Công nghệ chân không được thiết lập trong nghiên cứu và công nghiệp từ đầu thế kỷ 19 và đang trải qua sự phát triển nhanh chóng kể từ đó. Trong nghiên cứu và trong hầu hết các ngành công nghiệp ngày nay, điều này là không thể thiếu.
Phù hợp với nhiều lĩnh vực ứng dụng, số lượng quy trình kỹ thuật trong các quy trình chân không cực kỳ lớn. Chúng không thể được mô tả trong phạm vi của phần này, vì các tính toán cơ bản trong phần này chủ yếu bao gồm quá trình bơm, không phải quá trình diễn ra trong hệ thống chân không. Ví dụ về các quy trình quan trọng trong công nghệ chân không và các khu vực áp suất mà các quy trình này chủ yếu được thực hiện được trình bày trong các sơ đồ (Hình 2,71 và 2,72).

Nói chung, hoạt động bơm cho các quy trình này có thể được chia thành hai loại: quy trình chân không khô và ướt; tức là, vào các quy trình không cần bơm một lượng đáng kể hơi nước và các quy trình tạo ra hơi nước (chủ yếu là nước hoặc hữu cơ).
Sự khác biệt giữa hai danh mục được mô tả ngắn gọn:

Hệ thống thường được rút chân không đến áp suất đặc trưng phù hợp trước khi bắt đầu quy trình làm việc thực tế. Điều này xảy ra, ví dụ, trong các nhà máy sơn bốc hơi, hàn chùm tia điện tử và kéo tinh thể; trong máy tăng tốc hạt, máy đo quang phổ khối lượng, kính hiển vi điện tử; và các thiết bị khác.
Ngoài ra, còn có các quy trình khô trong đó khử khí trong chân không là quy trình kỹ thuật thực tế. Điều này bao gồm công việc trong lò cảm ứng và lò hồ quang, nhà máy khử khí thép và nhà máy sản xuất kim loại tinh khiết và ống điện tử.
Bên cạnh đó, chúng tôi có các quy trình chân không thô như kẹp chân không, tạo hình hoặc vận chuyển, trong đó một hành lang áp suất nhất định được duy trì, ví dụ: theo thể tích đệm

Điều này đặc biệt quan trọng trong việc sấy khô vật liệu rắn. Ví dụ: nếu công việc được thực hiện sớm ở áp suất quá thấp, bề mặt ngoài sẽ khô quá nhanh. Do đó, sự tiếp xúc nhiệt với độ ẩm cần bay hơi bị suy giảm và thời gian sấy khô tăng đáng kể. Các quy trình chủ yếu được thực hiện trong các nhà máy sấy, ngâm tẩm và sấy lạnh thuộc loại này.
Trong việc loại bỏ hơi nước khỏi chất lỏng hoặc trong quá trình chưng cất, đặc biệt là trong các cột khử khí, chiết rót chân không và nhà máy đúc nhựa, cũng như trong quá trình chưng cất phân tử, việc tạo ra bề mặt chất lỏng lớn nhất có thể là rất quan trọng. Trong tất cả các quy trình ướt, việc cung cấp nhiệt cần thiết để bay hơi độ ẩm là rất quan trọng.

Các quy trình bơm cơ bản được đề cập trong các trang liên kết với phần quy trình bơm.
Nếu bạn có câu hỏi cụ thể, bạn có thể liên hệ với bộ phận chuyên môn tại Leybold, nơi các chuyên gia có thể rút ra nhiều năm kinh nghiệm sẵn sàng hỗ trợ bạn.

Chân không thô 1013 mbar - 1 mbar
Ø Giữ, Nâng, Đóng gói, Sấy khô, Chưng cất và Khử khí thép.

Chân không trung bình 1 -10 ^-3 mbar
Ø Lớp phủ phún xạ, chưng cất phân tử, sấy lạnh, ngâm tẩm, lò nóng chảy và đúc, và lò hồ quang.

Chân không cao 10 ^-3 - 10 ^-7 mbar
Ø Lớp phủ bay hơi, hàn chân không, máy đo quang phổ khối lượng, sản xuất ống, kính hiển vi điện tử, nhà máy chùm tia điện tử và chất tăng tốc hạt.

Chân không siêu cao: < 10 ^-7 mbar
Ø Hợp nhất hạt nhân, vòng lưu trữ cho chất tăng tốc, nghiên cứu không gian và vật lý bề mặt.