Chất lỏng bơm hơi chảy ngược, hơi dầu, chất bôi trơn bơm xoay và các sản phẩm nứt của chúng có thể làm gián đoạn đáng kể các quy trình làm việc khác nhau trong chân không. Do đó, khuyến nghị một số ứng dụng nhất định sử dụng bơm và thiết bị loại trừ sự hiện diện của hơi hydrocacbon một cách đáng tin cậy. 

Hydrocacbon là các hợp chất hóa học làm từ cacbon và hydro là nền tảng của nhiên liệu hàng ngày như dầu và khí đốt. Loại bỏ các hydrocacbon như vậy khỏi bơm của bạn cuối cùng sẽ làm giảm chi phí vận hành và bảo trì. Loại trừ hơi hydrocarbon có thể được giải quyết bằng nhiều phương pháp khác nhau. Một số loại bơm phù hợp hơn với quy trình này, có nghĩa là các yếu tố sau đây cần được xem xét khi chọn loại bơm.

Khu vực chân không thô (1013 đến 1 mbar)

Thay vì bơm xoay, có thể sử dụng vòi phun nước lớn, máy phun hơi nước hoặc bơm vòng nước. Đối với việc hút chân không theo lô và sản xuất chân không sơ bộ không chứa hydrocarbon cho bơm phún xạ ion, bơm hấp thụ phù hợp. Nếu không thể tránh được việc sử dụng bơm cánh quạt xoay bịt kín bằng dầu, nên sử dụng bơm cánh quạt xoay hai tầng. Một lượng hơi dầu nhỏ chảy ngược ra khỏi cổng nạp của các bơm này có thể được loại bỏ gần như hoàn toàn bằng một bẫy hấp thụ (xem trang trên phụ kiện cho bơm xoay ) được lắp vào đường bơm. 

Khu vực chân không trung bình (1 đến 10 ^-3 mbar)

Đối với việc bơm lượng khí lớn trong vùng áp suất này, bơm phun hơi là phù hợp nhất. Với bơm phun hơi thủy ngân, có thể tạo ra chân không hoàn toàn không dầu. Để phòng ngừa, khuyến nghị lắp bẫy lạnh được làm lạnh bằng nitơ lỏng để hơi thủy ngân có hại không xâm nhập vào bình. Với bẫy hấp thụ chân không trung bình được mô tả trong a), có thể sử dụng bơm cánh quạt xoay hai cấp để tạo ra chân không gần như không dầu xuống dưới 10 ^-4 mbar.  

Chân không hoàn toàn không dầu có thể được tạo ra trong khu vực chân không trung bình bằng bơm hấp thụ. Vì hoạt động bơm của các máy bơm này đối với khí noble nhẹ chỉ nhỏ, các bình chứa khí ban đầu chỉ có thể được hút chân không bằng chúng đến khoảng 10 ^-2 mbar. Sau đó, áp suất 10 ^-3 mbar hoặc thấp hơn chỉ có thể được tạo ra bằng bơm hấp phụ nếu không có neon hoặc heli trong hỗn hợp khí được bơm. Trong những trường hợp như vậy, có thể hữu ích để đẩy không khí ra khỏi bình bằng cách đầu tiên ngập nitơ và sau đó bơm nó ra. 

Khu vực chân không cao và siêu cao (< 10 ^-3 mbar)