |
Bilik berair |
ya |
Tahap vakum |
mid 10-7 mbar |
Versi UHV |
pilihan |
Serasi dengan bilik bersih |
ya |
UNIVEX 600
UNIVEX 600
UNIVEX 600 adalah sistem salutan kompak untuk makmal, serta pengeluaran percubaan perintis. Oleh kerana saiz biliknya, ia sesuai untuk saiz substrat sederhana hingga besar.
Kadar pengeluaran substrat yang boleh dicapai memenuhi keperluan umum untuk pengeluaran siri kecil. Substrat / pemegang substrat sehingga maksimum. diameter keseluruhan 550 mm boleh dilapisi.
Pengawal sistem membolehkan anda menjalankan proses salutan secara manual, separa automatik dan sepenuhnya automatik.
Aplikasi biasa
- Salutan optik
- Peranti opto-elektronik
- RAM Resistif
- Superkonduktor suhu tinggi
Konfigurasi tipikal
- Pemanas dan/atau penyejuk substrat
- E-beam pelbagai poket dengan penguap termal dan sumber ion.
- Konfigurasi substrat palet, dome atau planet untuk satu atau beberapa sampel
- Senjata sputter berganda dalam konfigurasi konfokal atau berhadapan.
UNIVEX 600 |
|
|---|---|
Saiz ruang |
Lebar: 600 mm Kedalaman: 600 mm Tinggi: 800 mm atau 550 mm (sputter) |
Evaporator terma |
sehingga 8 bahan |
Evaporator organik |
sehingga 8 bahan |
Penguapan e-beam |
poket pelbagai dan/atau poket tunggal, operasi senjata pelbagai |
Berkecipak |
naik atau turun: 4 X 3”, 3 X 4”, 6 X 2” atau lain-lain |
Ko-Pendapan |
penyejatan dan/atau penyemburan |
Kompak kunci muatan |
pilihan |
Penyepuhan dibantu ion |
pilihan |
Bilik berair |
ya |
Tahap vakum |
mid 10-7 mbar |
Versi UHV |
pilihan |
Serasi dengan bilik bersih |
ya |
UNIVEX 900
UNIVEX 900
UNIVEX 900 adalah penyelesaian paling canggih untuk saiz substrat sederhana hingga besar, masing-masing untuk throughput substrat yang lebih tinggi. Substrat / pemegang substrat dengan diameter keseluruhan sehingga 800 mm boleh disalut. Pengawal sistem membolehkan anda menjalankan proses salutan secara manual, separa automatik dan sepenuhnya automatik.
Aplikasi biasa
- Salutan optik
- Peranti opto-elektronik
- RAM Resistif
- Superkonduktor suhu tinggi
Konfigurasi tipikal
- Pemanas dan/atau penyejuk substrat
- E-beam pelbagai poket dengan sumber ion untuk pra-pembersihan substrat dan deposisi dibantu ion
- Konfigurasi substrat palet, dome atau planet untuk satu atau beberapa sampel
- Senjata sputter berganda dalam konfigurasi konfokal atau berhadapan.
UNIVEX 900 |
|
|---|---|
Saiz ruang |
Lebar: 900 mm Kedalaman: 900 mm Tinggi: 1100 mm |
Evaporator terma |
sehingga 8 bahan |
Evaporator organik |
sehingga 8 bahan |
Penguapan e-beam |
poket pelbagai dan/atau poket tunggal, operasi senjata pelbagai |
Berkecipak |
pilihan |
Ko-Pendapan |
ya |
Kompak kunci muatan |
pilihan |
Penyepuhan dibantu ion |
pilihan |
Bilik berair |
ya |
Tahap vakum |
mid 10-7 mbar |
Versi UHV |
pilihan |
Serasi dengan bilik bersih |
ya |
UNIVEX 250
Pintu gerbang anda kepada proses pelapisan yang lancar, direka khusus untuk universiti, makmal, sekolah menengah teknik, dan kemudahan R&D industri di seluruh dunia.
UNIVEX 250 menawarkan penyelesaian yang kos efektif tanpa mengorbankan kualiti atau prestasi, memastikan anda mencapai hasil yang tepat dan konsisten. Dengan kawalan intuitif dan operasi tanpa masalah, ia sempurna untuk pengguna di semua peringkat.
UNIVEX 250 memenuhi pelbagai keperluan salutan, dari metalisasi sentuh hingga pengimejan kontras untuk aplikasi mikroskopi dan filem nipis.
Reka bentuknya yang kukuh dan prestasi yang boleh dipercayai menjadikannya alat penting untuk mana-mana persekitaran saintifik atau industri, menyediakan akses yang mudah, kebolehan modular yang boleh diperluas, dan keupayaan mudah alih untuk fleksibiliti maksimum.
Aplikasi biasa:
- Metalisasi kontak (penyejatan emas, perak, kromium, nikel, titanium, dll.)
- Pengimejan kontras untuk mikroskopi (indium, karbon, dll.)
- Solar filem nipis
- Tujuan pendidikan di sekolah menengah dan universiti
Konfigurasi:
- Penguapan Terma
- Penguapan E-Beam
- Berkedut
| UNIVEX 250 | |
|---|---|
| Saiz ruang | lebar: 270 mm, kedalaman: 370 mm, tinggi: 400 mm |
| Saiz keseluruhan | lebar: 1400 mm, kedalaman: 950 mm, tinggi: 1800 mm |
| Evaporator terma | sehingga 4 bahan |
| Evaporator organik | sehingga 4 bahan |
| Penguapan e-beam | poket pelbagai atau poket tunggal |
| Berkedut | sehingga 2 x 2" sumber |
| Ko-Pendapan | penguapan dan/atau penyemburan mungkin |
| Pengawalan sistem | PLC dengan monitor |
| Sensor ketebalan filem | Kristal kuarza |
| Tahap vakum | < 1 E-6 mbar |
| Serasi dengan bilik bersih | Ya |
UNIVEX 400
UNIVEX 400 adalah sistem salutan kompak untuk tugas makmal, serta pengeluaran perintis. Disebabkan oleh dimensi ruangnya, ia adalah ideal untuk pelapisan substrat bersaiz kecil hingga sederhana.
Substrat / pemegang substrat dengan diameter keseluruhan maksimum. 350 mm boleh dilapisi.
Pengawal sistem membolehkan anda menjalankan proses salutan manual, separa automatik dan sepenuhnya automatik.
Aplikasi biasa
- Solar filem nipis: Proses sputter CdTe, CIGS, CZTS
- Elektronik organik (PV, OLEDS)
- Salutan optik
- Mikroelektronik
Konfigurasi tipikal
- E-beam pelbagai poket dengan penguap terma dan sumber ion.
- Sehingga empat pistol sputter 2" dalam konfigurasi konfokal untuk sputter ke atas atau ke bawah
- E-beam dan penguap organik untuk pembentukan perovskit anorganik-organik
UNIVEX 400 |
|
|---|---|
Saiz ruang |
lebar: 420 mm, kedalaman: 480 mm, tinggi: 550 mm |
Evaporator terma |
sehingga 8 bahan |
Evaporator organik |
sehingga 8 bahan |
Penguapan e-beam |
poket pelbagai atau poket tunggal |
Berkedut |
naik atau turun, 4 X 2”, 3 X 3”, 2 X 4” atau yang lain |
Ko-Pendapan |
penyejatan dan/atau penyemburan |
Kompak kunci muatan |
pilihan |
Deposisi dibantu ion |
pilihan |
Bilik berair |
ya |
Tahap vakum |
mid 10-7 mbar |
Versi UHV |
pilihan |
Serasi dengan bilik bersih |
ya |
UNIVEX 600
UNIVEX 600 adalah sistem salutan kompak untuk makmal, serta pengeluaran percubaan perintis. Oleh kerana saiz biliknya, ia sesuai untuk saiz substrat sederhana hingga besar.
Kadar pengeluaran substrat yang boleh dicapai memenuhi keperluan umum untuk pengeluaran siri kecil. Substrat / pemegang substrat sehingga maksimum. diameter keseluruhan 550 mm boleh dilapisi.
Pengawal sistem membolehkan anda menjalankan proses salutan secara manual, separa automatik dan sepenuhnya automatik.
Aplikasi biasa
- Salutan optik
- Peranti opto-elektronik
- RAM Resistif
- Superkonduktor suhu tinggi
Konfigurasi tipikal
- Pemanas dan/atau penyejuk substrat
- E-beam pelbagai poket dengan penguap termal dan sumber ion.
- Konfigurasi substrat palet, dome atau planet untuk satu atau beberapa sampel
- Senjata sputter berganda dalam konfigurasi konfokal atau berhadapan.
UNIVEX 600 |
|
|---|---|
Saiz ruang |
Lebar: 600 mm Kedalaman: 600 mm Tinggi: 800 mm atau 550 mm (sputter) |
Evaporator terma |
sehingga 8 bahan |
Evaporator organik |
sehingga 8 bahan |
Penguapan e-beam |
poket pelbagai dan/atau poket tunggal, operasi senjata pelbagai |
Berkecipak |
naik atau turun: 4 X 3”, 3 X 4”, 6 X 2” atau lain-lain |
Ko-Pendapan |
penyejatan dan/atau penyemburan |
Kompak kunci muatan |
pilihan |
Penyepuhan dibantu ion |
pilihan |
Bilik berair |
ya |
Tahap vakum |
mid 10-7 mbar |
Versi UHV |
pilihan |
Serasi dengan bilik bersih |
ya |
UNIVEX 900
UNIVEX 900 adalah penyelesaian paling canggih untuk saiz substrat sederhana hingga besar, masing-masing untuk throughput substrat yang lebih tinggi. Substrat / pemegang substrat dengan diameter keseluruhan sehingga 800 mm boleh disalut. Pengawal sistem membolehkan anda menjalankan proses salutan secara manual, separa automatik dan sepenuhnya automatik.
Aplikasi biasa
- Salutan optik
- Peranti opto-elektronik
- RAM Resistif
- Superkonduktor suhu tinggi
Konfigurasi tipikal
- Pemanas dan/atau penyejuk substrat
- E-beam pelbagai poket dengan sumber ion untuk pra-pembersihan substrat dan deposisi dibantu ion
- Konfigurasi substrat palet, dome atau planet untuk satu atau beberapa sampel
- Senjata sputter berganda dalam konfigurasi konfokal atau berhadapan.
UNIVEX 900 |
|
|---|---|
Saiz ruang |
Lebar: 900 mm Kedalaman: 900 mm Tinggi: 1100 mm |
Evaporator terma |
sehingga 8 bahan |
Evaporator organik |
sehingga 8 bahan |
Penguapan e-beam |
poket pelbagai dan/atau poket tunggal, operasi senjata pelbagai |
Berkecipak |
pilihan |
Ko-Pendapan |
ya |
Kompak kunci muatan |
pilihan |
Penyepuhan dibantu ion |
pilihan |
Bilik berair |
ya |
Tahap vakum |
mid 10-7 mbar |
Versi UHV |
pilihan |
Serasi dengan bilik bersih |
ya |
- Kedai Dalam Talian
- Dokumen
