Hộp găng tay UNIVEX G

Nạp và phủ các chất nền nhạy cảm với độ ẩm và oxy trong môi trường trơ

Hệ thống hộp đựng găng tay tiêu chuẩn của chúng tôi cho phép nạp và phủ các chất nền nhạy cảm với độ ẩm và oxy trong môi trường trơ của hộp đựng găng tay.

Hệ thống UNIVEX G có cửa trượt phía trước để kết nối với hộp đựng găng tay. Cửa trượt này cho phép người vận hành dễ dàng tiếp cận buồng xử lý thông qua hộp đựng găng tay. Trong trường hợp cần tiếp cận trực tiếp, UNIVEX G có cửa thứ hai ở phía sau.

Ứng dụng điển hình

Kim loại hóa tiếp xúc (làm bay hơi vàng, bạc, crom, niken, titan, v.v.)
Cảm biến sinh học / thiết bị y tế
Điện tử hữu cơ: OLED, quang điện hữu cơ
Chấm lượng tử / màn hình
Bình bay hơi chùm tia điện tử và chất hữu cơ để hình thành perovskite vô cơ-hữu cơ

Truy cập trực tiếp và dễ dàng vào thiết bị xử lý thông qua cửa trượt phía trước

Tiếp cận dịch vụ thuận tiện thông qua cửa bản lề phía sau

Tích hợp bất kỳ thành phần nào của quy trình

UNIVEX G 250
UNIVEX G 350
UNIVEX G 450

UNIVEX G 250

UNIVEX G 250 là một giải pháp thuận tiện và tiết kiệm chi phí cho các nhiệm vụ phủ mà không cần nhiều không gian.

Có thể xử lý các chất nền, tương ứng là giá đỡ chất nền có đường kính tổng thể lên đến khoảng 220 mm.

	G 250
Kích cỡ khoang	Chiều rộng 270 mm Độ sâu 370 mm Chiều cao 400 mm
Bình bay hơi	lên đến 4 vật liệu
Bình bay hơi hữu cơ	lên đến 4 vật liệu
Bình bay hơi chùm tia điện	nhiều túi hoặc một túi
Vòi phun nước	lên hoặc xuống, 2 x 2"
Đồng khoáng	bay hơi và/hoặc phún xạ
Khóa tải tương thích	tùy chọn
Mức chân không	trung bình 10 ^-7 mbar
Tương thích với phòng sạch	có

UNIVEX G 350

UNIVEX G 350 kết hợp thiết kế nhỏ gọn với nhiều không gian khoang.

Đối với nhiều nhiệm vụ phủ, UNIVEX G 350 cung cấp điều kiện không gian tối ưu và khả năng tiếp cận thuận tiện với các bộ phận quy trình và xử lý chất nền.

Có thể xử lý các chất nền, tương ứng là giá đỡ chất nền có đường kính tổng thể lên đến khoảng 300 mm.

	G 350
Kích thước khoang	Chiều rộng: 370 mm Độ sâu: 390 mm Chiều cao: 500 mm
Máy bay hơi nhiệt	lên đến 8 vật liệu
Bình bay hơi hữu cơ	Tối đa 4 vật liệu
bay hơi chùm tia điện tử	Nhiều túi và/hoặc một túi
Phun xịt	Lên hoặc xuống: súng 3 X 2", hoặc súng 2 X 3
Đồng khoáng	Sự bay hơi và/hoặc phún xạ
Khóa tải tương thích	tùy chọn
Lắng đọng hỗ trợ ion	tùy chọn
Mức chân không	trung bình 10 ^-7 mbar
tương thích với phòng sạch	có

UNIVEX G 450

Nhờ kích thước khoang, UNIVEX G 450 phù hợp với tất cả các nhiệm vụ phủ đòi hỏi nhiều không gian. Có thể xử lý các chất nền, tương ứng là giá đỡ chất nền có đường kính tổng thể lên đến hơn 400 mm. Với chiều cao 650 mm, buồng chân không cũng phù hợp cho các ứng dụng nâng.

	G 450
Kích thước khoang	Chiều rộng: 500 mm Độ sâu: 500 mm Chiều cao: 650 mm
Máy bay hơi nhiệt	Lên đến 8 vật liệu
Bình bay hơi hữu cơ	Lên đến 8 vật liệu
bay hơi chùm tia điện tử	Nhiều túi và/hoặc một túi
Phun xịt	Lên hoặc xuống: 3 X 3", 2 X 4", 4 X 2" hoặc khác
Đồng khoáng	Sự bay hơi và/hoặc phún xạ
Khóa tải tương thích	tùy chọn
Lắng đọng hỗ trợ ion	tùy chọn
Mức chân không	trung bình 10 ^-7 mbar
tương thích với phòng sạch	có