Vacuum operation and maintenance banner component

Hướng dẫn bảo trì và vận hành máy đo chân không

Thông tin về việc lắp đặt cảm biến chân không / đồng hồ đo

Ở đây, điều kiện bên ngoài xung quanh hệ thống chân không và điều kiện vận hành bên trong (ví dụ: áp suất làm việc, thành phần của hàm lượng khí) rất quan trọng. Cảm biến chỉ nên được lắp đặt thẳng đứng với mặt bích chân không ở dưới cùng để ngăn ngưng tụ, mảnh kim loại và mảnh vụn tích tụ trong cảm biến hoặc thậm chí các bộ phận nhỏ như vít nhỏ và tương tự rơi vào cảm biến và hệ thống đo lường. Các sợi đốt nóng cũng có thể bị uốn cong và biến dạng không đúng cách và gây ngắn mạch điện bên trong hệ thống đo. Đây là lý do đằng sau quy tắc chung sau đây: Nếu có thể, hãy lắp đặt cảm biến theo phương thẳng đứng và mở xuống đáy. Cũng rất quan trọng để lắp đặt hệ thống đo lường, nếu có thể, tại những điểm trong hệ thống chân không sẽ không bị rung trong quá trình vận hành.

Nhiệt độ bên ngoài phải được xem xét và cần phải tránh lò nung nóng, lò nung hoặc lò nung, hoặc các nguồn bức xạ cường độ cao khác tạo ra nhiệt độ môi trường cao hơn giá trị chấp nhận được cụ thể cho hệ thống đo. Nhiệt độ môi trường quá cao sẽ dẫn đến chỉ báo áp suất sai trong cảm biến chân không dẫn nhiệt.

Nhiễm bẩn tại hệ thống đo và loại bỏ

Các đồng hồ đo được sử dụng để đo áp suất trong công nghệ chân không chắc chắn sẽ hoạt động trong điều kiện "bẩn". Điều này khá dễ hiểu vì hệ thống chân không không chỉ tạo ra áp suất thấp mà còn phải chạy các quy trình trong hóa học, luyện kim hoặc vật lý hạt nhân ở áp suất thấp. Ở đây, tùy thuộc vào bản chất của quy trình, một lượng đáng kể khí hoặc hơi sẽ được bơm liên tục hoặc ngắt quãng; chúng có thể đi vào hệ thống đo lường và - do phản ứng bề mặt hoặc kết tủa - có thể làm sai lệch đáng kể các phép đo áp suất. Điều này đúng với tất cả các loại máy đo chân không, trong đó các hệ thống đo có độ nhạy cao, độ chính xác cao đặc biệt nhạy cảm với tạp chất. Có thể cố gắng bảo vệ hệ thống đo lường khỏi nhiễm bẩn bằng cách cung cấp lớp che chắn phù hợp. Tuy nhiên, điều này thường dẫn đến áp suất được ghi lại bởi hệ thống đo - thực sự sạch sẽ - chênh lệch đáng kể so với áp suất thực tế có trong hệ thống.

Về cơ bản, không thể giữ cho hệ thống đo trong máy đo chân không không không bị nhiễm bẩn. Do đó, cần đảm bảo rằng:

  • ảnh hưởng của tạp chất đến phép đo áp suất vẫn càng nhỏ càng tốt
  • hệ thống đo lường có thể được vệ sinh dễ dàng.

Trong thực tế, hầu hết các máy đo chân không đều không dễ dàng đáp ứng hai điều kiện này. . Cảm biến THERMOVAC bị bẩn sẽ hiển thị áp suất quá cao trong phạm vi đo thấp vì bề mặt của dây nóng đã thay đổi. Trong máy đo chân không Penning, nhiễm bẩn sẽ dẫn đến chỉ số áp suất quá thấp vì dòng xả sẽ trở nên nhỏ hơn. Trong trường hợp máy đo chân không ion hóa với catot nóng, điện cực và thành ống có thể bị nhiễm bẩn, trong một số trường hợp nhất định, điều này sẽ dẫn đến giảm cường độ điện môi. Tuy nhiên, ở đây, các hệ thống đo lường thường có thể được nung ra và khử khí bằng cách truyền dòng điện qua hoặc bằng cách ném bom điện tử, ngoài thực tế là máy đo chân không ion hóa thường được sử dụng trong phạm vi chân không siêu cao, nơi cần phải đảm bảo điều kiện vận hành sạch sẽ vì các lý do khác.

Ảnh hưởng của từ trường và điện trường

Trong tất cả các thiết bị đo sử dụng ion hóa các phân tử khí làm nguyên tắc đo (máyđo chân không ion hóa catốt lạnh và catốt nóng), trường rò rỉ từ tính mạnh hoặc điện thế có thể có ảnh hưởng lớn đến chỉ số áp suất. Ở áp suất thấp, điện thế bức tường khác với điện thế catốt cũng có thể ảnh hưởng đến dòng điện bẫy ion.

Trong các hệ thống đo chân không được sử dụng trong chân không cao và siêu cao, cần phải đảm bảo rằng các giá trị cách điện cao cần thiết cho các điện cực điện áp cao và bẫy ion cũng được duy trì trong quá trình vận hành và đôi khi thậm chí trong các quy trình nung. Lỗi cách điện có thể xảy ra cả trong đường cấp điện bên ngoài và bên trong hệ thống đo. Không đủ cách điện tại dây bẫy (máy dò) có thể cho phép dòng điện rò rỉ - ở áp suất thấp - kích thích các chỉ số giá trị áp suất quá cao. Dòng điện bẫy ion rất thấp đòi hỏi dây này phải được cách điện đặc biệt tốt. Bên trong các cảm biến đo lường cũng có thể xảy ra dòng điện rò nếu bẫy không được che chắn hiệu quả khỏi các điện cực khác.

Một lỗi thường gặp khi kết nối cảm biến đo lường với hệ thống chân không là việc sử dụng đường ống nối dài và hẹp không thể chấp nhận được. Giá trị độ dẫn điện phải được duy trì càng lớn càng tốt. Giải pháp thuận lợi nhất là sử dụng hệ thống đo tích hợp. Bất cứ khi nào sử dụng ống nối có giá trị độ dẫn điện thấp hơn, chỉ số áp suất có thể quá cao hoặc quá thấp. Ở đây, có thể xảy ra lỗi đo lường hơn một thập kỷ! Khi các hệ thống có thể được nung, cần phải đảm bảo rằng ống nối cũng có thể được làm nóng.

Cảm biến thụ động và hệ thống đo lường

Cáp đo (cáp kết nối giữa cảm biến và bộ điều khiển chân không) thường dài 2 m. Nếu phải sử dụng cáp đo dài hơn - ví dụ: để lắp đặt trong bảng điều khiển - thì cần phải kiểm tra tình huống về ảnh hưởng đến chỉ số áp suất. Thông tin về các tùy chọn sử dụng cáp quá dài có thể được cung cấp bởi bộ phận tư vấn kỹ thuật của chúng tôi.

Download Software

Kiến thức cơ bản về công nghệ chân không 

Tải eBook "Nguyên tắc cơ bản của công nghệ chân không" của chúng tôi để khám phá những điều cần thiết và quy trình của bơm chân không. 

Tài liệu tham khảo

Biểu tượng chân không

Biểu tượng chân không

Bảng thuật ngữ các biểu tượng thường được sử dụng trong các sơ đồ công nghệ chân không để thể hiện trực quan các loại bơm và các bộ phận trong hệ thống bơm

Đọc thêm tại đây

Bảng thuật ngữ

Bảng thuật ngữ

Tổng quan về các đơn vị đo được sử dụng trong công nghệ chân không và các biểu tượng đại diện cho gì, cũng như các đơn vị tương đương hiện đại của các đơn vị lịch sử

Đọc thêm tại đây

Tài liệu tham khảo

Tài liệu tham khảo

Tham khảo, nguồn và đọc thêm liên quan đến kiến thức cơ bản về công nghệ chân không

Đọc thêm tại đây

Biểu tượng chân không

Bảng thuật ngữ các biểu tượng thường được sử dụng trong các sơ đồ công nghệ chân không để thể hiện trực quan các loại bơm và các bộ phận trong hệ thống bơm

Đọc thêm tại đây

Bảng thuật ngữ

Tổng quan về các đơn vị đo được sử dụng trong công nghệ chân không và các biểu tượng đại diện cho gì, cũng như các đơn vị tương đương hiện đại của các đơn vị lịch sử

Đọc thêm tại đây

Tài liệu tham khảo

Tham khảo, nguồn và đọc thêm liên quan đến kiến thức cơ bản về công nghệ chân không

Đọc thêm tại đây

Production / People Image Pictures

Hãy cùng trao đổi

Chúng tôi tập trung vào sự gần gũi với khách hàng. Hãy liên hệ với chúng tôi nếu bạn có bất kỳ thắc mắc nào.

Liên hệ với chúng tôi

Loading...